昆明非標真空設(shè)備腔體廠家供應

腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應腔：過渡腔：是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口，晶圓從外部運輸至設(shè)備入口，經(jīng)過前端模塊（EFEM）后進入過渡腔，方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境，后續(xù)再進入真空環(huán)境的傳輸腔、反應腔進行工藝反應。過渡腔以鋁合金為主，技術(shù)相對簡單。傳輸腔：是晶圓在過渡腔和反應腔之間進行轉(zhuǎn)移的中間平臺。傳輸腔材料主要是不銹鋼，腔體需要保證密封性和真空度，同時由于傳輸腔需要與不同工藝的反應腔連接，也需要采用不同的表面處理工藝來保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、的真空機械手、傳輸腔與反應腔連接處的門閥，以及各種真空密封件組成。反應腔：是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間，由于多種工藝氣體會流入反應腔內(nèi)發(fā)生化學反應，其對潔凈度和耐腐蝕性要求較高，尤其是先進制程對于潔凈度要求更高。反應腔中包括內(nèi)襯、勻氣盤等零部件，對性能要求更為嚴苛。高質(zhì)量不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕，保證腔體長期穩(wěn)定運行。昆明非標真空設(shè)備腔體廠家供應

真空腔體材料的幾點要求對真空腔體材料的主要要求如下：1一定的機械強度2氣密性好，不應是多孔結(jié)構(gòu)，不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其他缺陷3較低的出氣率和滲透率4在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低5化學穩(wěn)定性好，不易氧化和腐蝕，不與系統(tǒng)中的工作液體發(fā)生化學反應6溫度穩(wěn)定性好，在一定溫度范圍內(nèi)能保持真空性能和機械強度7加工容易，有較好的焊接性能真空設(shè)備常用殼體材料有兩大類：金屬和玻璃。金屬的優(yōu)點是：機械強度好，容易實現(xiàn)高精度的加工。玻璃的優(yōu)點是：透明，便于觀察設(shè)備內(nèi)部情況，電絕緣，可對內(nèi)部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣，能用高頻火花檢漏，加工方便等。玻璃的缺點是質(zhì)脆易碎。太遠非標真空設(shè)備腔體設(shè)計選擇暢橋真空，享受高質(zhì)量產(chǎn)品與貼心服務，讓您科研無憂。

反應腔內(nèi)部又有多種機械件，按不同材料及作用可分為金屬工藝件、金屬結(jié)構(gòu)件及非金屬機械件：●金屬工藝件：在設(shè)備中與晶圓直接接觸或直接參與晶圓反應。以勻氣盤為例，在薄膜沉積及刻蝕過程中，特種工藝氣體通過勻氣盤上的小孔后均勻沉積在晶圓表面，以確保膜層的均勻性，其加工與表面處理為技術(shù)難點。金屬工藝件一般需要經(jīng)過高精密機械制造和復雜的表面處理特種工藝過程，具備高精密、高潔凈、強耐腐蝕、耐擊穿電壓等特點，工藝制程復雜?！窠饘俳Y(jié)構(gòu)件：結(jié)構(gòu)件一般起連接、支撐和冷卻等作用，對平面度和平行度有較高的要求，部分結(jié)構(gòu)零部件同樣需要具備高潔凈、強耐腐蝕能力和耐擊穿電壓等性能。產(chǎn)品包括托盤、鑄鋼平臺、流量計底座、冷卻板等，不同產(chǎn)品差異較大，難點包括不銹鋼的高精密加工、超高光潔度制造、表面處理等技術(shù)。

磁研磨拋光是利用磁性磨料在磁場作用下形成磨料刷，對工件進行磨削加工。該方法具有加工效率高、質(zhì)量好、加工條件易于控制、工作環(huán)境良好等優(yōu)點。采用合適的磨料，表面粗糙度能夠達到Ra0.1μm。在塑料模具加工中，所謂的拋光與其他行業(yè)的表面拋光存在較大差異。嚴格來講，模具的拋光應稱作鏡面加工，其不只對拋光本身要求極高，而且對表面平整度、光滑度以及幾何精確度都設(shè)定了很高的標準。而普通表面拋光通常只需獲得光亮表面即可。鏡面加工標準分為四級：AO=Ra0.008μm，A1=Ra0.016μm，A3=Ra0.032μm，A4=Ra0.063μm。由于電解拋光、流體拋光等方法在精確控制零件幾何精確度方面存在困難，而化學拋光、超聲波拋光、磁研磨拋光等方法的表面質(zhì)量又難以滿足要求，所以目前精密模具的鏡面加工仍以機械拋光為主。暢橋真空腔體，經(jīng)過嚴格測試，性能穩(wěn)定，值得信賴。

真空腔體的使用方法介紹：1、將反應物倒入襯套內(nèi)，空腔體并保障加料系數(shù)小于0.8。2、保障釜體下墊片位置正確（凸起面向下），然后放入襯套和上墊片，先擰緊釜蓋混合設(shè)備，然后用螺桿把釜蓋旋扭擰緊為止。3、將設(shè)備置于加熱器內(nèi)，按照規(guī)定的升溫速率升溫至所需反應溫度。（小于規(guī)定的使用溫度）。4、當確認內(nèi)部溫度低于反應物系種溶劑沸點后方能打開釜蓋進行后續(xù)操作。真空腔體待反應結(jié)束將其降溫時，也要嚴格按照規(guī)定的降溫速率操作，以利于設(shè)備的使用壽命。5、確認內(nèi)部溫度低于反應物系種溶劑沸點后，先用螺桿把釜蓋旋扭松開，然后將釜蓋打開。6、真空腔體每次使用后要及時將其清洗干凈，以免銹蝕。釜體、釜蓋線密封處要格外注意清洗干凈，避免將其碰傷損壞。暢橋真空注重細節(jié)，每一個接口都經(jīng)過精密處理，確保密封性。云南半導體真空腔體制造

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真空腔體使用時的常見故障及措施：真空腔體是可以讓物料在真空狀態(tài)下進行相關(guān)物化反應的綜合反應工具。具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環(huán)境污染小、自動加熱等幾大特點，是食品、生物制藥、精細化工等行業(yè)常用的反應設(shè)備之一，用來完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應過程。真空腔體使用時常見的一些故障及解決辦法如下：1、容器內(nèi)有溶劑，受飽和蒸汽壓限制。解辦法：放空溶劑，空瓶試。2、真空泵能力下降。解決辦：真空泵換油（水），清洗檢修。3、真空皮管，接頭松動，真空表具泄漏。解決辦法：沿真空管路逐段檢查、排除。4、儀器作保壓試驗，在沒有任何溶劑的情況下，關(guān)斷所有外部閥門和管路，保壓一分鐘，真空表指針應不動，表示氣密性良好。解決辦法：（1）重新裝配，玻璃磨口擦洗干凈，涂真空硅脂，法蘭口對齊擰緊；（2）更換失效密封圈。5、真空腔體的放料閥、壓控閥內(nèi)有雜物。解決辦法：清洗；昆明非標真空設(shè)備腔體廠家供應