嘉興半導體剝離液批量定制

來源: 發(fā)布時間:2023-10-09

    騰田化學技術(shù)(上海)技術(shù)有限公司(簡稱:騰田化學),騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場,依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關(guān)材料領(lǐng)域建立研發(fā)中心,憑借強大的科研實力,多年豐富的研發(fā)經(jīng)驗,共同建立化工材料分析中心與新材料研發(fā)中心;騰田化學致力于化工行業(yè)材料檢測、材料分析、配方還原、新領(lǐng)域新材料的研發(fā);加快新項目整體研發(fā)進度,縮短研發(fā)周期,推動化工產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)的進程.為企業(yè)提供一站式服務。騰田化學作為國內(nèi)的配方及研發(fā)技術(shù)有限公司,騰田化學技術(shù)團隊具有豐富研發(fā)經(jīng)驗,與多所高校及研究所建立研究性合作平臺,擁有前列的技術(shù)研發(fā)平臺、雄厚的科研技術(shù)力量以及精密的高科技儀器設備;有標準的圖譜庫;材料庫;完善的數(shù)據(jù)庫;能夠有效的解決某些前列領(lǐng)域特殊產(chǎn)品**能性助劑的定性定量分析及研發(fā)技術(shù)服務,為企業(yè)解決在研發(fā)中遇到的難題,突破多領(lǐng)域技術(shù)瓶頸;并且與化工行業(yè)上百家有規(guī)模企業(yè)建立長期技術(shù)合作;騰田化學中心擁有強大的技術(shù)研發(fā)團隊:由數(shù)位工程師在新材料前列領(lǐng)域已幫助多家企業(yè)解決實際生產(chǎn)問題,協(xié)助企業(yè)成功自主研發(fā)**產(chǎn)品項目很多項。鋁剝離液的配方是什么?嘉興半導體剝離液批量定制

嘉興半導體剝離液批量定制,剝離液

需要說明的是,本發(fā)明剝離液中,推薦*由上述成分構(gòu)成,但只要不阻礙本發(fā)明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發(fā)明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,本發(fā)明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調(diào)整ph。另外,本發(fā)明剝離液可以通過將上述成分分別分開預先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來制備。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發(fā)明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理,抗蝕劑被細小地粉碎。銅陵京東方用的蝕刻液剝離液私人定做哪家的剝離液蝕刻效果好?

嘉興半導體剝離液批量定制,剝離液

    實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數(shù)量)。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發(fā)明的一些實施方式。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。

    所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,所述道包括多個子管道,每一所述子管道與一子過濾器連通,且所述多個子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設置在每一所述子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設置在每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設置在每一所述子管道及每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述第二管道包括多個第三子管道,每一所述第三子管道與一子過濾器連通,且每一所述第三子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設置在每一所述第三子管道上。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,包括:將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;將來自于當前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室。哪家公司的剝離液的有售后?

嘉興半導體剝離液批量定制,剝離液

    本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關(guān)描述。 哪家公司的剝離液的是口碑推薦?揚州配方剝離液按需定制

哪家的剝離液比較好用點?嘉興半導體剝離液批量定制

    添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑;s3:將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機溶劑體系,廢液可通過蒸餾回收80-95%有效物,得出純化液體,而在上述制備方式中,純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復的,可以認為,添加劑是根據(jù)已知的剝離液新液的組分進行配制的,添加劑可以是對純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進行的添加、補充,使得純化液體和添加劑混合后,能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么,可以知道,在預先知道剝離液新液的組分的基礎(chǔ)上,可以通過預先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑,然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時,可以將添加劑加入純化液體中,再進行質(zhì)量分數(shù)的調(diào)節(jié)。純化液體是將剝離液廢液進行加壓、蒸餾,去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質(zhì),然后得出的純化液體,純化液體中所含的組分物質(zhì),都是剝離液新液所含有的組分物質(zhì)。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質(zhì)量分為:45%-60%;含有的醇醚化合物的質(zhì)量分為:35%-50%。嘉興半導體剝離液批量定制