蘇州新能源四氟化碳哪里有

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-07

四氟甲烷(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane),亦稱四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14),化學(xué)式CF4,商品名稱Reflube 14,相對(duì)分子量88.00。在常溫下,四氟甲烷是無色、無臭、不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn)-128℃,熔點(diǎn)-183.6℃。液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74MPa,蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa,介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006。揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,在900攝氏度時(shí),不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng),在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1MPa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí), 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物,危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無機(jī)化合物。蘇州新能源四氟化碳哪里有

四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是一種造成溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定,可以長時(shí)間停留在大氣層中,是一種非常強(qiáng)大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為50,000年,全球增溫(全球暖化)系數(shù)是6,500(二氧化碳的系數(shù)是1)。雖然結(jié)構(gòu)與氟氯烴相似,但四氟化碳不會(huì)破壞臭氧層。這是因?yàn)閷?dǎo)致臭氧層破壞的是氟氯烴中的氯原子,它被紫外線輻射擊中時(shí)會(huì)分離。碳-氟鍵比較強(qiáng),因此分離的可能性比較低。鎮(zhèn)江優(yōu)良四氟化碳哪里有.由碳與氟反應(yīng),或一氧化碳與氟反應(yīng)。

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子體蝕刻氣體,廣用于硅、氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),四氟化碳還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電予氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈、多品種、多規(guī)格,各國為推動(dòng)本國微電子工業(yè)發(fā)展,越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言,四氟化碳以其相對(duì)低廉的價(jià)格長期占據(jù)著蝕刻氣體市場(chǎng),因此具有廣闊的發(fā)展?jié)摿Α?/p>

四氟化碳,又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。在蝕刻過程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉。

    四氟化碳與氧在高溫下不反應(yīng)]四氟化炭是目前微電子行業(yè)使用比較多的等離子蝕刻氣體,它是由高純氣與高純氣配高純氧的混合物,可用于硅粉、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢薄膜材料的蝕刻。在使用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕的硅及二氧化硅系統(tǒng)中,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這對(duì)刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜是非常有用的。危害概覽危險(xiǎn)類別::吸入健康危險(xiǎn):吸入濃度高的四氟化碳后,出現(xiàn)呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀。 四氟化碳沒有腐蝕性。無錫***四氟化碳廠家供貨

與可燃性氣體一起燃燒時(shí),發(fā)生分解,產(chǎn)生的氧化物。蘇州新能源四氟化碳哪里有

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