做工業(yè)烤箱溫度不均勻

來源: 發(fā)布時間:2022-11-07

可靠的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置:進口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置:采用六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印。完善的控制系統(tǒng),及安全防護措施1操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2防護措施:緊急停止,超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護,短路保護,漏電保護,及電磁門禁保護等合肥真萍告訴您使用工業(yè)烤箱的便捷性。做工業(yè)烤箱溫度不均勻

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HMDS真空烤箱整機尺寸、真空腔體尺寸:1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。做工業(yè)烤箱溫度不均勻選用定制工業(yè)烤箱有哪些好處呢?合肥真萍科技為您介紹。

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下面為大家簡單介紹一下潔凈烘箱箱體結(jié)構(gòu):1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,防止了熱能浪費。4電熱部分:采用覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器5風道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風的方式由左向右送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A,(特殊風道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100;可靠的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置:進口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置:采用六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印。

通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算,風源是由送風馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)由電熱器,將熱風送至風道后進入烘箱工作室,且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱運用,如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關(guān),可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。真萍科技是具有設(shè)計、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。

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下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1、后門設(shè)計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)合肥真萍科技為您提供工業(yè)烤箱的詳細介紹?;窗补I(yè)烤箱門把手

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HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標:1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。7.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)8.溫度與PLC聯(lián)動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發(fā)出警報)9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)做工業(yè)烤箱溫度不均勻

合肥真萍電子科技有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創(chuàng)新的市場高度,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標準,在安徽省等地區(qū)的儀器儀表中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進取的無限潛力,真萍供攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!