國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)(ITRS)預(yù)測(cè)未來(lái)45納米節(jié)點(diǎn)上的高性能晶體管的有效柵氧厚度(EOT)將小于1.0納米。隨著有效柵氧厚度(EOT)小于2.0納米,多晶硅柵電極的耗盡效應(yīng)將成為一道擺在工程師面前難以逾越的鴻溝,于是生產(chǎn)中使用幾乎完全沒有耗盡效應(yīng)的金屬柵電極將是大勢(shì)所趨。而且值得一提的是當(dāng)有效柵氧厚度(EOT)進(jìn)入這一范圍后,柵氧與硅之間交接面的質(zhì)量將會(huì)明顯影響器件的性能。另外,將高介電常數(shù)絕緣材料和兩種不同功函數(shù)的金屬柵電極引入nMOS和pMOS晶體管的制造流程是非常復(fù)雜的。本文針對(duì)當(dāng)今業(yè)界在生產(chǎn)雙金屬柵結(jié)構(gòu)CMOS器件中使用的高介電常數(shù)絕緣材料表面預(yù)處理工藝及金屬濕法刻蝕技術(shù)等領(lǐng)域取得的成就和存在的問題進(jìn)行了總結(jié)與展望四氯化鉿里面的鋯含量可以做到多少 ?海南高純四氯化鉿MSDS
制備方法氯化鉿的制備裝置采用如圖所示裝置進(jìn)行合成。反應(yīng)管為內(nèi)徑18mm、長(zhǎng)50cm的硼硅酸玻璃管,其一端為陽(yáng)型磨口接頭,將10處拉細(xì),在距10處2.5cm處裝入硼硅酸玻璃棉。把5.0~15.0g的二氧化鉿裝入管內(nèi),反應(yīng)管置于電爐9(長(zhǎng)度約20cm)的中心。隨后,使另-端在8處與活塞7熔接。從6處將50~100mL的干燥四氯化碳裝入容積為300mL的燒瓶5中,然后將6封閉。關(guān)閉活塞4,將活塞7旋至適當(dāng)?shù)奈恢茫ㄈ氲獨(dú)?。使氮?dú)庀冉?jīng)過(guò)五氧化二磷干燥塔1、2及安全阱3以后,再進(jìn)入反應(yīng)管。若將電爐加熱到300~400℃,由于所含濕氣被蒸出,可用火焰將濕氣從反應(yīng)管端逐出。然后,將陰型干燥管與反應(yīng)管的一端11的陽(yáng)型接頭接合在一起。在12處裝入硼硅酸玻璃棉,在12與13之間裝入氯化鈣。在磨口連接處涂以硅酮潤(rùn)滑脂。充分?jǐn)D壓使該處密封良好。按好干燥管以后,在干燥氮?dú)庵袑⒃嚇蛹訜嵋灰?。隨后將裝有濃氫氧化鈉水溶液的瓶14與干燥管連接起來(lái),開始合成反應(yīng)。注意,因?yàn)閺?4出來(lái)的氣體中也會(huì)含有處理不盡的光氣,所以必須導(dǎo)入通風(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行排氣。海南高純四氯化鉿MSDS四氯化鉿的溶解度高么?
