廣東中芯國際用減薄用清洗劑銷售廠家

來源: 發(fā)布時間:2024-03-27

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經歷減薄處理,以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的,當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內,可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內,經所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。減薄用清洗劑的使用時要注意什么?

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    磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷??蛇x地,本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然,本發(fā)明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?;诖耍鐖D2所示,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。減薄清洗劑,采用科技,為您帶來好的清潔效果。廣東玻璃用減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨

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