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無(wú)塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱(chēng)之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過(guò)濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤(pán)管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。無(wú)塵室內(nèi)的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素。四川1000級(jí)無(wú)塵室
無(wú)塵室是將一定的空間范圍的空氣中有害氣體、微粒子、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),從而需要特別設(shè)計(jì)的房間。無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ),有了無(wú)塵室,可以更好地滿(mǎn)足不同領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用條件。不論外在環(huán)境條件如何變化,無(wú)塵室內(nèi)會(huì)維持設(shè)定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能,可以更好得避免外來(lái)細(xì)菌等微生物的污染,這也更大程度實(shí)現(xiàn)無(wú)塵室的作用?;葜?0萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室無(wú)塵室中不論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能特性。
潔凈室主要塵源: 1、產(chǎn)品及設(shè)施 無(wú)塵室內(nèi)的發(fā)塵量,來(lái)自設(shè)備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除,不流入室內(nèi);產(chǎn)品、材料等在運(yùn)送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比,一般極小,可忽略;由于金屬墻壁(彩鋼夾心板)的應(yīng)用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少,一般占10%以下。 2、人 發(fā)塵主要來(lái)自人,占90%左右。在人的發(fā)塵量上,由于服裝材料和樣式的改進(jìn),發(fā)塵量也在不斷減少。 A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量較大,以下依次為的確良、去靜電純滌綸、尼龍; B、樣式:大掛式發(fā)塵量大,上下分裝型次之,全罩型少; C、活動(dòng):動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍; D、清洗:用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化,恢復(fù)到原來(lái)潔凈度的自?xún)魰r(shí)間決定于氣流速度;對(duì)自?xún)魰r(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下),對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;(4)末級(jí)過(guò)濾器的效率:在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下,可采用較高效率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過(guò)濾器,并降低氣流速度,或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積**小;(5)經(jīng)濟(jì)性考慮:過(guò)大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過(guò)大往往不必要,亦不一定有效果;(6)對(duì)潔凈度要求低的無(wú)塵室工程,有時(shí)換氣次數(shù)。無(wú)塵室日常管理需要注意的問(wèn)題;
無(wú)塵室的等級(jí)是依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。無(wú)塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會(huì)用到。無(wú)塵室的等級(jí)分類(lèi)及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn);四川無(wú)塵室安裝
無(wú)塵室的清潔有什么要求?四川1000級(jí)無(wú)塵室
高 效過(guò)濾器的安裝密封是空氣凈化的關(guān)鍵,也是長(zhǎng)期以來(lái)的一個(gè)難點(diǎn)。過(guò)濾器安裝后的檢漏是很難通過(guò)的一項(xiàng)檢驗(yàn),許多潔凈室的不成功就是因?yàn)槊芊鉀](méi)做好,即使?jié)崈舳冗_(dá)標(biāo),其撿漏也未必達(dá)標(biāo)。這在其他潔凈室可能不是大問(wèn)題,但在制藥行業(yè)的生物潔凈室泄漏就意味著生菌,所以密封對(duì)生物潔凈室來(lái)說(shuō)是關(guān)鍵中的關(guān)鍵。 目前常用的密封方式有: 負(fù)壓密封:效果很好。FFU是其典型**。 機(jī)械壓緊:效果一般。高 效送風(fēng)口采用較多。 液槽密封:效果好,但施工難度較大。往往因施工影響其密封效果。四川1000級(jí)無(wú)塵室
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