無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)方式，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算，風(fēng)源是由送風(fēng)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)由電熱器，將熱風(fēng)送至風(fēng)道后進(jìn)入烘箱工作室，且將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱運用，如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關(guān)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由送風(fēng)馬達(dá)、風(fēng)輪和電熱器組成，送風(fēng)馬達(dá)帶動風(fēng)輪送出冷風(fēng)，冷風(fēng)經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風(fēng)道進(jìn)入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

下面為大家簡單介紹一下六腔體無塵烤箱產(chǎn)品介紹：本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。技術(shù)指標(biāo)：1無塵等級：Class100：（符合FED-STD209E標(biāo)準(zhǔn)：0.3um≤300個0.5≤100個）2溫度范圍：+60℃~+250℃（極限溫度350℃）3溫度均勻性：±2℃（空箱測試）4溫度精確度：±1℃（空箱測試）5設(shè)備型號規(guī)格:450*450*450；450*600*450；600*800*600；600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對如今市場的影響。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

石墨盤烤盤爐

一.產(chǎn)品介紹

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。

二、設(shè)計特點

1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機(jī)

2、降溫時風(fēng)機(jī)開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的

三、技術(shù)指標(biāo)

1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；

2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；

4、加熱元件：石墨加熱棒；

5、冷卻方式：氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫；

6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；

7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；

8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；

9、極限真空: 10-3torr級；

10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr

11、升溫功率：170kW；

12、升溫速率：15℃/min（空載）；

13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘

14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） 工業(yè)烤箱使用時的注意事項。

工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu)，殼體為角鋼薄鋼板，內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁，它能起到保溫的作用，形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動性，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。使用工業(yè)烤箱前的檢查步驟。無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

工業(yè)烤箱的基本結(jié)構(gòu)級應(yīng)用！無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.

用途介紹：無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：±1℃；2.3溫度均勻度：±2%℃（260℃平臺）；無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.