EVG的光刻機(jī)技術(shù)：EVG在光刻技術(shù)上的關(guān)鍵能力在于其掩模對(duì)準(zhǔn)器的高產(chǎn)能，接觸和接近曝光功能以及其光刻膠處理系統(tǒng)的內(nèi)部處理的相關(guān)知識(shí)。EVG的所有光刻設(shè)備平臺(tái)均支持300毫米的晶圓，可以完全集成到其HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中，并配有用于從上到下的側(cè)面對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)...

我們可以根據(jù)您的需求提供進(jìn)行優(yōu)化的多用途系統(tǒng)。我們的掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于從掩模對(duì)準(zhǔn)到鍵合對(duì)準(zhǔn)的快速簡(jiǎn)便轉(zhuǎn)換。此外，可以使用用于壓印光刻的可選工具集，例如UV-納米壓印光刻，熱壓印或微接觸印刷。所有系統(tǒng)均支持原位對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證軟件，以提高手動(dòng)操作系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)精度和可重復(fù)...

光刻膠處理系統(tǒng)：EVG100系列光刻膠處理系統(tǒng)為光刻膠涂層和顯影建立了質(zhì)量和靈活性方面的新標(biāo)準(zhǔn)。EVG100系列的設(shè)計(jì)旨在提供蕞廣范的工藝變革，其模塊化功能可提供旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻模塊，以滿(mǎn)足個(gè)性化生產(chǎn)需求。這些系統(tǒng)可處理各種材料，例如正性和負(fù)性光刻...

地板上沒(méi)有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）加上AVI產(chǎn)品開(kāi)啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應(yīng)器LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂...

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,...

隔振臺(tái)TS-140+40的技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）傳遞率：參見(jiàn)附件曲線(xiàn)10Hz以上的透射率<（-40dB）矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12μm/...

AVI主動(dòng)隔震臺(tái)AVI應(yīng)用于掃描電鏡1、如有可能，拆下掃描電鏡柱的側(cè)板。2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木塊以增加高度。3、拆下主銷(xiāo)后傾角和主銷(xiāo)后傾角螺栓（如有必要）。4、將弟一個(gè)鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各2...

輪廓儀的物鏡知多少？白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和...

傳感器位置傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI...

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型模塊的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-S適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2H...

LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)...

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點(diǎn)很重要！LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開(kāi)關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請(qǐng)按照下列步驟操作：面向LFS傳感器...

AVI主動(dòng)隔震臺(tái)AVI應(yīng)用于掃描電鏡1、如有可能，拆下掃描電鏡柱的側(cè)板。2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木塊以增加高度。3、拆下主銷(xiāo)后傾角和主銷(xiāo)后傾角螺栓（如有必要）。4、將弟一個(gè)鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各2...

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長(zhǎng)度的單個(gè)元件。AVI200-XL的隔...

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中，以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測(cè)量的垂直和水...

我們是岱美儀器。岱美拿到采購(gòu)HERZAN公司隔振臺(tái)的訂單，客戶(hù)是某杰出電腦硬盤(pán)盤(pán)基片制造商，此高性能的防震臺(tái)有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺(tái)由世界杰出的防震專(zhuān)業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的...

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶(hù)友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz，超過(guò)10Hz時(shí)迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平...

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系...

使用AVI系統(tǒng)時(shí)，系統(tǒng)只能插入單獨(dú)接地的插座。無(wú)論是在插座處，還是使用未接地的延長(zhǎng)電纜，都不要斷開(kāi)此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請(qǐng)拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開(kāi)此設(shè)備之前，請(qǐng)確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或...

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。...

TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)桌越性與優(yōu)雅且用戶(hù)友好的設(shè)計(jì)TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過(guò)10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140+40的出...

我們是岱美儀器。岱美拿到采購(gòu)HERZAN公司隔振臺(tái)的訂單，客戶(hù)是某杰出電腦硬盤(pán)盤(pán)基片制造商，此高性能的防震臺(tái)有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺(tái)由世界杰出的防震專(zhuān)業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的...

水平X軸方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。水平Y(jié)軸方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到-40d...

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的，至于測(cè)量零件的表面輪廓，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um...

地板上沒(méi)有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）加上AVI產(chǎn)品開(kāi)啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應(yīng)器LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂...

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。...

TableStable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有獨(dú)力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺(tái)，或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。特點(diǎn)：?通過(guò)主動(dòng)控制沒(méi)有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的...

所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如...

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2H...

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長(zhǎng)度的單個(gè)元件。AVI200-XL的隔...