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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈，所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。減薄用清洗劑的的概費用是多少？嘉興清洗效果好的減薄用清洗劑哪里買

    在本發(fā)明的一個實施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個實施例中，如圖3所示，磁轉子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結構120和位于柱狀磁性結構120的底部平面的研磨層121，以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨。當然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實施例中，可以根據(jù)實際需求選擇合適的磁轉子形狀。可選地，研磨層121為金屬氧化物層，進一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實施例中，如圖4所示，磁轉子12沿箭頭所示方向旋轉，如沿逆時針或順時針方向旋轉，并且，磁轉子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對整個待加工表面進行研磨。本發(fā)明實施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件。控制部件與磁轉子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉子12交替工作，以對待加工表面交替進行拋光和減薄。其中，控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉子12交替工作?？蛇x地，控制部件控制磁轉子12的轉速為80rpm～200rpm。廣州哪里減薄用清洗劑配方技術如何正確使用減薄用清洗劑的。

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