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隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測(cè)試裝備,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測(cè)企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛。自動(dòng)化探針臺(tái)搭配測(cè)試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測(cè)試,根據(jù)測(cè)試結(jié)果評(píng)定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導(dǎo)下一道工序。某些針尖位置低的扎傷AL層,對(duì)后續(xù)封裝壓焊有影響。青海自動(dòng)探針臺(tái)一般多少錢
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時(shí)間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時(shí)用力過猛;4.砂得時(shí)間過長;針尖如磨平,使針尖偏離壓點(diǎn),測(cè)試無法通過,針尖接觸面大,而接觸電阻大影響參數(shù)測(cè)試,所以平時(shí)如果在測(cè)片子之前,先拿上卡到顯微鏡下檢查針尖有否磨平,如已磨平應(yīng)及時(shí)換針,操作工在砂針尖時(shí)注意技能,應(yīng)輕輕打磨針尖,而不致于磨平針尖。山東射頻探針臺(tái)供應(yīng)定子是基礎(chǔ)平臺(tái),動(dòng)子和定子間有一層氣墊,動(dòng)子浮于氣墊上。
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2020年及2021年,全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)?;?qū)⒎謩e達(dá)到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,多個(gè)晶圓廠及實(shí)驗(yàn)室的建立,國內(nèi)探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長到15.69億元。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測(cè)試裝備,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測(cè)企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛。
對(duì)于當(dāng)今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級(jí)封裝(SCSP)或系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)–開發(fā)用于識(shí)別已知測(cè)試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對(duì)提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測(cè)試電路。一些公司從這些劃線測(cè)試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測(cè)試圖案都通過時(shí),它的位置會(huì)被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時(shí),芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC);如果它沒有通過某些測(cè)試模式,則可以使用這些備用資源。探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損,使用壽命長。
射頻測(cè)試探針必須具有與測(cè)試點(diǎn)相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計(jì)中各個(gè)預(yù)先計(jì)劃好的測(cè)試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜(尾纖)。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測(cè)試點(diǎn)可以選在對(duì)整體設(shè)計(jì)性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計(jì)上,從而減少侵入性探測(cè)。高性能測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴,且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,它們?cè)诖笕萘康臏y(cè)試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,更適合于原型設(shè)計(jì)和研發(fā)。探針尖磨損和污染也會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。湖南芯片測(cè)試探針臺(tái)
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手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為150mmor200mm,移動(dòng)精度為1μm載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。青海自動(dòng)探針臺(tái)一般多少錢