廈門真空烘箱腔體設計

來源: 發(fā)布時間:2023-10-16

不銹鋼真空腔體功能劃分集中,主要為生長區(qū),傳樣測量區(qū),抽氣區(qū)三個部分。對于分子束外延生長腔,重要的參數(shù)是其中心點A的位置,即樣品在生長過程中所處的位置。所以蒸發(fā)源,高能電子衍射(RHEED)元件,高能電子衍射屏,晶體振蕩器,生長擋板,CCD,生長觀察視窗的法蘭口均對準中心點。蒸發(fā)源:由鎢絲加熱盛放生長物質的堆塌,通過熱偶絲測量溫度,堆鍋中的物質被加熱蒸發(fā)出來,在處于不銹鋼真空腔體中心點的襯底上外延形成薄膜。每個蒸發(fā)源都有其各自的蒸發(fā)源擋板控制源的開閉,可以長出多成分或成分連續(xù)變化的薄膜樣品。在半導體制造中,真空系統(tǒng)主要用于減少空氣中的污染物對芯片生產(chǎn)過程的影響。廈門真空烘箱腔體設計

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真空腔體使用時的常見故障及措施:真空腔體是可以讓物料在真空狀態(tài)下進行相關物化反應的綜合反應工具。具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環(huán)境污染小、自動加熱等幾大特點,是食品、生物制藥、精細化工等行業(yè)常用的反應設備之一,用來完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應過程。

真空腔體使用時常見的一些故障及解決辦法如下:1、容器內有溶劑,受飽和蒸汽壓限制。解決辦法:放空溶劑,空瓶試。2、真空泵能力下降。解決辦法:真空泵換油(水),清洗檢修。3、真空皮管,接頭松動,真空表具泄漏。解決辦法:沿真空管路逐段檢查、排除。4、儀器作保壓試驗,在沒有任何溶劑的情況下,關斷所有外部閥門和管路,保壓一分鐘,真空表指針應不動,表示氣密性良好。解決辦法:(1)重新裝配,玻璃磨口擦洗干凈,涂真空硅脂,法蘭口對齊擰緊;(2)更換失效密封圈。5、真空腔體的放料閥、壓控閥內有雜物。解決辦法:清洗。 山西不銹鋼真空腔體銷售真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。

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真空腔體的維護工作內容:(1)真空腔體安裝好后,通入相應量的氮氣保壓30分鐘,檢查有無泄漏,如發(fā)現(xiàn)有泄漏請用肥皂沫查找管路、管口泄漏點,找出后放掉氣體擰緊,再次通入氮氣保壓試驗,無泄漏后開始正常工作。(2)當降溫冷卻時,可用水經(jīng)冷卻盤管進行內冷卻,禁止速冷,以免過大的溫差應力,造成冷卻盤管、釜體產(chǎn)生裂紋。工作時當釜內溫度大于100℃時,磁力攪拌器與釜蓋間的水套應通冷卻水,使得水溫小于35℃,以免磁鋼退磁。(3)保護裝置:采用正拱型金屬爆破片,材質為不銹鋼,出廠時已試驗好,不得隨意調整。如果已爆破,需重新更換,更換期限由使用單位根據(jù)本單位的實際情況確定,對于大于爆破片標定爆破壓力而未爆破的應更換,經(jīng)常使用建議不大于爆破片的下限壓力的80%,更換時應注意爆破片凸面向上。(4)反應完畢后,先進行冷卻降溫,再將真空腔體內的氣體通過管路泄放到室外,使釜內壓力降至常壓,嚴禁帶壓拆卸,再將主螺栓、螺母對稱地松開卸下,然后小心的取下釜蓋(或升起釜蓋)置于支架上,卸蓋過程中應特別注意保護密封面。(5)釜內的清冼:每次真空腔體操作完畢后,應經(jīng)常清洗并保持干凈,不允許用硬物質或表面粗糙的物品進行清洗。

真空腔體操作前的準備工作:

1、檢查水沖泵(前級泵)水箱液位是否達水箱的3/4以上,若不足則補足。

2、檢查水箱內所使用的水是否清潔,不允許用含有泥沙的污水,以免堵塞管路,真空腔體增加水泵葉輪磨損、增加電機負荷造成故障,影響水沖泵使用壽命。

3、檢查中間泵及主泵泵體內的潤滑油油面高,須達油窗的3/4以上,同時檢查潤滑油的顏色,出現(xiàn)乳白色或黑色雜質較多則通知機修替換潤滑油。

4、真空腔體檢查中間泵及主泵循環(huán)冷卻水水路是否完好,打開循環(huán)冷卻水進出口閥門,檢查循環(huán)冷卻進出水是否正常。

5、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關閉。

6、檢查機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。

7、檢查機組觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常(中級泵啟動入口壓力為0.065Mpa以上,主泵啟動入口壓力為0.085Mpa以上)。

8、待以上事項檢查完畢確認無誤后方可啟動真空腔體機組。 真空腔體的放料閥、壓控閥內有雜物。解決辦法:清洗。

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真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結構材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%——20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270——900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應用普遍。近年來,為了降低真空腔體的制作成本,采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外,采用鈦合金來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學反應從而影響焊接質量,通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣,以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發(fā)生虛漏。為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。長沙半導體真空腔體加工價格

真空腔體一般是指通過真空裝置對反應釜進行抽真空,讓物料在真空狀態(tài)下進行相關物化反應的綜合反應容器。廈門真空烘箱腔體設計

真空腔體的加熱模式:從加熱模式上來,用戶也能夠按照自身的要求來選用不一樣的加熱模式,那么真空腔體的加熱模式都有哪些呢?1、蒸汽加熱模式。有的用戶由于生產(chǎn)加工物料的特性,或用戶生產(chǎn)加工現(xiàn)場有現(xiàn)成的蒸汽時,可選用蒸汽作為設備的加熱模式。蒸汽加熱模式也能夠借助智能化溫度控制系統(tǒng)對物料加熱溫度進行調節(jié)操作。2、電加熱模式。在許多工業(yè)生產(chǎn),電加熱模式相對受歡迎,是真空腔體內置的功能模塊,由溫度傳感器加熱介質層和隔熱保溫層所構成的溫度控制系統(tǒng),能夠簡單便捷的調節(jié)溫度,不需要另外硬件配置加熱設備,可大幅度減少加熱成本。在介質層加熱時,可按照不一樣的物料加工溫度選用不一樣的介質,常見的有水、導熱油等。上述即為真空腔體常見的2種加熱模式,可根據(jù)實際情況來選擇合適的加熱模式。廈門真空烘箱腔體設計

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