浙江工業(yè)級灰度光刻微納加工系統(tǒng)

  雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級衍射光學(xué)元件（DOE），并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級。由于需要多次光刻，刻蝕和對準(zhǔn)工藝，衍射光學(xué)元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時長且成本高。而利用增材制造即可簡單一步實現(xiàn)多級衍射光學(xué)元件，可以直接作為原型使用，也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。 Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計多功能性配合打印材料的多方面選擇性，可以實現(xiàn)微機械元件的制作，例如用光敏聚合物，納米顆粒復(fù)合物，或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動微型機器人，并可以選擇添加金屬涂層。此外，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機電系統(tǒng)（MEMS）?；叶裙饪碳夹g(shù)自動化程度較高，可以減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率。浙江工業(yè)級灰度光刻微納加工系統(tǒng)

如何減少甚至避免因此帶來的柔軟樣品表面的形變，以實現(xiàn)對原始表面的精確成像一直是一個重要議題。Nanoscribe公司的系列產(chǎn)品是基于雙光子聚合原理的高精度微納3D打印系統(tǒng)，雙光子聚合技術(shù)是實現(xiàn)微納尺度3D打印特別有效的技術(shù)，其打印物體的特別小特征尺寸可達(dá)亞微米級，并可達(dá)到光學(xué)質(zhì)量表面的要求。Nanoscribe Photonic Professional GT2使用雙光子聚合(2PP)來產(chǎn)生幾乎任何3D形狀：晶格、木堆型結(jié)構(gòu)、自由設(shè)計的圖案、順滑的輪廓、銳利的邊緣、表面的和內(nèi)置倒扣以及橋接結(jié)構(gòu)。Photonic Professional GT2 結(jié)合了設(shè)計的靈活性和操控的簡潔性，以及非常普遍的材料-基板選擇。浙江2GL灰度光刻微納加工系統(tǒng)Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司為您詳細(xì)講解灰度光刻技術(shù)。

傳感器對可控技術(shù)的重要性，在眾多領(lǐng)域都是顯而易見的，無論是從簡單的家用電器，還是到可穿戴設(shè)備，甚至到航空應(yīng)用，只有控制良好的流程才有被優(yōu)化的可能。理想的傳感器應(yīng)該具有高敏感度，不易故障，并且易于集成到流程中等優(yōu)點。光纖端面的微型傳感器在這個方面具有巨大的潛力。這些傳感器空間占有率小，可以輕松多路復(fù)用，并且不需要額外的外部能源供應(yīng)。對于這些基于光纖的傳感器的加工，雙光子聚合技術(shù)已被證明是其完美的搭檔。事實上，任何設(shè)計模型都能在微觀尺寸上被實現(xiàn)。然而，大多數(shù)設(shè)計都是靜態(tài)的，打印出來的部件在被加工出來后不能進行進一步的活動。

   QuantumX新型超高速無掩模光刻技術(shù)的重要部分是Nanoscribe獨有專項的雙光子灰度光刻技術(shù)（2GL®）。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合，使其同時具備高速打印，完全設(shè)計自由度和超高精度的特點。從而滿足了高級復(fù)雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計迭代，打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗證原型，也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術(shù)要點在于：這項技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達(dá)到精細(xì)同步，這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小，并在不影響速度的情況下，使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結(jié)合，使其同時具備高速打印，完全設(shè)計自由度和超高精度的特點雙光子灰度光刻敬請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。

我們往往需要通過灰度光刻的方式來實現(xiàn)微透鏡陣列結(jié)構(gòu)，灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版（掩膜接觸式光刻）或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達(dá)到在某些區(qū)域完全曝透，而某些區(qū)域光刻膠部分曝光，從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)（如下圖4所示，八邊金字塔結(jié)構(gòu)）。微透鏡陣列也是類似，可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)。需要注意，灰度光刻方法獲得的微透鏡陣列的表面粗糙度相比于熱回流和噴墨法獲得的透鏡要大的多，約為Ra=100nm，前兩者可以會的Ra=50nm的球面?；叶裙饪碳夹g(shù)具有很高的靈活性，可以通過控制光的幅度和相位。黑龍江超高速灰度光刻三維光刻

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超高速灰度光刻技術(shù)的應(yīng)用不僅局限于傳統(tǒng)領(lǐng)域，還可以拓展到新興領(lǐng)域。例如，在新能源領(lǐng)域，它可以用于制造高效的太陽能電池板；在人工智能領(lǐng)域，它可以用于制造更快、更強大的計算芯片。這些應(yīng)用將進一步推動科技的發(fā)展，為人類創(chuàng)造更美好的未來。超高速灰度光刻技術(shù)的發(fā)展離不開科研人員的不懈努力和創(chuàng)新精神。他們通過不斷突破科技邊界，攻克了一個又一個難題，從而實現(xiàn)了這一技術(shù)的突破。他們的付出為我們帶來了更多的機遇和挑戰(zhàn)，也為科技進步做出了巨大貢獻。超高速灰度光刻技術(shù)的問世，標(biāo)志著科技進步的新里程碑。我們相信，在這項技術(shù)的推動下，未來將會有更多的創(chuàng)新和突破。讓我們共同期待超高速灰度光刻技術(shù)帶來的美好未來！浙江工業(yè)級灰度光刻微納加工系統(tǒng)