河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

安裝驗證的內(nèi)容包括多項檢驗信息和地點(diǎn)、輔助設(shè)施和設(shè)備的安全性能的介紹。河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50472-2008)。本標(biāo)準(zhǔn)“附錄D潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證”的要點(diǎn):1)風(fēng)速和風(fēng)量的檢測。對于單向流潔凈室，檢測平面應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面。2)靜壓差的檢測。檢測靜壓差的時候應(yīng)該關(guān)閉全部門窗。檢測儀器的靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。有多個潔凈室時，應(yīng)由里向外按順序檢測。3)空氣過濾器安裝后的檢漏。光學(xué)粒子計數(shù)器的采樣量應(yīng)大于1L/min。應(yīng)在過濾器的上風(fēng)側(cè)引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子，其濃度應(yīng)大于3.5x10pc/m。微粒儀距離濾器表面20~30mm處等速采樣，并以5~20mm/s速度移動。4)潔凈度的檢測。少采樣點(diǎn)和每次少采樣量與ISO14644基本相同。5)溫度和濕度的檢測。檢測點(diǎn)的覆蓋面積不大于100m2。每個房間不少于2個檢測點(diǎn)。檢測點(diǎn)應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度，且距吊頂、墻和地面不少于300mm。6)噪聲的檢測。每100m2設(shè)1個檢測點(diǎn)。檢測點(diǎn)距地面1.1~1.5m，距墻大于3m。7)照度的檢測。檢測點(diǎn)應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度，宜距地面0.85m,每25m2設(shè)1個檢測點(diǎn)。安徽實驗室環(huán)境檢測方便客戶蔚亞科技提供科學(xué)、公正、具有法律效力的檢測數(shù)據(jù)和報告。

潔凈室（CleanRoom），亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用比較大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。凈室被應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

通過測量特定光路下氣溶膠引起的散射光強(qiáng)就能達(dá)到檢測氣溶膠濃度的目的。與粒子計數(shù)器不同，氣溶膠光度計并不是根據(jù)顆粒引起的光學(xué)脈沖數(shù)量計算顆粒的數(shù)量，而是根據(jù)氣溶膠的光散射強(qiáng)度來直接計算氣溶膠濃度。因此，氣溶膠光度計可以直接檢測氣溶膠濃度較大的環(huán)境，而塵埃粒子計數(shù)器在檢測該環(huán)境時則需要串聯(lián)稀釋器對粒子計數(shù)器進(jìn)行保護(hù)。由于在氣溶膠濃度很低的空氣中氣溶膠光度計的相對誤差會增加，因此在進(jìn)行高效過濾器泄漏檢測時，光度計法適用于較高的氣溶膠濃度環(huán)境！空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的，而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。

溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項檢測時，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。抽樣對有設(shè)計要求的區(qū)域進(jìn)行檢測。河北消毒液凈化車間環(huán)境檢測規(guī)范性強(qiáng)

按潔凈度級別劃分為1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為低等級別。河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

潔凈室正壓值是指門窗全部關(guān)閉狀態(tài)下，室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過凈化系統(tǒng)送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方法來達(dá)到。為了保證潔凈室正壓值，送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)機(jī)比較好聯(lián)鎖，系統(tǒng)開啟時先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；系統(tǒng)關(guān)閉時先關(guān)排風(fēng)機(jī)，再關(guān)回風(fēng)機(jī)和送風(fēng)機(jī)，以防止?jié)崈羰以谙到y(tǒng)開啟和關(guān)閉時受到污染。

維持潔凈室正壓所需的風(fēng)量主要根據(jù)維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性好壞來確定。我國潔凈室建設(shè)初期由于圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性較差，要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風(fēng)量;目前維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高，維持同樣的正壓只要1~2次/h送風(fēng)量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風(fēng)量。 河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

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