上海哪家公司減薄用清洗劑技術指標

    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應設置，所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432，所述支撐條431固定設置于所述底座41上，所述接觸部434均勻設置在所述第二支撐條432上。同時可通過設置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調節(jié)所述底支撐件43的高度，如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的，所述支撐條431和所述第二支撐條432上設置有磁性組，所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436，所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力，從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設置有限位孔437，所述限位孔437設置為腰型孔，所述支撐條431的水平兩側均設置有若干限位塊438，所述第二支撐條432的水平兩側均設置有若干第二限位塊439，所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應設置，對應設置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設置在同一所述連接部433的所述限位孔437內。減薄清洗劑，輕松應對各種涂層挑戰(zhàn)，讓您的工作更輕松。上海哪家公司減薄用清洗劑技術指標

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    并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s，也就是說，控制磁轉子旋轉10s，控制磁轉子停止旋轉后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉子旋轉10s，以此類推。本發(fā)明實施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉子12，如磁轉子12工作1小時后，將磁轉子12更換為新的磁轉子，以使磁轉子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。減薄清洗劑采用獨特配方，提高工作效率。

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