固有頻率（Natural Frequency）：平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關(guān)，而只與系統(tǒng)的固有特性有關(guān)，稱為光學(xué)平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說，固有頻率越低，系統(tǒng)的隔振性能就越強(qiáng)。外界振動同物體的固有頻率相同時(shí)，通常會引起共振，往往不是好...

優(yōu)良的精密光學(xué)平臺不僅需要高精度的機(jī)器設(shè)備來加工，更需要有高精度檢測手段與檢測儀器來保證，也只有優(yōu)良的光學(xué)平臺才能保證高精度的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、研究的正常進(jìn)行。1、試驗(yàn)?zāi)康模簷z測氣墊隔振垂直方向和水平固有頻率、振幅、振動速度、振動效果。2、試驗(yàn)方式：采用三點(diǎn)均布試驗(yàn)。...

氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理，將光學(xué)平臺架在氣墊上以達(dá)到隔振的效果。特點(diǎn)是:隔振效果好。但是造價(jià)較高，使用和維護(hù)繁瑣。針對維護(hù)繁瑣的情況又出現(xiàn)了自平衡(主動隔振)系統(tǒng)。原理是利用各種傳感器提供的平臺平衡狀況，通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)各個(gè)隔振支撐的氣壓來達(dá)到平衡的目的...

振幅在數(shù)值上等于位移的大小。對于光學(xué)平臺系統(tǒng)，臺面受外力作用時(shí)，離開平衡位置的距離，同光學(xué)平臺系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、受力大小、受力的位置、瞬時(shí)加速度、速度、持續(xù)時(shí)間、臺面的剛性、隔振系統(tǒng)的阻尼比等諸多因素有著非常復(fù)雜的非線性函數(shù)關(guān)系，如果標(biāo)稱振幅的具體指標(biāo)，需要注明上述...

光學(xué)平臺或面包板很重要的特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的，因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大，從而將振動強(qiáng)度至小化。平臺和面包板會在一個(gè)特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動。為了改善性能，每種尺寸的平臺和面包板的阻尼效果都需要進(jìn)行優(yōu)化。平臺阻尼需要進(jìn)行各種測試，對其厚度...

對于平臺上的光學(xué)元件來說，平面度引起的高度差，通?？梢院雎圆挥?jì)，若確有必要考慮高度差，則完全可以通過勤確精密調(diào)整的位移臺來實(shí)現(xiàn)。綜上所述，光學(xué)平臺的平面度，同光學(xué)平臺的隔振性能不相關(guān)，只能做為光學(xué)平臺的一個(gè)輔助指標(biāo)，供參考。振動物體離開平衡位置的距離叫振動的振...

固有頻率，顧名思義，為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數(shù)值上來看，固有頻率等于共振頻率?？紤]物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng)，固有頻率取決于兩個(gè)因素——物塊質(zhì)量，以及充當(dāng)彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數(shù)。質(zhì)量減小或彈性系數(shù)減小可增大固有頻率;質(zhì)量增大或懸臂梁彈性系數(shù)增大可降低固...

光學(xué)平臺的磨削是有極限的，這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右，換算成平方米大約為：±0.03mm/m2，但這個(gè)平面度，同大理石平臺的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為：000級（平面度≤3μm/m2）、00級（平面度...

夾心光學(xué)平板主要是由帶磁不銹鋼(不銹鐵)及填充材料組成(目前使用Z多的填充材料是蜂窩巢結(jié)構(gòu)材料及型鋼框架結(jié)構(gòu))。特點(diǎn)是:固有頻率低，吸振性能強(qiáng)。光學(xué)平臺支架按其隔振形式主要分為:機(jī)械式隔振支架與氣墊式隔振支架。機(jī)械式隔振支架主要是利用各種隔振材料(如:減震彈簧...

光學(xué)平臺平面度，對于隔振性能，沒有任何影響，甚至若為了追求高平面度，往往會去除掉光學(xué)平臺的隔振性能，原因如下：我們知道，光學(xué)平臺臺面，若為達(dá)到高平面度，通常需要反復(fù)磨削，在加工過程中，多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變，為了減少形變，通常要加厚臺面，但我們通過振動恢復(fù)...

撓度是指結(jié)構(gòu)構(gòu)件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移。對于細(xì)長物體或薄物體，撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細(xì)長物體（如梁或柱）的撓度是指在變形時(shí)其軸線上各點(diǎn)在該點(diǎn)處軸線法平面內(nèi)的位移量。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點(diǎn)在該點(diǎn)處中面法線上的位移...

半自動型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡；針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配P...

探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試及探卡測試針臺座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，下面就由上海...

氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理，將光學(xué)平臺架在氣墊上以達(dá)到隔振的效果。特點(diǎn)是:隔振效果好。但是造價(jià)較高，使用和維護(hù)繁瑣。針對維護(hù)繁瑣的情況又出現(xiàn)了自平衡(主動隔振)系統(tǒng)。原理是利用各種傳感器提供的平臺平衡狀況，通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)各個(gè)隔振支撐的氣壓來達(dá)到平衡的目的...

當(dāng)今科學(xué)界的科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要越來越精密的計(jì)算和測量，因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對隔離的設(shè)備儀器對實(shí)驗(yàn)的結(jié)果測量時(shí)非常重要的。能夠固定各種光學(xué)元件以及顯微鏡成像設(shè)備等的光學(xué)平臺也成為科研實(shí)驗(yàn)中必備的產(chǎn)品。光學(xué)平臺很主要的一個(gè)目標(biāo)是消除平臺上任意兩個(gè)以上部件之間的相...

探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針...

固有頻率（Natural Frequency）：平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關(guān)，而只與系統(tǒng)的固有特性有關(guān)，稱為光學(xué)平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說，固有頻率越低，系統(tǒng)的隔振性能就越強(qiáng)。外界振動同物體的固有頻率相同時(shí)，通常會引起共振，往往不是好...

晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器（自動測試設(shè)備）。對于電氣測試，一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?，同時(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯（或管芯陣列）經(jīng)過電氣測試后，探針臺將晶片移動到下一個(gè)管芯（或管芯），下一個(gè)測試就可...

全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價(jià)格...

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的...

探針臺的分類：探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺：手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...

探針臺由哪些部分組成？樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針尖銳端對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點(diǎn)上。有的采用...

探針臺工作臺由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，...

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測試...

固有頻率，顧名思義，為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數(shù)值上來看，固有頻率等于共振頻率?？紤]物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng)，固有頻率取決于兩個(gè)因素——物塊質(zhì)量，以及充當(dāng)彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數(shù)。質(zhì)量減小或彈性系數(shù)減小可增大固有頻率;質(zhì)量增大或懸臂梁彈性系數(shù)增大可降低固...

滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70％，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指...

重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定...

晶圓是制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求，一般是要求高效準(zhǔn)確，能夠捕捉有效缺陷，...

光學(xué)平臺或面包板很重要的特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的，因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大，從而將振動強(qiáng)度至小化。平臺和面包板會在一個(gè)特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動。為了改善性能，每種尺寸的平臺和面包板的阻尼效果都需要進(jìn)行優(yōu)化。平臺阻尼需要進(jìn)行各種測試，對其厚度...

平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺：平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。而...