山東釜川異質(zhì)結(jié)PECVD

異質(zhì)結(jié)電池為對(duì)稱的雙面結(jié)構(gòu)，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場(chǎng)作用。HJT電池轉(zhuǎn)換效率高，拓展?jié)摿Υ螅に嚭?jiǎn)單并且降本路線清晰，契合了光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律，是有潛力的下一代電池技術(shù)。HJT電池為對(duì)稱的雙面結(jié)構(gòu)，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場(chǎng)作用。光伏異質(zhì)結(jié)可以應(yīng)用在各種表面上，如玻璃、塑料等，具有廣泛的應(yīng)用前景。山東釜川異質(zhì)結(jié)PECVD

異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達(dá)26.3%，相關(guān)團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%，同時(shí)使用低溫度加工，通常整個(gè)過(guò)程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時(shí)保持高產(chǎn)量。異質(zhì)結(jié)電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間、更高的雙面率、可有效降低熱損失、更低的光致衰減、制備工藝簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，為光伏領(lǐng)域帶來(lái)了新的希望。無(wú)錫零界高效異質(zhì)結(jié)濕法設(shè)備光伏異質(zhì)結(jié)可以與其他太陽(yáng)能技術(shù)結(jié)合使用，如太陽(yáng)能追蹤器和太陽(yáng)能存儲(chǔ)系統(tǒng)，提高能源利用效率。

異質(zhì)結(jié)電池轉(zhuǎn)換效率高，拓展?jié)摿Υ?，工藝?jiǎn)單并且降本路線清晰，契合了光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律，是有潛力的下一代電池技術(shù)。釜川（無(wú)錫）智能科技有限公司，以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)，憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案：釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實(shí)現(xiàn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化,該解決方案疊加了雙面微晶、無(wú)銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能，并降低了生產(chǎn)成本。

異質(zhì)結(jié)電池的清洗制絨：在沉積a-Si:H之前的晶圓清洗有兩個(gè)作用。一個(gè)是去除晶圓表面的顆粒和金屬污染。另一個(gè)是用氫氣使表面上的懸空鍵部分鈍化。清潔是降低a-Si:H/c-Si界面狀態(tài)密度的關(guān)鍵一步。不同清潔程序的效果可以通過(guò)測(cè)量清潔過(guò)的晶圓的載流子壽命來(lái)研究，這些晶圓已經(jīng)用相同的a-Si:H薄膜進(jìn)行了鈍化。在高質(zhì)量硅片的塊狀區(qū)域的載流子重組可以被認(rèn)為是可以忽略的，因此對(duì)載流子壽命的測(cè)量表明了表面重組，因此也表明了清潔過(guò)程的質(zhì)量。下圖顯示了在代爾夫特理工大學(xué)進(jìn)行的三種不同清洗方法的比較。在晶圓兩面沉積本征a-Si:H層之前，以三種不同的方式處理（100）取向的FZ c-Si晶圓。晶圓使用標(biāo)準(zhǔn)的RCA清洗，第二個(gè)晶圓使用涉及濃硝酸的標(biāo)準(zhǔn)DIMES清洗程序進(jìn)行清洗。所有三個(gè)晶圓都被浸泡在HF中，以去除原生氧化層，這是對(duì)第三個(gè)晶圓進(jìn)行的處理。在預(yù)處理之后，在晶圓的兩面都沉積了120納米厚的本征a-Si:H層，每次運(yùn)行都使用相同的沉積條件。使用Sinton壽命測(cè)試器測(cè)量載流子壽命，以評(píng)估鈍化質(zhì)量。使用標(biāo)準(zhǔn)RCA工藝清潔的晶圓載流子壽命高，因此鈍化效果也好。只接受HF浸漬處理的晶圓觀察到低的載流子壽命。光伏異質(zhì)結(jié)的廣泛應(yīng)用將有助于減少溫室氣體排放，降低對(duì)化石能源的依賴，實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。

光伏異質(zhì)結(jié)的壽命和穩(wěn)定性是影響其性能和應(yīng)用的重要因素。光伏異質(zhì)結(jié)的壽命通常由材料的缺陷密度和表面反射率等因素決定。在制備過(guò)程中，需要采用優(yōu)化的工藝和材料，以減少缺陷密度和提高表面反射率，從而延長(zhǎng)光伏異質(zhì)結(jié)的壽命。此外，光伏異質(zhì)結(jié)的穩(wěn)定性也受到環(huán)境因素的影響，如溫度、濕度、光照強(qiáng)度等。為了提高光伏異質(zhì)結(jié)的穩(wěn)定性，需要采用合適的封裝材料和技術(shù)，以保護(hù)光伏異質(zhì)結(jié)不受外界環(huán)境的影響。總的來(lái)說(shuō)，光伏異質(zhì)結(jié)的壽命和穩(wěn)定性是可以通過(guò)優(yōu)化材料和工藝以及采用合適的封裝技術(shù)來(lái)提高的。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案疊加了雙面微晶、無(wú)銀或低銀金屬化工藝，明顯提升了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。北京單晶硅異質(zhì)結(jié)

光伏異質(zhì)結(jié)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由非晶硅層和晶體硅層組成，具有制造工藝簡(jiǎn)單、快速和低成本的優(yōu)勢(shì)。山東釜川異質(zhì)結(jié)PECVD

異質(zhì)結(jié)HJT電池生產(chǎn)設(shè)備，制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層；2利用KOH腐蝕液對(duì)n型硅片進(jìn)行各項(xiàng)異性腐蝕，將Si（100）晶面腐蝕為Si（111）晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)（“金字塔結(jié)構(gòu)”），即在硅片表面形成絨面，可將硅片表面反射率降低至12.5%以下，從而產(chǎn)生更多的光生載流子；3形成潔凈硅片表面，由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分，避免不潔凈引進(jìn)的缺陷和雜質(zhì)而帶來(lái)的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。堿溶液濃度較低時(shí)，單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯，速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF)；因此改變堿溶液的濃度及溫度，可以有效地改變AF，使得在不同方向上的速度不同，在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結(jié)構(gòu)的減反射絨面；在制絨工序，絨面大小為主要指標(biāo)，一般可通過(guò)添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時(shí)間等來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)控制。 山東釜川異質(zhì)結(jié)PECVD