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7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時,宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,采用運行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置,應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng),應(yīng)集中處理。一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。浙江手術(shù)室潔凈室檢測分析
5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計,應(yīng)符合下列要求:1在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時,應(yīng)設(shè)氣閘室;2吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位;3單人空氣吹淋室,應(yīng)按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;4空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時開啟,應(yīng)采取連鎖控制措施;5空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室(區(qū)),宜設(shè)氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級,宜由外至內(nèi)逐步潔凈,室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級;當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時,洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。安徽純化水檢測潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。
8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險化學(xué)品儲存和分配室時,應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求,設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,應(yīng)符合下列要求:1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求;2埋地管道應(yīng)耐腐蝕,并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力;3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等,不宜采用焊接鋼管;4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)。
C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,對安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認(rèn)可,在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并;過濾系統(tǒng)檢漏費時、費人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度,而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較。在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。北京電子廠房環(huán)境潔凈室檢測
為了達(dá)到規(guī)定的潔凈度級別,有效地控制微粒的污染。浙江手術(shù)室潔凈室檢測分析
9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇,應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求,并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管,套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料,不得產(chǎn)生污染物,外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。浙江手術(shù)室潔凈室檢測分析