異高效質結電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫,是一種N型單晶雙面電池,具有工藝簡單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢。異質結太陽能電池使用晶體硅片進行載流子傳輸和吸收,并使用非晶/或微晶薄硅層進行鈍化和結的形成。頂部電極由透明導電氧化物(TCO)層和金屬網格組成。異質結硅太陽能電池已經吸引了很多人的注意,因為它們可以達到很高的轉換效率,可達26.3%,由隆基團隊對HJT極限效率進行更新為28.5%,同時使用低溫度加工,通常整個過程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓,同時保持高產量。零界高效異質結電池整線解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝。廣東HJT異質結設備供應商
異質結電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層,并且在表面進行制絨,以形成絨面結構達到陷光效果,減少反射損失;2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H,作為鈍化層,然后再沉積摻雜層;3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進行TCO薄膜沉積;4.柵線電極。通過絲網印刷進行柵線電極制作;5.烘烤(退火)。通過絲網印刷進行正面柵線電極制作,然后通過低溫燒結形成良好的接觸;6.光注入。7.電池測試及分選。河南釜川異質結吸雜設備光伏異質結技術的廣泛應用能夠推動光伏產業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展,促進科技進步和經濟增長。
光伏異質結是太陽能電池的主要組成部分,其應用前景非常廣闊。隨著全球對清潔能源的需求不斷增加,太陽能行業(yè)的發(fā)展前景也越來越廣闊。光伏異質結具有高效、環(huán)保、可再生等特點,可以廣泛應用于家庭、工業(yè)、農業(yè)等領域。在家庭領域,光伏異質結可以用于太陽能發(fā)電系統(tǒng),為家庭提供清潔、穩(wěn)定的電力供應。在工業(yè)領域,光伏異質結可以用于太陽能電站,為企業(yè)提供大規(guī)模的清潔能源。在農業(yè)領域,光伏異質結可以用于太陽能灌溉系統(tǒng),為農民提供便捷、高效的灌溉服務。此外,光伏異質結還可以應用于交通、通信、航空等領域,為這些領域提供清潔、高效的能源供應。因此,光伏異質結在太陽能行業(yè)的應用前景非常廣闊,具有非常大的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
異質結電池生產流程與常規(guī)晶硅工藝的區(qū)別。常規(guī)晶硅工藝:1、清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層,并且在表面進行制絨,以形成絨面結構達到陷光效果,減少反射損失;2、擴散制結。通過熱擴散等方法在硅片上形成不同導電類型的擴散層,以形成p-n結;3、刻蝕去邊。去除擴散后硅片周邊的邊緣結;4、去磷硅玻璃。擴散過程中,在硅片表面會形成一層含磷的氧化硅,稱為磷硅玻璃(PSG),需要用氫氟酸腐蝕去掉;5、鍍減反射膜。為進行一步提高對光的吸收,在硅片表面覆蓋一層減反射膜。常用PECVD進行SiNx薄膜沉積,同時起到鈍化的作用;6、柵線電極。在電池正面用絲網印刷進行柵線電極制作,在背面印刷背場(BSF)和背電極,并且進行干燥和燒結;7、電池測試及分選。光伏異質結的制造過程中,非晶硅層可以作為掩膜,提高電池的抗反射性能,從而提高光電轉換效率。
質結電池TCO薄膜的方法主要有兩種:RPD(特指空心陰極離子鍍)和PVD(特指磁控濺射鍍膜);l該工藝主要是在電池正背面上沉積一層透明導電膜層,通過該層薄膜實現(xiàn)導電、減反射、保護非晶硅薄膜的作用,同時可以有效地增加載流子的收集;l目前常用于HJT電池TCO薄膜為In2O3系列,如ITO(錫摻雜In2O3,@PVD濺射法)、IWO(鎢摻雜In2O3,@RPD方法沉積)等。HJT電池具備光電轉化效率提升潛力高、更大的降成本空間。零界高效異質結電池整線解決方案,實現(xiàn)設備國產化,高效高產PVD DD CVD。光伏異質結電池的使用壽命長,具有長期穩(wěn)定的能源供應能力。上海高效硅異質結CVD
光伏異質結電池PECVD是制備PIN層的主流設備,其結構和工藝機理復雜,影響因素眾多,需要專業(yè)公司制備。廣東HJT異質結設備供應商
異質結HJT電池生產設備,制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層;2利用KOH腐蝕液對n型硅片進行各項異性腐蝕,將Si(100)晶面腐蝕為Si(111)晶面的四方椎體結構(“金字塔結構”),即在硅片表面形成絨面,可將硅片表面反射率降低至12.5%以下,從而產生更多的光生載流子;3形成潔凈硅片表面,由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質結界面的一部分,避免不潔凈引進的缺陷和雜質而帶來的結界面處載流子的復合。堿溶液濃度較低時,單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯,速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF);因此改變堿溶液的濃度及溫度,可以有效地改變AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結構的減反射絨面;在制絨工序,絨面大小為主要指標,一般可通過添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時間等來進行調節(jié)控制。 廣東HJT異質結設備供應商