銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-10-27

    更推薦滿足。參照?qǐng)D4,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,能夠使氧化物膜損傷不良**少。因此,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿足區(qū)間)即aeff為2以上,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,由此,即使沒(méi)有消耗費(fèi)用和時(shí)間的實(shí)際的實(shí)驗(yàn)過(guò)程,也能夠選擇具有目標(biāo)防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護(hù)對(duì)象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來(lái)添加。例如,對(duì)于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準(zhǔn)處理10,000秒的情況下,推薦按照保護(hù)對(duì)象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過(guò)上述添加劑的aeff值與濃度之積來(lái)計(jì)算,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來(lái)表示。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加。蝕刻液公司的聯(lián)系方式。銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng)

銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng),蝕刻液

    本發(fā)明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。背景技術(shù):參照?qǐng)D1,可以確認(rèn)3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過(guò)在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來(lái)制造。在不損傷氧化物膜的同時(shí)將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術(shù)之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時(shí)*將氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內(nèi)將氮化物膜完全去除時(shí),會(huì)使用防蝕能力強(qiáng)的添加劑,由此可能發(fā)生氮化物膜沒(méi)有被完全去除的工序不良(參照?qǐng)D2)。此外,想要將氮化物膜完全去除時(shí),會(huì)使用防蝕能力弱的添加劑,由此雖然氮化物膜被完全去除,但是可能發(fā)生對(duì)氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照?qǐng)D3)。以往,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當(dāng)水平的防蝕能力的添加劑時(shí),按照添加劑的種類和濃度通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行確認(rèn)。沒(méi)有這樣的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)就選擇添加劑實(shí)際上是不可能的。安徽蝕刻液聯(lián)系方式使用蝕刻液需要什么條件。

銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng),蝕刻液

    并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導(dǎo)致該基板20刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢(shì)。該蝕刻設(shè)備1可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置50,該噴灑裝置50設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,且該基板20設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對(duì)該基板20進(jìn)行一濕式蝕刻制程;由上述的說(shuō)明,擋液板結(jié)構(gòu)10的設(shè)置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續(xù)對(duì)已經(jīng)完成蝕刻步驟的基板20再進(jìn)行蝕刻制程,故仍舊會(huì)有少量的藥液51噴灑在擋液板結(jié)構(gòu)10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免該基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生。該輸送裝置30設(shè)置于該基板20的下方,該輸送裝置30包括有至少一滾輪31,其中該滾輪31與該基板20接觸以運(yùn)行該基板20;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,該輸送裝置30用以承載并運(yùn)送至少一該基板20于該濕式蝕刻機(jī)內(nèi)運(yùn)行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運(yùn)作,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖式未標(biāo)示)以驅(qū)動(dòng)該滾輪31轉(zhuǎn)動(dòng),例如:順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。

    12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號(hào)排液管;18、一號(hào)電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號(hào)排液管;23、二號(hào)電磁閥;24、傾斜板;25、活動(dòng)板;26、蓄水箱;27、進(jìn)水管;28、抽水管;29、三號(hào)電磁閥;30、控制面板。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗6,進(jìn)液漏斗6上設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)7,裝置主體1內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管8,進(jìn)液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。好的蝕刻液的標(biāo)準(zhǔn)是什么。

銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng),蝕刻液

    伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13,圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設(shè)置,電解池4內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計(jì)為5°,進(jìn)液管8的形狀設(shè)計(jì)為l型,且進(jìn)液管8貫穿分隔板2設(shè)置在進(jìn)液漏斗6與伸縮管9之間,圓環(huán)塊13通過(guò)伸縮桿12活動(dòng)安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過(guò)伸縮管9活動(dòng)安裝在電解池4上方,通過(guò)設(shè)置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過(guò)進(jìn)液管8流入到電解池4中時(shí),啟動(dòng)液壓缸11帶動(dòng)伸縮桿12向上移動(dòng),從而通過(guò)圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動(dòng)噴頭10向上移動(dòng),進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對(duì)電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)電解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵16,增壓泵16下端與電解池4之間連接有回流管15,增壓泵16上端與進(jìn)液管8之間連接有一號(hào)排液管17,回流管15內(nèi)部左端設(shè)置有一號(hào)電磁閥18,回流管15與進(jìn)水管27的形狀均設(shè)計(jì)為l型,通過(guò)在增壓泵16下端設(shè)置有回流管15,能夠在蝕刻液電解后,啟動(dòng)增壓泵16并打開(kāi)一號(hào)電磁閥18,將蝕刻液通過(guò)回流管15抽入到一號(hào)排液管17中,并由進(jìn)液管8導(dǎo)入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中。蝕刻液的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好?深圳BOE蝕刻液蝕刻液批量定制

哪家蝕刻液質(zhì)量比較好一點(diǎn)?銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng)

    操作人員的手會(huì)與連接構(gòu)件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進(jìn)行吸收,避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行;然后,通過(guò)連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部構(gòu)件進(jìn)行連接,連接構(gòu)件11設(shè)置有十四個(gè),連接構(gòu)件11設(shè)置在攪拌倉(cāng)23的底部,連接構(gòu)件11與攪拌倉(cāng)23固定連接,連接構(gòu)件11能將裝置主體1內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構(gòu)件的連接管放在連接構(gòu)件11的兩端,再通過(guò)連接管與連接構(gòu)件11內(nèi)側(cè)兩端的螺紋管27進(jìn)行連接,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)連接構(gòu)件11的兩側(cè)部位,同時(shí)使連接管與連接構(gòu)件11的中間位置固定住,通過(guò)活動(dòng)軸28的作用,使連接管通過(guò)連接有的螺紋向內(nèi)來(lái)連接,使連接管將密封軟膠層29進(jìn)行擠壓,使兩構(gòu)件的連接管進(jìn)行密封連接,有效的提高了裝置連接的實(shí)用性;接著,更換或添加硝酸鉀儲(chǔ)罐21或其它儲(chǔ)罐內(nèi)的制備材料,硝酸鉀儲(chǔ)罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,在將制備蝕刻液儲(chǔ)罐加入制備材料的時(shí)候,需要將儲(chǔ)罐進(jìn)行密封,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲(chǔ)罐21和其他儲(chǔ)罐的頂蓋與儲(chǔ)罐主體連接的位置進(jìn)行密封。銀蝕刻液蝕刻液供應(yīng)