優(yōu)良四氟化碳價(jià)格便宜

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-03-13

    四氟化碳(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子體蝕刻氣體,廣用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈、多品種、多規(guī)模,各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展,越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言,CF4以其相對(duì)低廉的價(jià)格長(zhǎng)期占據(jù)著蝕刻氣體的市場(chǎng),因此具有廣闊的發(fā)展?jié)摿Α?四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體。優(yōu)良四氟化碳價(jià)格便宜

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子體蝕刻氣體,廣用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈、多品種、多規(guī)格,各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)發(fā)展,越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言,CF4以其相對(duì)低廉的價(jià)格長(zhǎng)期占據(jù)著蝕刻氣體場(chǎng),因此具有廣闊的發(fā)展?jié)摿?。蘇州四氟化碳廠家供貨四氟化碳常溫下不與銅、鎳和鎢反應(yīng)。

    四氟化碳在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味的氣體??諝庵胁蝗紵?,是比較穩(wěn)定的無(wú)毒物質(zhì)。但是在高溫時(shí),或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí),分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,,水中溶解度為(重量)。有輕微的水解作用。四氟化碳一般認(rèn)為是惰性低毒物質(zhì),在高濃度下是窒息劑,其毒性不及四氯化碳。四氟化碳為非腐蝕性氣體,所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅,鋁等金屬材料都可以使用,但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫,一些金屬起加速CF4分解的催化作用。

在使用四氟化碳的同時(shí),也要注意使用四氟化碳的注意事項(xiàng),如在泄漏時(shí),應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。如有可能,即時(shí)使用。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險(xiǎn)。也要注意使用四氟化碳的注意事項(xiàng)。

在實(shí)驗(yàn)室內(nèi),四氟化碳可以由二氧化碳、一氧化碳或光氣與四氟化硫的氟化作用來(lái)獲取。商業(yè)上可由氟與二氯二氟甲烷或氯三氟甲烷的反應(yīng)制備。另一個(gè)方法是用碳電極電解氟化物MF、MF2。四氟化碳,像其他氟代烴一樣,是十分穩(wěn)定的,這是因?yàn)镃-F鍵很強(qiáng),鍵能為515kJ.mol-1(參見(jiàn)環(huán)境影響)。因此不與酸及氫氧化物反應(yīng),但是會(huì)跟堿金屬發(fā)生危險(xiǎn)反應(yīng)。熱分解會(huì)產(chǎn)生劇毒的氣體(碳酰氟、一氧化碳,如果有水存在,還會(huì)產(chǎn)生腐蝕性的氟化氫)。四氟化碳微溶于水(約20mg.l-1),但可與乙醇及石油醚混溶。人能不能再四氟化碳里面呼吸?安全四氟化碳優(yōu)化價(jià)格

四氟化碳如何正確使用??jī)?yōu)良四氟化碳價(jià)格便宜

一種四氟化碳?xì)怏w濃度檢測(cè)校正方法,包括:

通過(guò)雙光路檢測(cè)系統(tǒng)利用雙波長(zhǎng)紅外差分檢測(cè)法測(cè)量出不同溫度下的四氟化碳?xì)怏w濃度值;

將測(cè)量出的所述四氟化碳?xì)怏w濃度值和對(duì)應(yīng)的溫度值輸入至RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練;

將對(duì)測(cè)試樣本測(cè)量所得的四氟化碳?xì)怏w濃度值輸入至訓(xùn)練好的所述RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行測(cè)試并開展反演計(jì)算,得到校正后的四氟化碳?xì)怏w實(shí)際濃度值。

推薦地,在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述四氟化碳?xì)怏w濃度檢測(cè)校正方法中,通過(guò)雙光路檢測(cè)系統(tǒng)利用雙波長(zhǎng)紅外差分檢測(cè)法測(cè)量出四氟化碳?xì)怏w濃度值,包括:所述紅外光源發(fā)出的紅外光束經(jīng)準(zhǔn)直后進(jìn)入內(nèi)置有四氟化碳?xì)怏w的所述氣體采樣室;被四氟化碳?xì)怏w吸收特定波長(zhǎng)的紅外光束作為測(cè)量光;波長(zhǎng)不受四氟化碳?xì)怏w影響的紅外光束作為參考光;

在所述測(cè)量光經(jīng)所述濾光片透射后,檢測(cè)所述測(cè)量光的光強(qiáng);在所述參考光經(jīng)所述第二濾光片透射后,檢測(cè)所述參考光的光強(qiáng);


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