在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。不同型號(hào)的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。杭州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦檢儀本底漏率值是什么?本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量,由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm,5.24×10-6,也就是百萬分之五左右,這說明正??諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小,即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體,才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小.正因?yàn)楸镜仔?,由某些原因引起本底的波?dòng),亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來。本底高一般都是泄漏的原因,建議檢查閥有沒有內(nèi)漏,試試增加清掃氣體的壓力,但是也不能過高,因?yàn)闀?huì)影響抽空效率。另外檢漏時(shí)切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器,避免本底太大,難以清理。推車式氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法?氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多,常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法(抽真空),正壓法(吸入法)和背壓法(壓氦法),可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法,這是根據(jù)不同的檢測(cè)方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的檢漏目的,常用基礎(chǔ)的有3種檢漏方法。負(fù)壓法(噴氦法)。對(duì)被檢工件抽真空??蓪?duì)被檢工件外可疑漏點(diǎn)噴氦,也可將工件罩起來對(duì)氦罩內(nèi)噴氦??筛鶕?jù)工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵??蓹z測(cè)工件的具體漏點(diǎn)和準(zhǔn)確漏率。檢測(cè)精度高。適用行業(yè):鍍膜行業(yè),真空爐,真空配件,真空閥門,壓力容器,真空系統(tǒng)等。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng):1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行:①從上往下。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件,必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉,才能取工件。5、對(duì)同一工件,如有兩處以上漏點(diǎn),應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后,再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好,不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好,避免氦氣濃度,但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體,應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈,清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口,盡量靠近電離盒,但不能短路,三根引線間也不能相互短路。氦檢儀檢漏范圍寬:不只可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護(hù),使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應(yīng)用于科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池,閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦檢儀是對(duì)比性測(cè)試儀器,其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。金華移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。杭州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量,能較方便地估計(jì)檢漏效果。杭州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀單位