深圳化合物半導(dǎo)體器件加工平臺

光刻過程：首先，通過金屬化過程，在硅襯底上布置一層只數(shù)納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在曝光（一般是紫外線）后可以被特定溶液（顯影液）溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上，可以對光刻膠進行選擇性照射（曝光）。然后使用前面提到的顯影液，溶解掉被照射的區(qū)域，這樣，光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上。通常還將通過烘干措施，改善剩余部分光刻膠的一些性質(zhì)。上述步驟完成后，就可以對襯底進行選擇性的刻蝕或離子注入過程，未被溶解的光刻膠將保護襯底在這些過程中不被改變?？涛g或離子注入完成后，將進行光刻的較后一步，即將光刻膠去除，以方便進行半導(dǎo)體器件制造的其他步驟。通常，半導(dǎo)體器件制造整個過程中，會進行很多次光刻流程。生產(chǎn)復(fù)雜集成電路的工藝過程中可能需要進行多達50步光刻，而生產(chǎn)薄膜所需的光刻次數(shù)會少一些。MEMS制造是基于半導(dǎo)體制造技術(shù)上發(fā)展起來的。深圳化合物半導(dǎo)體器件加工平臺

在MOS場效應(yīng)管的制作工藝中，多晶硅是作為電極材料（柵極）用的，用多晶硅構(gòu)成電阻的結(jié)構(gòu)。它的薄層電阻值一般為30~200歐姆/方。當(dāng)用多晶硅作為大阻值電阻時，可另外再加上一次光刻，用離子注入較小劑量來得到，其阻值可達10千歐/方。MOS管電阻。由于多晶硅下面有厚的氧化層與電路隔離，其寄生電容大幅度減小，但多晶硅電阻的薄層電阻大小，除與離子注入劑量有關(guān)外，還與多晶硅的厚度，多晶硅淀積質(zhì)量等因素有關(guān)，因此，用于做精密電阻還是困難的。江西物聯(lián)網(wǎng)半導(dǎo)體器件加工將單晶硅棒分段成切片設(shè)備可以處理的長度，切取試片測量單晶硅棒的電阻率含氧量。

射頻MEMS技術(shù)傳統(tǒng)上分為固定的和可動的兩類。固定的MEMS器件包括本體微機械加工傳輸線、濾波器和耦合器，可動的MEMS器件包括開關(guān)、調(diào)諧器和可變電容。按技術(shù)層面又分為由微機械開關(guān)、可變電容器和電感諧振器組成的基本器件層面；由移相器、濾波器和VCO等組成的組件層面；由單片接收機、變波束雷達、相控陣雷達天線組成的應(yīng)用系統(tǒng)層面。MEMS工藝以成膜工序、光刻工序、蝕刻工序等常規(guī)半導(dǎo)體工藝流程為基礎(chǔ)。硅基MEMS加工技術(shù)主要包括體硅MEMS加工技術(shù)和表面MEMS加工技術(shù)。體硅MEMS加工技術(shù)的主要特點是對硅襯底材料的深刻蝕，可得到較大縱向尺寸可動微結(jié)構(gòu)。表面MEMS加工技術(shù)主要通過在硅片上生長氧化硅、氮化硅、多晶硅等多層薄膜來完成MEMS器件的制作。利用表面工藝得到的可動微結(jié)構(gòu)的縱向尺寸較小，但與IC工藝的兼容性更好，易與電路實現(xiàn)單片集成。

光刻膠經(jīng)過幾十年不斷的發(fā)展和進步，應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴大，衍生出非常多的種類。不同用途的光刻膠曝光光源、反應(yīng)機理、制造工藝、成膜特性、加工圖形線路的精度等性能要求不同，導(dǎo)致對于材料的溶解性、耐蝕刻性、感光性能、耐熱性等要求不同。因此每一類光刻膠使用的原料在化學(xué)結(jié)構(gòu)、性能上都比較特殊，要求使用不同品質(zhì)等級的光刻膠適用化學(xué)品。1959年光刻膠被發(fā)明以來，被普遍運用在加工制作廣電信息產(chǎn)業(yè)的微細圖形路線。作為光刻工藝的關(guān)鍵性材料，其在PCB、TFT-LCD和半導(dǎo)體光刻工序中起到重要作用。晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。

在MEMS制程中，刻蝕就是用化學(xué)的、物理的或同時使用化學(xué)和物理的方法，在光刻的基礎(chǔ)上有選擇地進行圖形的轉(zhuǎn)移?？涛g技術(shù)主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕。干法刻蝕主要利用反應(yīng)氣體與等離子體進行刻蝕；以FATRIUTC為例，在MEMS制造中的ICP刻蝕機主要用來刻蝕Si、Si3N4、SiO2等。濕法刻蝕主要利用化學(xué)試劑與被刻蝕材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進行刻蝕；以FATRIUTC的MEMS制程為例，在濕法槽進行濕法刻蝕的對象有SiO2、Si3N4、金屬、光刻膠等，晶圓作業(yè)中的清洗步驟也需在濕法槽中進行。半導(dǎo)體器件是導(dǎo)電性介于良導(dǎo)電體與絕緣體之間，利用半導(dǎo)體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件。廣州化合物半導(dǎo)體器件加工方案

微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標(biāo)志之一。深圳化合物半導(dǎo)體器件加工平臺

熱處理是簡單地將晶圓加熱和冷卻來達到特定結(jié)果的工藝。在熱處理的過程中，晶圓上沒有增加或減去任何物質(zhì)，另外會有一些污染物和水汽從晶圓上蒸發(fā)。在離子注入工藝后會有一步重要的熱處理。摻雜原子的注入所造成的晶圓損傷會被熱處理修復(fù)，這稱為退火，溫度一般在1000℃左右。另外，金屬導(dǎo)線在晶圓上制成后會有一步熱處理。這些導(dǎo)線在電路的各個器件之間承載電流。為了確保良好的導(dǎo)電性，金屬會在450℃熱處理后與晶圓表面緊密熔合。熱處理的第三種用途是通過加熱在晶圓表面的光刻膠將溶劑蒸發(fā)掉，從而得到精確的圖形。深圳化合物半導(dǎo)體器件加工平臺