HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?江蘇工業(yè)烤箱報價
工業(yè)烤箱,烘箱按行業(yè)來分可分為:電子行業(yè)烘箱 儀器儀表行業(yè)烘箱 塑料及橡膠行業(yè)烘箱 電工器材行業(yè)烘箱 電鍍行業(yè)烘箱印刷行業(yè)烘箱 眼鏡行業(yè)烘箱 制藥行業(yè)烘箱 紡織印染行業(yè)烘箱 機械行業(yè)烘箱 合成纖維行業(yè)烘箱 木材行業(yè)烘箱 磨擦材料烘箱 。而將熱風(fēng)送出,再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室,再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán),加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開關(guān)門動作引起溫度值發(fā)生擺動,可介此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值,合肥真萍。福建精密工業(yè)烤箱合肥真萍科技為您提供工業(yè)烤箱的詳細介紹。
1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細度;2、分段控制(當(dāng)?shù)竭_設(shè)定溫度時可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達到省電效果)3、內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4、整機控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運風(fēng)、傳動、自動門開關(guān)均采用智能控制,防止失誤動作;1、雙邊配有鏈條傳動,解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象;2、烘箱分段式加熱,單獨電箱控制,方便操作,結(jié)構(gòu)主要由輸送機系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成,多段單獨;3、PID溫度控制,爐內(nèi)溫度均勻;4、輸送速度變頻調(diào)速,調(diào)節(jié)自如,運行平穩(wěn),產(chǎn)能高;5、每段單獨箱體設(shè)置廢氣排放接口,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染。
工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),殼體為角鋼薄鋼板,內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱廠家直銷定制,價格從優(yōu)。
高溫鐘罩爐設(shè)備規(guī)格及結(jié)構(gòu)爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來石材料砌筑而成外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm)一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度:1550℃1.2限制溫度:1600℃1.3加熱元件:U型硅鉬棒1.4加熱功率:16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個數(shù):1個1.7控溫點數(shù):1點1.8熱偶:B分度1.9程序**精度:±2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛:2路空氣,流量計量程為7~70L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.2排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個排氣*囪,用于廢氣排放三、傳動系統(tǒng)3.1傳動方式:升降式3.2傳動類型:電動推桿傳動3.3容積:20L四、冷卻系統(tǒng)4.1冷卻結(jié)構(gòu):無4.2產(chǎn)品降溫:隨爐降溫五、安全保護5.1升、降、停按鈕:載料臺的升、降、??刂?.2報警指示:超溫、斷偶、過載、超程、偏差等聲光報警5.3設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min六、溫度控制系統(tǒng)6.1溫度測量:采用B分度熱偶測量6.2控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制6.3限溫處理:6.3.1當(dāng)測量溫度超過設(shè)定的安全值時,斷加熱,并報警6.3.2當(dāng)測量溫度超過目標溫度達到限制偏差值時,報警6.4控制儀表:采用進口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能合肥真萍工業(yè)烤箱的運用領(lǐng)域!福建精密工業(yè)烤箱
使用工業(yè)烤箱的好處有哪些?江蘇工業(yè)烤箱報價
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個排氣*囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進入大氣中,減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min四、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量采用K分度熱偶測量2.控制儀表采用進口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能4.控制方式固態(tài)繼電器過零控制5.超溫處理⑴.當(dāng)測量溫度超過設(shè)定的安全值時,斷加熱,并報警。⑵.當(dāng)測量溫度超過目標溫度達到安全偏差值時,報警。江蘇工業(yè)烤箱報價
合肥真萍電子科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟奇跡,一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍圖,在安徽省等地區(qū)的儀器儀表中始終保持良好的信譽,信奉著“爭取每一個客戶不容易,失去每一個用戶很簡單”的理念,市場是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團結(jié)一致,共同進退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來真萍供和您一起奔向更美好的未來,即使現(xiàn)在有一點小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗,才能繼續(xù)上路,讓我們一起點燃新的希望,放飛新的夢想!