VP0435A真空泵供貨費(fèi)用

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的。VP0435A真空泵供貨費(fèi)用

水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡?。水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，真空泵的入口真空度達(dá)到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環(huán)真空泵便會(huì)產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象，氣蝕的存在對(duì)泵的壽命損害比較大，主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生，可以降低工作液的溫度，或者降低真空泵的使用真空度，極限壓力為3300~5000Pa之間。水環(huán)式真空泵價(jià)位真空泵整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng)，通過機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。正因?yàn)槌闅饪谔幓蛘叱榕艢饪诳梢耘c外界大氣形成壓力差，同時(shí)不像大型真空泵需要潤(rùn)滑油和真空泵油，不會(huì)污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護(hù)，可以連續(xù)24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)，

真空泵的維護(hù)檢查油的位置。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油。換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等真空泵要停止使用時(shí)，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)。水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規(guī)羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規(guī)羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa，所以常規(guī)羅茨泵必須帶前級(jí)泵預(yù)抽，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因?yàn)樵黾恿藷崃科胶庋b置可以直接排大氣，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞。VP0435A真空泵供貨費(fèi)用

真空泵泵腔內(nèi)無需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染。VP0435A真空泵供貨費(fèi)用

擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變，但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí)，抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí)，氣體從前級(jí)通過射流的反擴(kuò)散會(huì)增加，同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時(shí)，大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級(jí)的反流，抽速降低；油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān)，當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí)，泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響，氣體的反擴(kuò)散對(duì)泵的極限壓強(qiáng)影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級(jí)噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級(jí)噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。VP0435A真空泵供貨費(fèi)用

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