半導(dǎo)體VOCs處理工藝

沸石轉(zhuǎn)輪吸附+(蓄熱式)催化燃燒技術(shù)：適用范圍：適用于大風(fēng)量低濃度廢氣，去除效率較高，處理含高沸點(diǎn)或易聚合化合物時(shí)，轉(zhuǎn)輪需定期處理和維護(hù)。不適用范圍：不適用于低沸點(diǎn)不易吸附、高沸點(diǎn)不易脫附和酸堿性有機(jī)廢氣的凈化。理論效率：90%以上。處理原理：含VOCs廢氣進(jìn)入轉(zhuǎn)輪，沸石吸附濃縮其中VOCs成分，潔凈氣體達(dá)標(biāo)排放。已吸附VOCs的沸石模塊經(jīng)高溫脫附，脫附后的高濃度有機(jī)廢氣經(jīng)換熱器預(yù)熱進(jìn)入催化氧化爐進(jìn)行分解；在催化氧化爐內(nèi)被加熱到300～400℃的有機(jī)廢氣（VOCs）在貴金屬催化劑的作用下發(fā)生無(wú)焰燃燒，VOCs被氧化分解成CO?和H?O經(jīng)煙囪排放到空氣中，脫附后的沸石模塊恢復(fù)吸附能力并轉(zhuǎn)至吸附區(qū)。VOCs廢氣處理系統(tǒng)通常包括預(yù)處理、處理和后處理階段。半導(dǎo)體VOCs處理工藝

幾種VOCs廢氣治理方法:1. 吸收凈化法：吸收法通過(guò)擴(kuò)散將廢氣中的氣態(tài)污染物轉(zhuǎn)化為液相，然后形成溶解的水合物或某種新的化合物。我們使用這種方法的常見工藝包括噴淋塔凈化和旋流塔凈化。2.吸附凈化法：有機(jī)廢氣中的吸附法主要適用于低濃度、高通量有機(jī)廢氣?，F(xiàn)階段，這種有機(jī)廢氣的處理方法已經(jīng)相當(dāng)成熟，能量消耗比較小，但是處理效率卻非常高，而且可以徹底凈化有害有機(jī)廢氣。3.冷凝凈化法：冷凝法利用氣體沸點(diǎn)的差異，通過(guò)冷凝將氣體污染物從有機(jī)廢氣中分離出來(lái)。我們常用的方法是冷凝回收法。精細(xì)化工VOCs排放標(biāo)準(zhǔn)蓄熱式催化氧化技術(shù)可降低能耗，適用于間歇性排放的VOCs廢氣處理。

凈化原理：頭一階段 污染物質(zhì)的溶解過(guò)程: 污染物與水或固相表面的水膜接觸，污染物溶于水，成為液相中的分子或離子，即污染物質(zhì)由氣相轉(zhuǎn)移到液相，相平衡過(guò)程遵循亨利定律；第二階段 污染物質(zhì)的生物吸附吸收過(guò)程: 水溶液中的污染成分被微生物吸附、吸收，污染成分從水中轉(zhuǎn)移至微生物體內(nèi)。作為吸收劑的水被再生復(fù)原，繼而再用以溶解新的臭氣成分。被吸附的疏水性的有機(jī)物通過(guò)微生物胞外酶對(duì)不溶性和膠體狀有機(jī)物的溶解作用后，才能相繼地被微生物攝入體內(nèi)。如淀粉、蛋白質(zhì)等大分子有機(jī)物在微生物細(xì)胞外酶（水解酶）的作用下，被水解為小分子后再進(jìn)入細(xì)胞體內(nèi)；第三階段 污染物質(zhì)的生物降解過(guò)程: 進(jìn)入微生物細(xì)胞的污染成分作為微生物生活活動(dòng)的能源或養(yǎng)分被分解和利用，從而使污染物得以去除。具體轉(zhuǎn)化過(guò)程如下：應(yīng)用范圍: 中低濃度的VOCs, 適用于惡臭類，醇類，酯類等VOCs; 不適合具有生物毒性的VOCs，或成分特別復(fù)雜的VOCs;優(yōu)點(diǎn): 運(yùn)行費(fèi)用低，處理效果好，無(wú)二次污染;缺點(diǎn): 降解速度慢，占地面積廣，運(yùn)行操作條件不易控制。

生物法，生物法是微生物將有機(jī)成分作為碳源和能源，并將其分解為CO2和H2O過(guò)程的一種方法。優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備簡(jiǎn)單、投資少、運(yùn)行費(fèi)用低、無(wú)二次污染，處理VOCs廢氣效果理想。缺點(diǎn)：反應(yīng)裝置占地面積大、反應(yīng)時(shí)間較長(zhǎng)。UV紫外法，UV紫外法是利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，改變廢氣的分子結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無(wú)機(jī)高分子廢氣化合物分子鏈在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物的方法。優(yōu)點(diǎn)：占地面積小，運(yùn)行成本較低，設(shè)備投資較低。缺點(diǎn)：去除效率低，可處理的氣體種類較少。處理階段是主要的VOCs去除過(guò)程，采用適當(dāng)?shù)募夹g(shù)進(jìn)行處理。

生物過(guò)濾工藝原理及流程，生物過(guò)濾工藝系統(tǒng)通過(guò)氣體輸送裝置，噴淋裝置和過(guò)濾塔主體三個(gè)部分組合而成。揮發(fā)性有機(jī)化合物通過(guò)加壓預(yù)濕，在過(guò)濾塔內(nèi)與填料層表面的生物膜相接觸，揮發(fā)性有機(jī)物從氣相轉(zhuǎn)移到生物膜，進(jìn)而被微生物分解利用，并且被轉(zhuǎn)化成二氧化碳，水和其他的分子物質(zhì)，然后將凈化后的氣體排出。噴淋裝置定期向填料層噴灑噴淋液, 以調(diào)節(jié)填料層的水分含量、pH 值和營(yíng)養(yǎng)鹽含量。等離子體工藝優(yōu)缺點(diǎn)，優(yōu)點(diǎn)：處理效率高，運(yùn)行費(fèi)用低，特別對(duì)芳烴的去除效率高。缺點(diǎn)：對(duì)高濃度 VOCs 處理效率一般，目前主要停留在實(shí)驗(yàn)室階段，缺乏實(shí)際應(yīng)用。VOCs是大氣污染的重要來(lái)源，有效處理VOCs廢氣對(duì)我國(guó)空氣質(zhì)量改善具有重要意義。精細(xì)化工VOCs排放標(biāo)準(zhǔn)

后處理階段用于處理處理后的廢氣，以確保排放符合環(huán)境法規(guī)。半導(dǎo)體VOCs處理工藝

催化氧化法，催化氧化法使用的催化劑有兩種，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。貴金屬催化劑主要包括Pt、Pd等，它們以細(xì)顆粒形式依附在催化劑載體上，而催化劑載體通常是金屬或陶瓷蜂窩，或散裝填料;非貴金屬催化劑主要是由過(guò)渡元素金屬氧化物，比如MnO2，與粘合劑經(jīng)過(guò)一定比例混合，然后制成的催化劑。為有效防止催化劑中毒后喪失催化活性，在處理前必須徹底清理可使催化劑中毒的物質(zhì)，比如Pb、Zn和Hg等。如果有機(jī)廢氣中的催化劑毒物、遮蓋質(zhì)無(wú)法清理，則不可使用這種催化氧化法處 理VOC。半導(dǎo)體VOCs處理工藝