中山MEMS微納加工平臺

微納測試與表征技術是微納加工技術的基礎與前提，它包括在微納器件的設計、制造和系統(tǒng)集成過程中，對各種參量進行微米/納米檢測的技術。微米測量主要服務于精密制造和微加工技術，目標是獲得微米級測量精度，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何、機械及力學特性；納米測量則主要服務于材料工程和納米科學，特別是納米材料，目標是獲得材料的結(jié)構(gòu)、地貌和成分的信息。在半導體領域人們所關心的與尺寸測量有關的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度、薄膜的厚度和表面的糙度等等。未來，微納測試與表征技術正朝著從二維到三維、從表面到內(nèi)部、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展。探索新的測量原理、測試方法和表征技術，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢。微納加工平臺包括光刻、磁控濺射、電子束蒸鍍、濕法腐蝕、干法腐蝕、表面形貌測量。中山MEMS微納加工平臺

隨著聚合物精密擠出成型技術和現(xiàn)代納米技術的發(fā)展，聚合物制品逐漸向微型化發(fā)展，傳統(tǒng)擠出成型也朝著微型化發(fā)展，出現(xiàn)了微擠出成型技術。如今，微擠出成型技術常應用于納米介入導管、微型光纖和微細齒輪等的制備。在聚合物熔體微擠出成型的過程中，機頭流道結(jié)構(gòu)直接影響到熔體流動的流場分布與穩(wěn)定性。不合理的機頭結(jié)構(gòu)參數(shù)，將導致制品尺寸誤差、形狀誤差和機械性能不足等問題的出現(xiàn)，出現(xiàn)諸如壁厚不均、開裂、蜜魚皮和翹曲等缺陷。國內(nèi)外學者對基于微尺度條件下的聚合物流動行為進行了大量有意義的嘗試和研究，主要研究內(nèi)容包括微細流道聚合物溶體流動、表面張力、壁面滑移現(xiàn)象、微擠出機頭設計等。為更深入、系統(tǒng)的微擠出成型研究奠定了理論基礎。廣東鍍膜微納加工技術微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件。

聚合物等溫微納米熱壓印技術同時適用于結(jié)晶型聚合物和非晶型聚合物，研究人員分別選用PP和PMMA作為兩類聚合物的象征，對較優(yōu)加工工藝及其內(nèi)在成型機理展開探索。結(jié)果表明，對PMMA等非晶型聚合物而言，模具溫度設定在Tg附近即可獲得成型效果優(yōu)異的微納結(jié)構(gòu)制品；在加工PP等結(jié)晶型聚合物時，模具溫度則應設置在Tm以下40~60℃的溫度區(qū)間內(nèi)。利用聚合物等溫微納米熱壓印技術制得的微納結(jié)構(gòu)制品結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，微納結(jié)構(gòu)一致性高且成型效率高。目前，聚合物等溫微納米壓印方法的相關中心技術已申請國家發(fā)明專利和PCT國際專利。相信在全球范圍內(nèi)的微納制造技術研發(fā)大潮中，聚合物等溫微納米熱壓印技術的出現(xiàn)會為研究人員提供新的靈感和動力。

微納米科技發(fā)展迅速，是多學科交叉應用的前沿科學技術。微機電系統(tǒng)、微光電系統(tǒng)、生物微機電系統(tǒng)等是微納米技術的重要應用領域。微納結(jié)構(gòu)器件是系統(tǒng)重要的組成部分，其制造的質(zhì)量、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展。在微納結(jié)構(gòu)器件制造中，聚合物材料具有成本低、機械性能優(yōu)、加工效率高，生物兼容性好等明顯優(yōu)勢，以熱塑性聚合物為基材開發(fā)微納結(jié)構(gòu)器件是微納米技術的研究熱點和重要發(fā)展方向之一。聚合物微納制造技術，集現(xiàn)代超精密加工、MEMS技術、NAMS技術、微納測量技術、智能控制技術等杰出技術之大成，賦予人類在微納米尺度對聚合物制件進行設計，并批量制備特征尺寸在數(shù)十納米到數(shù)十微米的微納幾何結(jié)構(gòu)及其陣列的能力。聚合物微納米制造技術，不僅是對傳統(tǒng)塑料加工方法的挑戰(zhàn)，也是對傳統(tǒng)機械加工方法和測控技術極限的挑戰(zhàn)，屬聚合物加工領域的技術前沿，值得廣大從事聚合物加工的科研人員共同付出努力。在過去的幾年中，全球各地的研究機構(gòu)和大學已開始集中研究微觀和納米尺度現(xiàn)象、器件和系統(tǒng)。

在微納加工過程中，薄膜的形成方法主要為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜、化合物等。熱蒸發(fā)是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空，在電場的作用下，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜；化學氣相沉積（CVD）是典型的化學方法而等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）是物理與化學相結(jié)合的混合方法，CVD和PECVD主要用于生長氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜。微納加工按技術分類，主要分為平面工藝、探針工藝、模型工藝。江蘇刻蝕微納加工多少錢

微納加工平臺主要提供微納加工技術工藝。中山MEMS微納加工平臺

聚合物微納系統(tǒng)是較具應用前景的微納機電系統(tǒng)之一，按照微納制品的空間結(jié)構(gòu)形式可以分為一維、二維和三維微納制造。一維微納制造：微流控芯片、導光板、納米薄膜、微納過濾材料、微納復合材料及器件等；二維微納制造：納米纖維、納米中空纖維等；三維微納制造：微泵、微換熱器、微型減速器、微型按插件等。聚合物是許多微納米系統(tǒng)的基礎材料，聚合物微納系統(tǒng)是較有希望在近期實現(xiàn)實際應用的系統(tǒng)之一，聚合物微納尺度制造科學與技術在微納制造技術中占有極其重要的地位。聚合物微加工工藝除了LIGA加工、準LIGA加工、小機械加工、超聲波加工、等離子體加工、激光加工、離子束加工、電子束加工和快速成形等工藝外，還包括微注塑成型、微擠出成型以及微壓印成型等。中山MEMS微納加工平臺