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    20052005年，海日工業(yè)清洗劑產(chǎn)品通過了瑞士通用公證SGS測(cè)試和認(rèn)證...20042004年，經(jīng)機(jī)構(gòu)檢測(cè)，海日工業(yè)清洗劑產(chǎn)品通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證。20032003年4月，海日環(huán)保工業(yè)清洗劑通過了國(guó)際環(huán)境管理體系ISO14001:1996認(rèn)證。20122012年，廣州海日工業(yè)清洗劑獲得廣東省企業(yè)稱號(hào)20092009年，廣州海日清洗技術(shù)獲得中國(guó)工業(yè)清洗劑協(xié)會(huì)（ICAC）資質(zhì)榮譽(yù)證書...20082008年，廣州海日清洗技術(shù)有限公司正式加入工業(yè)清洗協(xié)會(huì)（ICAC）加快全國(guó)工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)化進(jìn)程20062006年，廣州海日清洗技術(shù)有限公司依靠自主創(chuàng)新環(huán)保高效清洗劑榮獲廣東省稱號(hào)...20012001年6月，在引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)后，廣州市海日清洗技術(shù)有限公司注冊(cè)正式成立！20122012年12月，獲得的全國(guó)工業(yè)清洗劑產(chǎn)品生產(chǎn)許可證，有效期到2015年12月29日！減薄用清洗劑，專為去除多余涂層設(shè)計(jì)，不留痕跡。。

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    并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無(wú)粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12，如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后，將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實(shí)施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對(duì)待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮?dú)獯蹈?。之后，將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動(dòng)分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。臺(tái)州減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