合肥銅鈦蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

    所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器，所述***管道包括多個(gè)***子管道，每一所述***子管道與一子過(guò)濾器連通，且所述多個(gè)***子管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連通。在一些實(shí)施例中，所述第二管道包括公共子管道及多個(gè)第二子管道，每一所述第二子管道與一子過(guò)濾器連通，每一所述第二子管道與所述公共子管道連通，所述公共子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中，所述閥門開(kāi)關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道上。在一些實(shí)施例中，所述閥門開(kāi)關(guān)設(shè)置在每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中，所述閥門開(kāi)關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中，所述第二管道包括多個(gè)第三子管道，每一所述第三子管道與一子過(guò)濾器連通，且每一所述第三子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中，所述閥門開(kāi)關(guān)設(shè)置在每一所述第三子管道上。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法，包括：將多級(jí)腔室順序排列，按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液；將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中，所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑。天馬微電子用哪家剝離液更多？合肥銅鈦蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

    其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者，本發(fā)明涉及印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法，其特征在于，在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法中，使用上述抗蝕劑的剝離液進(jìn)行抗蝕劑的除去。發(fā)明效果本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液即使是微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎。因此，本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線框的制造方法。具體實(shí)施方式本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液(以下，稱為“本發(fā)明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發(fā)明剝離液中的鉀鹽沒(méi)有特別限定，例如，可以舉出氫氧化鉀、碳酸鉀等。需要說(shuō)明的是，鉀鹽中不含相當(dāng)于后述的硅酸鹽的硅酸鉀。這些之中推薦氫氧化鉀。另外，本發(fā)明剝離液中的鉀鹽的含量沒(méi)有特別限定，例如，推薦，更推薦，特別推薦。本發(fā)明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類，例如，可以舉出異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑、苯基丁基溶纖劑、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑、二乙基溶纖劑等。這些之中推薦異丙基溶纖劑。另外。剝離液溶劑剝離液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠？

    當(dāng)當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過(guò)濾器30被薄膜碎屑阻塞后，通過(guò)閥門開(kāi)關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過(guò)濾器30之間的液體流通，從而可以在閥門開(kāi)關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過(guò)濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級(jí)腔室102的剝離進(jìn)程無(wú)法繼續(xù)。其中，腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板分別提供剝離液；與多個(gè)腔室10分別對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20，各級(jí)腔室10分別通過(guò)管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接，存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液；過(guò)濾器30用于過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液，并且過(guò)濾器30還可以通過(guò)管道與下一級(jí)腔室102連接，從而過(guò)濾器30可以將過(guò)濾后的剝離液輸送給下一級(jí)腔室102。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程，用于向制程中的玻璃基板供給剝離液，具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述。各級(jí)腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過(guò)管道連接，腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中，由存儲(chǔ)箱20來(lái)收集和存儲(chǔ)。各級(jí)腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過(guò)濾器30通過(guò)管道連接，經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過(guò)濾器30過(guò)濾后才經(jīng)管道輸送至下一級(jí)腔室102。本申請(qǐng)中。

    實(shí)施例1～6：按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合，得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1：注：含量中不滿100wt％的部分由去離子水補(bǔ)足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對(duì)照例，與實(shí)施例1～6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進(jìn)行比較試驗(yàn)，對(duì)面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進(jìn)行剝離并分別測(cè)定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過(guò)片量(剝離的面壁數(shù)量)。對(duì)比情況見(jiàn)表2：表2：剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過(guò)片量/片實(shí)施例1130～15015376實(shí)施例2130～15016583實(shí)施例3130～15017279實(shí)施例4130～15015675實(shí)施例5130～15016372實(shí)施例6130～15017681對(duì)照例180～20022664由表2可知，本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過(guò)加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑，使剝離效率有明顯的提升，對(duì)金屬腐蝕率降低20％以上，而且讓過(guò)片量提高10％以上。以上所述的*是本發(fā)明的一些實(shí)施方式。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。龍騰光電用的哪家的剝離液？

    本發(fā)明采用一種選擇性剝離制備微納結(jié)構(gòu)的新方法，可制備出任意負(fù)性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統(tǒng)的加工方法提高了上萬(wàn)倍(以直徑為105nm的結(jié)構(gòu)為例),特別是為跨尺度結(jié)構(gòu)的加工，為光學(xué)領(lǐng)域，電學(xué)領(lǐng)域，聲學(xué)領(lǐng)域，生物領(lǐng)域，mem制造，nems制造，集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。本發(fā)明的技術(shù)方案如下：一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法，包括以下步驟：步驟一、提供襯底，并清洗；步驟二、對(duì)襯底進(jìn)行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力；步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜；步驟四、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓；所述所需結(jié)構(gòu)包括若干**單元，**單元外周形成有閉合的縫隙；步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層；步驟六、自所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠的邊沿處揭開(kāi)黏貼層，黏貼層將所需結(jié)構(gòu)以外的光刻膠粘走，留下所需結(jié)構(gòu)即襯底上留下的微納結(jié)構(gòu)；黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進(jìn)一步的改進(jìn)，在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法；高溫氣體修飾法包括如下步驟：將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中，其中，密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間，保溫1分鐘以上，直接取出襯底。哪家公司的剝離液是比較劃算的？銅陵格林達(dá)剝離液銷售廠家

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    2)、伺服變頻電機(jī)(3)、電機(jī)減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結(jié)構(gòu)(7)、膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)，所述主支撐架(1)上方設(shè)置有所述橫向支架(2)，所述橫向支架(2)上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)(3)，所述伺服變頻電機(jī)(3)上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱(4)，所述電機(jī)減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5)，所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6)，所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)，所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702)，所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703)，所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704)，所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)，所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801)，所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)，所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803)，所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804)，所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點(diǎn)膠頭(805)，所述點(diǎn)膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806)，所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807)，所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9)，所述電加熱箱。合肥銅鈦蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹

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