控制閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰,傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，使腔室內的真空壓力得以維持。負責門控半導體晶圓轉移的傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ，50 x 336 / 56 x 500 ，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ，轉移閥產品由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動，確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內部機構，保證高耐用性和長壽命。二、L型轉移閥。L型轉移閥產品由鋁或不銹鋼制造，其特點是設計緊湊，易于維護。I型和L型轉移閥在在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動，并且對溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長的使用壽命。此外，即使長時間使用柵極，它們產生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力。真空閘閥對于隔離不同的真空室、控制工藝過程中的氣流以及在不影響真空環(huán)境的情況下促進維護或維修很重要?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE

真空閘閥的維護保養(yǎng)為了確保真空閘閥的正常運行和延長使用壽命，需要進行定期的維護保養(yǎng)。以下是一些常見的維護保養(yǎng)措施：1.定期檢查閥門的密封性能，確保閥瓣和閥座之間的密封良好，防止氣體泄漏。2.定期對閥門進行清洗，去除閥門內部的雜質和污垢，保持閥門的通暢。3.檢查閥門的驅動裝置，確保其工作正常。對于電動或氣動執(zhí)行機構，應定期檢查電源或氣源供應情況，確保執(zhí)行機構的穩(wěn)定運行。4.對于長期未使用的閥門，應定期進行啟閉操作，以防止閥門因長期靜止而出現(xiàn)故障。5.在使用過程中，應避免對閥門施加過大的力矩或沖擊力，以免損壞閥門或影響其密封性能。Diffusion閘閥BUTTERFLY VALVE閘閥體內設一個與介質流向成垂直方向的平面閘板，靠這一閘板的升降來開啟或關閉介質的通路。

微泰,傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽。I型和L型轉移閥是用于半導體PVD CVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內的真空壓力。I型轉移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點是葉片在垂直方向上快速移動，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點是設計緊湊，易于維護。L型轉移閥的閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，以確保完美的腔室壓力維護。這兩種類型的轉移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點，并且在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動，對溫度變化也非常穩(wěn)定，以確保較長的使用壽命。如果您需要了解更多關于微泰傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥的信息，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司。

閘閥（gate valve）是一個啟閉件閘板，閘板的運動方向與流體方向相垂直，閘閥只能作全開和全關，不能作調節(jié)和節(jié)流。閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封，通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性，如堆焊1Cr13、STL6、不銹鋼等。閘板有剛性閘板和彈性閘板，根據閘板的不同，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。閘閥關閉時，密封面可以只依靠介質壓力來密封，即只依靠介質壓力將閘板的密封面壓向另一側的閥座來保證密封面的密封，這就是自密封。大部分閘閥是采用強制密封的，即閥門關閉時，要依靠外力強行將閘板壓向閥座， 以保證密封面的密封性。為了避免在顆粒敏感應用中產生顆粒，滑動閘門機構的設計旨在避免閥殼處的摩擦。

插板閥保養(yǎng)方法：1.檢查插板閥外觀，確保無損壞、銹蝕或泄漏。2.檢查閥體與管道連接是否牢固。3.檢查閥板運動是否順暢，無卡澀現(xiàn)象。4.檢查密封件是否完好，如有損壞應及時更換。5.定期對閥體進行清潔，去除污垢和雜質。6.檢查并潤滑閥桿和軸承部分。7.檢查電動執(zhí)行器（如有）是否正常工作，接線無松動。8.檢查閥門開啟和關閉指示是否準確。9.按照制造商的推薦周期進行有效的維護保養(yǎng)。定期進行有效保養(yǎng)能保證插板閥的正常工作，延長使用壽命。閘閥形體簡單，結構長度短，制造工藝性好，適用范圍廣。Etch閘閥蝶形控制閥

控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE

插板閥，又稱手動刀型閘閥。是閘閥的一種。刀形閘閥是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門，其原理是閘板上開有一個通徑大小的圓口，通過閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動作。此閥門的優(yōu)點在于閥體通徑無凹槽，介質不會卡阻堵塞，并且具有全通徑流通特性，其密封結構可以分軟密封、硬密封結構。穿透式刀閘閥是具有精密構造，工藝性好，結構緊湊等特點，密封閥座為活動結構設計，有防磨損和自動補償功能，因而壽命更長。在關閉和開啟過程中閥座跟閘板一直緊貼運動，使得閥門啟閉力穩(wěn)定，并且具有切斷介質等特點?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE