嘉興國產減薄用清洗劑技術指標

來源: 發(fā)布時間:2024-04-08

    產品名稱:LCD清洗劑光學鏡片清洗劑芯片模塊清洗劑產品鏈接:/zhizhangtianjiaji-qingxiji/手機版鏈接:,包括各種電子元器件、CCD和CMOS圖像感應芯片及模塊、半導體生產裝置零件和腔體、醫(yī)療設備零部件、LCD/OLED顯示器、光學件、鏡片、精密加工零部件等。由于HFEs清洗劑與HCFC-141b性能接近,使用氫氟醚清洗劑進行替代的一個好處是可直接使用原有設備和工藝,無須增加太多的投資,對生產的擾動也較小。但目前我國市場上的HFEs清洗劑幾乎均為進口,價格相對較高。目前主要用于高附加值零件的清洗和一些特殊要求的清洗場合??蓮囊韵聝蓚€方面著手,提高HFEs清洗劑使用的經(jīng)濟性。一是通過完善清洗工藝加強對HFEs清洗劑的蒸餾回收和再生,提高重復利用率;二是利用與其他溶劑的良好相溶性,添加一些價廉易得、清洗性能強的溶劑進行復配,或與其他一些相對便宜的清洗劑,如碳氫溶劑、醇醚類溶劑等組合實現(xiàn)清洗操作,這樣既可有效降低HFEs的消耗,減少運行成本,也可提高清洗效果。目前我司提供清LCD清洗劑光學鏡片清洗劑芯片模塊清洗劑型號有以下:ENASOLV2004清洗劑ENASOLV365az精密電子清洗劑ENASOLV氫氟醚系列清洗劑產品具體數(shù)據(jù)資料請聯(lián)系下方人員。使用減薄用清洗劑的需要什么條件。嘉興國產減薄用清洗劑技術指標

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    本發(fā)明提供如下技術方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進行拋光;磁轉子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,對所述待加工表面進行減薄??蛇x地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄??蛇x地,所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層??蛇x地,還包括:熱板,設置于所述托盤底部,用于對所述托盤進行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光;通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。深圳顯示面板用減薄用清洗劑銷售公司減薄用清洗劑,專為去除多余涂層設計,不留痕跡。。

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    降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進行清洗;采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮氣吹干。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法,還包括:在磁轉子運行一段時間后,更換磁轉子。如磁轉子12工作1小時后,可以將磁轉子12更換為新的磁轉子,以使磁轉子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言,由于其與實施例公開的方法相對應,所以描述的比較簡單,相關之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。

    實現(xiàn)玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時,控制玻璃的擺動幅度,提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區(qū)3的內壁相鄰,并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近,從而便于對玻璃厚度進行檢測;具體的,在所述控制器的控制下,所述主厚度測量儀32通過向玻璃發(fā)射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經(jīng)歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器;所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止減薄處理等操作,并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。較佳的,所述主厚度測量儀32可包括:發(fā)射器,其用于發(fā)射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過發(fā)射器發(fā)射激光束之前,所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。哪家減薄用清洗劑的是口碑推薦?

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質量好的減薄用清洗劑的找誰好?嘉興國產減薄用清洗劑技術指標

    本發(fā)明涉及半導體制造技術領域,更具體地說,涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術:采用iii-v族化合物制作的半導體器件和超高速數(shù)字/數(shù)?;旌想娐返葢{借其優(yōu)良的頻率特性,已經(jīng)成為通訊、雷達、制導、空間防御、高速智能化武器及電子對抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中,inp(磷化銦)化合物具有獨特的優(yōu)勢,這主要得益于其優(yōu)良的材料特性,例如,inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小,以及電子飽和速率很高等,所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor,高電子遷移率晶體管)結構還是hbt(heterojunctionbipolartransistor,異質結雙極晶體管)結構,都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是,inp材料的物理性能卻很差,非常易碎,很小的碰撞或振動都會導致晶圓碎裂而前功盡棄,因此,inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中,如何在對inp基晶圓進行減薄拋光時,減小或避免inp基晶圓的損傷是本領域技術人員亟待解決的問題之一。技術實現(xiàn)要素:有鑒于此,本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法,以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實現(xiàn)上述目的。嘉興國產減薄用清洗劑技術指標