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盡管半導(dǎo)體測(cè)試探針國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來(lái)看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體測(cè)試探針還只能用于要求不高的測(cè)試需求,比如可靠性測(cè)試國(guó)產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測(cè)試和性能測(cè)試還有待突破。彈簧測(cè)試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗(yàn)、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導(dǎo)體測(cè)試探針市場(chǎng)一直被國(guó)外廠商占據(jù),同時(shí)也實(shí)施了技術(shù)封鎖,國(guó)內(nèi)并沒(méi)有相應(yīng)的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計(jì)人員都缺乏。國(guó)內(nèi)大部分測(cè)試探針廠商基本不具備全自動(dòng)化生產(chǎn)制造能力。上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍(lán)天。河南探針臺(tái)服務(wù)
x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),x-y向工作臺(tái)都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障,而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi),定子是基礎(chǔ)平臺(tái),動(dòng)子和定子間有一層氣墊,動(dòng)子浮于氣墊上,而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng)。上海半自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上。
錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產(chǎn)品。鎢作為一種硬度強(qiáng)、耐高溫的金屬材料,常被用于燈絲、電極、熱電偶或者探測(cè)針等等,但鎢本身存在易脆和可塑性低的問(wèn)題,這減小了其使用過(guò)程中的壽命。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性,傳統(tǒng)的方法通過(guò)在鎢內(nèi)添加稀有金屬形成鎢基合金增加其性能。在鎢內(nèi)添加錸,可以發(fā)生“錸塑化效應(yīng)”,增加鎢的可塑性。錸鎢合金具有高熔點(diǎn)、厲害度、高硬度、高塑性、高再結(jié)晶溫度、高電阻率,低蒸氣壓、低電子逸出功和低塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等一系列優(yōu)良性能。
半自動(dòng)型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。電動(dòng)型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼;可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。探針臺(tái)存放在氮?dú)夤裰校乐固结樀募涌煅趸?/p>
手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到一些問(wèn)題,下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi)。河南探針臺(tái)服務(wù)
系統(tǒng)在測(cè)試每個(gè)芯片的時(shí)候?qū)π酒暮脡呐c否進(jìn)行判斷,發(fā)出合格與不合格的信號(hào)。河南探針臺(tái)服務(wù)
在設(shè)備方面,生產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試探針的相關(guān)設(shè)備價(jià)格較高,國(guó)內(nèi)廠商沒(méi)有足夠的資金實(shí)力,采購(gòu)日本廠商的設(shè)備。另一方面,對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備而言,產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)均會(huì)采購(gòu)定制化的設(shè)備,客戶提出自身需求和配置,上游設(shè)備廠商通過(guò)與大型客戶合作開(kāi)發(fā),生產(chǎn)出經(jīng)過(guò)優(yōu)化的適合該客戶的設(shè)備。因此,即使國(guó)產(chǎn)探針廠商想采購(gòu)日本設(shè)備廠商的專業(yè)設(shè)備,也只能得到標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品。在原材料方面,國(guó)產(chǎn)材質(zhì)、加工的刀具等也不能達(dá)到生產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試探針的要求,同時(shí)日本廠商在半導(dǎo)體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢(shì),其提供給客戶的原材料也是分等級(jí)的,包括A級(jí)、B級(jí)、S級(jí),需要依客戶的規(guī)模和情況而定。河南探針臺(tái)服務(wù)