河北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)技術(shù)好

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-05-31

 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。


  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。


  潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。


  (2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。


  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。


安裝驗(yàn)證的內(nèi)容包括多項(xiàng)檢驗(yàn)信息和地點(diǎn)、輔助設(shè)施和設(shè)備的安全性能的介紹。河北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)技術(shù)好

河北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)技術(shù)好,檢測(cè)

《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50472-2008)。本標(biāo)準(zhǔn)“附錄D潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證”的要點(diǎn):1)風(fēng)速和風(fēng)量的檢測(cè)。對(duì)于單向流潔凈室,檢測(cè)平面應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面。2)靜壓差的檢測(cè)。檢測(cè)靜壓差的時(shí)候應(yīng)該關(guān)閉全部門窗。檢測(cè)儀器的靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。有多個(gè)潔凈室時(shí),應(yīng)由里向外按順序檢測(cè)。3)空氣過濾器安裝后的檢漏。光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器的采樣量應(yīng)大于1L/min。應(yīng)在過濾器的上風(fēng)側(cè)引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其濃度應(yīng)大于3.5x10pc/m。微粒儀距離濾器表面20~30mm處等速采樣,并以5~20mm/s速度移動(dòng)。4)潔凈度的檢測(cè)。少采樣點(diǎn)和每次少采樣量與ISO14644基本相同。5)溫度和濕度的檢測(cè)。檢測(cè)點(diǎn)的覆蓋面積不大于100m2。每個(gè)房間不少于2個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度,且距吊頂、墻和地面不少于300mm。6)噪聲的檢測(cè)。每100m2設(shè)1個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。檢測(cè)點(diǎn)距地面1.1~1.5m,距墻大于3m。7)照度的檢測(cè)。檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2設(shè)1個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。安徽實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)方便客戶蔚亞科技提供科學(xué)、公正、具有法律效力的檢測(cè)數(shù)據(jù)和報(bào)告。

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潔凈室(CleanRoom),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用比較大顆粒大小來厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。凈室被應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

通過測(cè)量特定光路下氣溶膠引起的散射光強(qiáng)就能達(dá)到檢測(cè)氣溶膠濃度的目的。與粒子計(jì)數(shù)器不同,氣溶膠光度計(jì)并不是根據(jù)顆粒引起的光學(xué)脈沖數(shù)量計(jì)算顆粒的數(shù)量,而是根據(jù)氣溶膠的光散射強(qiáng)度來直接計(jì)算氣溶膠濃度。因此,氣溶膠光度計(jì)可以直接檢測(cè)氣溶膠濃度較大的環(huán)境,而塵埃粒子計(jì)數(shù)器在檢測(cè)該環(huán)境時(shí)則需要串聯(lián)稀釋器對(duì)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行保護(hù)。由于在氣溶膠濃度很低的空氣中氣溶膠光度計(jì)的相對(duì)誤差會(huì)增加,因此在進(jìn)行高效過濾器泄漏檢測(cè)時(shí),光度計(jì)法適用于較高的氣溶膠濃度環(huán)境!空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來區(qū)分的,而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來表示。

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溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。抽樣對(duì)有設(shè)計(jì)要求的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)。河北消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

按潔凈度級(jí)別劃分為1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)、4級(jí)、5級(jí)、6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)、9級(jí)。9級(jí)為低等級(jí)別。河北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)技術(shù)好

潔凈室正壓值是指門窗全部關(guān)閉狀態(tài)下,室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過凈化系統(tǒng)送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方法來達(dá)到。為了保證潔凈室正壓值,送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)機(jī)比較好聯(lián)鎖,系統(tǒng)開啟時(shí)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī),再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)先關(guān)排風(fēng)機(jī),再關(guān)回風(fēng)機(jī)和送風(fēng)機(jī),以防止?jié)崈羰以谙到y(tǒng)開啟和關(guān)閉時(shí)受到污染。

維持潔凈室正壓所需的風(fēng)量主要根據(jù)維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性好壞來確定。我國(guó)潔凈室建設(shè)初期由于圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性較差,要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風(fēng)量;目前維護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高,維持同樣的正壓只要1~2次/h送風(fēng)量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風(fēng)量。 河北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)技術(shù)好

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標(biāo)簽: 檢測(cè)