上海潔凈室檢測(cè)評(píng)估

12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開(kāi)放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè)，宜采用壓差變送器通過(guò)控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí)，必須有綜合措施。上海潔凈室檢測(cè)評(píng)估

C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過(guò)濾系統(tǒng)安裝正確，使用過(guò)程中無(wú)滲漏發(fā)生，不要將已裝過(guò)濾器系統(tǒng)的檢漏與過(guò)濾器出廠時(shí)的效率檢測(cè)混為一談，過(guò)濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過(guò)檢漏雨測(cè)試。此項(xiàng)檢測(cè)用于驗(yàn)證過(guò)濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過(guò)濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測(cè)過(guò)程檢測(cè)中，在過(guò)濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過(guò)濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過(guò)濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過(guò)濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過(guò)濾系統(tǒng)。已裝過(guò)濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測(cè)是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測(cè)時(shí)，或更換了末端過(guò)濾器之后進(jìn)行。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)目的管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。

1近年來(lái)，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時(shí)，踢腳不宜突出墻面。為了達(dá)到規(guī)定的潔凈度級(jí)別，有效地控制微粒的污染。

5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯(cuò)，不但會(huì)彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會(huì)使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時(shí)，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)、人員數(shù)量、未來(lái)發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)等確定。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。江蘇生物安全柜潔凈室檢測(cè)目的

不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海潔凈室檢測(cè)評(píng)估

6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對(duì)兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)不利影響。上海潔凈室檢測(cè)評(píng)估