廣東中芯國(guó)際用減薄用清洗劑溶劑

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    在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖3所示，磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121，以通過(guò)研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀?？蛇x地，研磨層121為金屬氧化物層，進(jìn)一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中，如圖4所示，磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn)，如沿逆時(shí)針或順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，并且，磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件?？刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作，以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中，控制部件通過(guò)脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作?？蛇x地，控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm～200rpm。上海半導(dǎo)體減薄用清洗劑蘇州博洋化學(xué)股份有限公司清洗劑；

    較佳的，所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū)，所述第二沖洗區(qū)設(shè)置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間，所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉(zhuǎn)換區(qū)之間，所述第三沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述沖洗區(qū)設(shè)置有輔助厚度測(cè)量?jī)x。較佳的，所述第三沖洗區(qū)設(shè)置有第二輔助厚度測(cè)量?jī)x。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置為可升降的折疊式結(jié)構(gòu)。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置有裝卸臂。與現(xiàn)有技術(shù)比較本發(fā)明的有益效果在于：1，本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進(jìn)行減薄處理，可實(shí)現(xiàn)單次多片玻璃減薄，同時(shí)避免浸泡式減薄法中反應(yīng)產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問(wèn)題；2，本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時(shí)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)使側(cè)支撐件與玻璃之間接觸點(diǎn)產(chǎn)生變化，從而避免所述側(cè)支撐件與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件的長(zhǎng)期接觸造成接觸點(diǎn)無(wú)法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問(wèn)題；3，本發(fā)明通過(guò)所述側(cè)支撐件的固定結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件的位置調(diào)節(jié)，從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時(shí)設(shè)置于玻璃加工治具上同時(shí)進(jìn)行減薄處理。附圖說(shuō)明圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

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    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過(guò)所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部；所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動(dòng)組件，通過(guò)所述制動(dòng)組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動(dòng)，以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動(dòng)。在本實(shí)施例中，圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個(gè)所述玻璃減薄設(shè)備，所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2，所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間，所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu)，從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂，通過(guò)所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4的上下料，以及單片玻璃的拿取檢測(cè)。實(shí)施例二如圖2所示，圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測(cè)量?jī)x32、噴淋組件33和控制器；所述噴淋組件33在所述腔室31中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測(cè)量?jī)x32實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司。上海好用的減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨

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