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復(fù)合式無塵室為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。⑵潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。⑶并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。清遠(yuǎn)萬級無塵室施工
無塵室人員管理,制定專職管理人員的職責(zé)、無塵室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理,物料進(jìn)入、各類設(shè)備進(jìn)入,以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理,包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理,對于無塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法,周期和檢查作明確的規(guī)定,防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。廣州無塵室如何做好無塵室的管理工作保證無塵室的潔凈度?
無塵室的等級是依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。無塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會用到。
簡易無塵室通常都是建在無塵車間內(nèi),所以不需要考慮風(fēng)淋室、傳遞窗以及空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng),成本與無塵車間比較會有很大降低,當(dāng)然這與簡易無塵室所需材料、大小以及潔凈級別有一定的關(guān)系。會將簡易無塵室建在無塵室之內(nèi),但有的客戶不想單獨建無塵車間,在簡易無塵室不考慮空調(diào)系統(tǒng)及風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備的情況下,簡易無塵室的成本約是無塵車間造價的40%~60%,這取決于客戶對簡易無塵室材料的選擇,以及簡易無塵室的大小。需要潔凈的區(qū)域越大,簡易無塵室與無塵車間的成本相比差別會越小。
對無塵室 C/R 而言,較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。
無塵室工程的換氣次數(shù)及風(fēng)速規(guī)定,根據(jù)我國潔凈廠房設(shè)計規(guī)范(GB 50073-2001)規(guī)定不同級別的非單向流無塵室工程、潔凈室工程、無菌室工程等送風(fēng)量的計算所需的換氣次數(shù)以及無塵室工程的氣流速度/換氣次數(shù),一直是無塵室工程設(shè)計中受到關(guān)注的問題,隨著無塵室污染源的控制效果增加及末端過濾器效率的提高等,對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進(jìn),對是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點:懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來,受到關(guān)注無塵室該怎么清潔呢?廣州100000級無塵室方案
無塵室是深圳市興元環(huán)境工程有限公司經(jīng)營的范圍之一。清遠(yuǎn)萬級無塵室施工
無塵室環(huán)境在線監(jiān)控系統(tǒng)功能:(1)遠(yuǎn)程控制:可在控制室通過計算機進(jìn)行遠(yuǎn)程實時監(jiān)控及設(shè)定報警,數(shù)據(jù)儲存,報告編輯,打印輸出;(2)聲光報警:報警系統(tǒng)具有采樣流量報警、通訊失敗報警、數(shù)值超標(biāo)報警、硬件故障報警等多種報警功能,以聲、光等方式進(jìn)行報警提醒,以保證系統(tǒng)長期安全、穩(wěn)定地運行;(3)粒子監(jiān)測功能:通過WCH-R80粒子計數(shù)器(、,,內(nèi)置真空泵)用以監(jiān)測空氣中的粒子數(shù);(4)流量監(jiān)測功能:監(jiān)測每一臺粒子監(jiān)控設(shè)備的運行流量,并提供流量是否運行正常的狀態(tài),如設(shè)定點流量+/-10%時提供報警信息反饋;(5)連續(xù)監(jiān)測功能:在無菌環(huán)境中工作的粒子計數(shù)器可以24小時進(jìn)行連續(xù)的監(jiān)測工作,并內(nèi)置流量監(jiān)控;(6)在線浮游菌檢測功能:通過外置氣泵收集浮游在空氣中的生物性粒子于專門的培養(yǎng)基,經(jīng)流量傳感器測得采樣量提供的采樣流量可達(dá)。實現(xiàn)無菌灌裝區(qū)內(nèi)不干擾采樣,外置取盤行動方案。(7)溫濕度、壓差、風(fēng)速監(jiān)測功能:監(jiān)測布置點位的實時溫濕度、壓差、風(fēng)速數(shù)據(jù)。清遠(yuǎn)萬級無塵室施工
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