福建工業(yè)烤箱的廠家

來源: 發(fā)布時間:2022-03-13

HMDS真空烤箱主要技術指標:1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉為HMDS氣態(tài)時更易。7.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)8.溫度與PLC聯(lián)動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發(fā)出警報)9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)工業(yè)烤箱使用時要考慮什么問題?福建工業(yè)烤箱的廠家

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石墨盤烤盤爐

一.產(chǎn)品介紹

真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。

二、設計特點

1、后門設計熱風電機

2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的

三、技術指標

1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;

2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;

4、加熱元件:石墨加熱棒;

5、冷卻方式:氣冷 + 循環(huán)風冷降溫;

6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;

7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);

8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;

9、極限真空: 10-3torr級;

10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr

11、升溫功率:170kW;

12、升溫速率:15℃/min(空載);

13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘

14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高) 福建工業(yè)烤箱的廠家工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?合肥真萍告訴您。

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質量連續(xù)爐的適用范圍:連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機械機構連續(xù)地或間歇地進行裝料和出料,連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質量,提高勞動生產(chǎn)率和改善勞動條件。使用于電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預熱、定型、加工等。

高溫鐘罩爐設備規(guī)格及結構爐膛結構:采用多晶莫來石材料砌筑而成外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm)一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度:1550℃1.2限制溫度:1600℃1.3加熱元件:U型硅鉬棒1.4加熱功率:16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個數(shù):1個1.7控溫點數(shù):1點1.8熱偶:B分度1.9程序**精度:±2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛:2路空氣,流量計量程為7~70L/min;每路流量可調節(jié)2.2排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設置一個排氣*囪,用于廢氣排放三、傳動系統(tǒng)3.1傳動方式:升降式3.2傳動類型:電動推桿傳動3.3容積:20L四、冷卻系統(tǒng)4.1冷卻結構:無4.2產(chǎn)品降溫:隨爐降溫五、安全保護5.1升、降、停按鈕:載料臺的升、降、??刂?.2報警指示:超溫、斷偶、過載、超程、偏差等聲光報警5.3設備安全升溫速率≤5℃/min六、溫度控制系統(tǒng)6.1溫度測量:采用B分度熱偶測量6.2控制方式:高性能移相調壓+SCR晶閘管模塊控制6.3限溫處理:6.3.1當測量溫度超過設定的安全值時,斷加熱,并報警6.3.2當測量溫度超過目標溫度達到限制偏差值時,報警6.4控制儀表:采用進口智能調節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱如何去使用呢?

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下面為大家介紹一下六腔體無塵烤箱

箱體結構:

1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2 進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。

3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。

4電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器

5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100;

可靠先進的測控系統(tǒng)

1溫度控制裝置:日本進口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設定功能

2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶

3溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測 有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印。

完善的控制系統(tǒng)

1操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。

2防護措施:緊急停止,超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護等。 合肥真萍工業(yè)烤箱的運用領域。工業(yè)烤箱維修

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電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。過濾系統(tǒng):2.1EBM電子式EC馬達控制無塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結構體。2.3特殊導流風道設計,風壓平均,可有效提供風量,降低噪音。2.4電路板控制模塊,提供安全保護裝置,運轉異常指示燈及控制干接點輸出。2.5無段式風量調速器可任意調整風量大小。2.6濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果。2.7電力規(guī)格:單相220V50Hz0.95A,輸出功率150W。福建工業(yè)烤箱的廠家