干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機,用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。真空泵結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。醫(yī)用真空泵供貨價格
歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。干式螺桿真空泵規(guī)格對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。
噴嘴是影響真空泵性能的重要部件,存在的問題有:噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏,不管采取何種預(yù)防措施,噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時,管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴;另一方面,真空泵系統(tǒng)停用時,蒸汽管道易生銹,銹斑在使用時掉落堵塞噴嘴。蒸汽的影響:我們常用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵,是以過飽滿水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的,蒸汽的狀況對泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能,還會腐蝕蒸汽噴嘴,添加泵的蒸汽用量,使泵的作業(yè)狀況變得不穩(wěn)定。
真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個到一個數(shù)量級。(如:真空工藝要求100pa(壓力)的真空度,選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強高于3300Pa,則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置,如果壓強要求低于3300Pa,則不能選擇水環(huán)式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下,排出氣體、液體,固體的能力),一般單位:m3/h,L/S,m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當(dāng)然,真空泵的選型是一個綜合過程,涉及到相關(guān)經(jīng)驗等因素。折疊液環(huán)泵屬于粗真空泵的一種類型。
在真空泵中,相對壓強即所測內(nèi)部壓強比“大氣壓”低多少壓強,表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽,因此,內(nèi)部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當(dāng)用相對壓強或者表壓強表示的時候,數(shù)值前面必須帶負號,表示容器內(nèi)部壓強比外部壓強低。極限壓強,壓強即所測內(nèi)部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態(tài)的真空壓強值。由于工藝所限,我們無論如何都不能將內(nèi)部壓強抽到真空0Pa這個數(shù)值,因此,真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時,數(shù)值前面無負號。臥式真空泵的進氣口在上,排氣口在下。DC線性驅(qū)動活塞真空泵廠家供應(yīng)
一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進行檢修。醫(yī)用真空泵供貨價格
羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,在0°位置時,下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時,該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強較高,引起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時,下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時,上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時,上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體。醫(yī)用真空泵供貨價格