氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問(wèn)題?1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開(kāi)的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序:從被檢件物體的上方至下方,由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí),應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住,再對(duì)另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí),如果,檢漏儀上的顯示有變化,其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。紹興小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
氦檢儀中沒(méi)有手動(dòng)閥,現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來(lái)的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不只解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。無(wú)錫氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢不同型號(hào)的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分,分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過(guò)質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào),該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大和處理即為泄漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理:一、機(jī)械維護(hù),檢查泵的油量,如果低于低標(biāo)線,則加入泵油;如果變黑或渾濁,則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書。二、清洗,泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入,但有一定的泄漏率指示,長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣,在檢漏時(shí)又被釋放,造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器,將其拆下,用酒精浸泡清洗。檢查泄漏,用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當(dāng);2、保險(xiǎn)管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。氦檢儀不只靈敏度高,而且操作方便;金華智能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀的電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同。紹興小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。紹興小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家