它們具有兩性,難溶于堿易溶于酸。當(dāng)將氧化物強(qiáng)熱,即變?yōu)殡y熔物,它們不溶于酸(氫氟酸除外)和堿。難熔二氧化物用作高溫絕熱體。ZrO2由于生成熱和燃燒熱很大,可制照相用閃光燈炮,導(dǎo)火劑,還可用作爐襯,制造坩堝。ZrO2是高質(zhì)量的耐火材料,優(yōu)良高溫陶瓷。二氧化鋯水合物ZrO2·xH2O可由氯化氧鋯水解制得:ZrOCl2+(x+1)H2O→ZrO2·xH2O+2HCl得到的二氧化鋯水合物ZrO2·xH2O是一種白色凝膠,含水量不定。也稱為α型鋯酸,它可溶解在稀酸中,并容易生成溶膠,即被所吸附的酸或堿所膠溶。在加熱下沉淀下來(lái)的叫做β型鋯酸。它具較少的水含量,并難溶于水中,這些情況和鈦酸的兩種構(gòu)型相似。二氧化鋯水合物ZrO2·xH2O既能與酸反應(yīng)呈堿性,又能與堿作用,呈現(xiàn)弱酸性,它的酸性比TiO2·xH2O更弱。它和強(qiáng)堿熔融時(shí),生成晶狀的偏鋯酸鹽M12ZrO3,同時(shí)也能生成正鋯酸鹽M14ZrO4。堿金屬鋯酸鹽在水中的溶解度很小,和其它的弱酸鹽一樣,它們?cè)谒芤褐幸踩菀姿猓篘a2ZrO3+2H2O→ZrO(OH)2+2NaOH在濃的強(qiáng)堿中加入鋯鹽,并不生成組成固定的鋯酸鹽,所得到的是吸附了堿金屬氫氧化物的二氧化鋯水合物沉淀。
美國(guó)、歐洲、日本等發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)十分重視新材料技術(shù)的發(fā)展,都把發(fā)展新材料作為科技發(fā)展戰(zhàn)略的重要組成部分,在制定國(guó)家科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃時(shí),將新材料技術(shù)列為21世紀(jì)優(yōu)先發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)之一,予以重點(diǎn)發(fā)展,以保持其經(jīng)濟(jì)和科技的地位。中國(guó)的新材料科技及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在國(guó)家的大力關(guān)心和支持下,也取得了重大的進(jìn)展和成績(jī),為國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支撐。為研究我國(guó)新材料領(lǐng)域的發(fā)展現(xiàn)狀和態(tài)勢(shì),討論了新材料包括超導(dǎo)材料、金屬材料、非金屬材料、高分子材料和復(fù)合材料的理論研究、制備工藝、產(chǎn)品應(yīng)用、技術(shù)裝備等方面的內(nèi)容四氯化鉿是什么,有什么作用?
新材料按材料的屬性劃分,有金屬材料、無(wú)機(jī)非金屬材料(如陶瓷、砷化鎵半導(dǎo)體等)、有機(jī)高分子材料、先進(jìn)復(fù)合材料四大類。按材料的使用性能劃分,有結(jié)構(gòu)材料和功能材料。結(jié)構(gòu)材料主要是利用材料的力學(xué)和理化性能,以滿足**度、高剛度、高硬度、耐高溫、耐磨、耐蝕、抗輻照等性能要求;功能材料主要是利用材料具有的電、磁、聲、光熱等效應(yīng),以實(shí)現(xiàn)某種功能,如半導(dǎo)體材料、磁性材料、光敏材料、熱敏材料、隱身材料和制造氫彈的核材料等。新材料在**建設(shè)上作用重大。例如,超純硅、砷化鎵研制成功,導(dǎo)致大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的誕生,使計(jì)算機(jī)運(yùn)算速度從每秒幾十萬(wàn)次提高到每秒百億次以上;航空發(fā)動(dòng)機(jī)材料的工作溫度每提高100℃,推力可增大24%;隱身材料能吸收電磁波或降低武器裝備的紅外輻射,使敵方探測(cè)系統(tǒng)難以發(fā)現(xiàn),等等。新材料技術(shù)被稱為“發(fā)明之母”和“產(chǎn)業(yè)糧食”。四氯化鉿四氯化鉿多錢錢,價(jià)格貴嗎?海南制造四氯化鉿CAS#
四氯化鉿中氧含量要如何測(cè)定?海南高純四氯化鉿MSDS
所制備的HfC陶瓷先驅(qū)體具有制備工藝簡(jiǎn)單、溶解性能優(yōu)良、陶瓷產(chǎn)物性能好的優(yōu)點(diǎn),在聚合物浸漬裂解工藝制備超高溫陶瓷基復(fù)合材料上有很好的應(yīng)用前景本文通過(guò)先驅(qū)體轉(zhuǎn)化法,以四氯化鉿,乙酰**,乙醇,1,4-丁二醇為原料合成了HfC陶瓷先驅(qū)體。采用元素分析、紅外光譜、核磁共振、TGA等對(duì)先驅(qū)體的組成、結(jié)構(gòu)及性能進(jìn)行了表征。結(jié)果表明:先驅(qū)體是一種主鏈含Hf-O鍵和-C4H8-鍵,側(cè)鏈含乙酰**的線性聚合物。先驅(qū)體1000℃陶瓷產(chǎn)率為53.1wt%。采用元素分析、紅外光譜、XRD、SEM等對(duì)先驅(qū)體的無(wú)機(jī)化過(guò)程及陶瓷產(chǎn)物的組成、結(jié)構(gòu)與性能進(jìn)行了表征。結(jié)果表明:1000℃時(shí)陶瓷產(chǎn)物主要為HfO2,1400℃逐漸轉(zhuǎn)化為HfC陶瓷。。四氯化鉿海南高純四氯化鉿MSDS
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