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高效HJT電池整線裝備,物理的氣相沉積,PVD優(yōu)點(diǎn)沉積速度快、基材溫升低;所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好;濺射工藝可重復(fù)性好,精確控制厚度;膜層粒子的散射能力強(qiáng),繞鍍性好;不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合,同時(shí)濺射于基材上;缺點(diǎn):常規(guī)平面磁控濺射技術(shù)靶材利用率不高,一般低于40%;在輝光放電中進(jìn)行,金屬離化率較低。反應(yīng)等離子體沉,RPD優(yōu)點(diǎn):對(duì)襯底的轟擊損傷?。诲儗痈街阅芎?,膜層不易脫落;源材料利用率高,沉積速率高;易于化合物膜層的形成,增加活性;鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點(diǎn):薄膜中的缺陷密度較高,薄膜與基片的過(guò)渡區(qū)較寬,應(yīng)用中受到限制(特別是電子器件和IC);薄膜中含有氣體量較高。光伏異質(zhì)結(jié)電池PVD設(shè)備連續(xù)完成正背面TCO鍍膜,產(chǎn)能高。廣州HJT異質(zhì)結(jié)PECVD
異質(zhì)結(jié)電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間、更高的雙面率、可有效降低熱損失、更低的光致衰減、制備工藝簡(jiǎn)單等特點(diǎn),為光伏領(lǐng)域帶來(lái)了新的希望。釜川(無(wú)錫)智能科技有限公司,以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。鄭州高效硅異質(zhì)結(jié)銅電鍍產(chǎn)線異質(zhì)結(jié)電池具有環(huán)保、可持續(xù)的特點(diǎn),能夠?yàn)槲磥?lái)的可持續(xù)發(fā)展做出重要貢獻(xiàn)。
高效異質(zhì)結(jié)電池整線設(shè)備,HWCVD 1、熱絲化學(xué)氣相沉積(HotWireCVD,HWCVD)是利用高溫?zé)峤z催化作用使SiH4分解來(lái)制備非晶硅薄膜,對(duì)襯底無(wú)損傷,且成膜質(zhì)量非常好,但鍍膜均勻性較差,且熱絲作為耗材,成本較高;2、HWCVD一般分為三個(gè)階段,一是反應(yīng)氣體在熱絲處的分解反應(yīng),二是基元向襯底運(yùn)輸過(guò)程中的氣相反應(yīng),第三是生長(zhǎng)薄膜的表面反應(yīng)。PECVD鍍膜均勻性較高,工藝窗口寬,對(duì)襯底損傷較大。HWCVD是利用高溫?zé)峤z催化作用使SiH4分解來(lái)成膜,對(duì)襯底無(wú)損傷,且成膜質(zhì)量好,但鍍膜均勻性較差且成本較高。
釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實(shí)現(xiàn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化,該解決方案疊加了雙面微晶、無(wú)銀或低銀金屬化工藝,提升了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能,并極大降低了生產(chǎn)成本。釜川以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面的有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。異質(zhì)結(jié)電池PECVD電源以RF和VHF為主。
光伏異質(zhì)結(jié)的效率提高可以從以下幾個(gè)方面入手:1.提高光吸收率:通過(guò)優(yōu)化材料的能帶結(jié)構(gòu)和厚度,增加光吸收的有效路徑,提高光吸收率,從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。2.提高載流子的收集效率:通過(guò)優(yōu)化電極結(jié)構(gòu)和材料,減小電極與半導(dǎo)體之間的接觸電阻,提高載流子的收集效率,從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。3.降低復(fù)合損失:通過(guò)控制材料的缺陷密度和表面狀態(tài),減少載流子的復(fù)合損失,從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。4.提高光電轉(zhuǎn)換效率:通過(guò)優(yōu)化材料的能帶結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu),提高光電轉(zhuǎn)換效率,從而提高光伏異質(zhì)結(jié)的效率。5.提高光伏電池的穩(wěn)定性:通過(guò)優(yōu)化材料的穩(wěn)定性和耐久性,提高光伏電池的使用壽命和穩(wěn)定性,從而提高光伏異質(zhì)結(jié)的效率。異質(zhì)結(jié)電池主工藝之一:PVD設(shè)備。鄭州高效硅異質(zhì)結(jié)銅電鍍產(chǎn)線
光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)的廣泛應(yīng)用能夠推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展,促進(jìn)科技進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)。廣州HJT異質(zhì)結(jié)PECVD
質(zhì)結(jié)電池TCO薄膜的方法主要有兩種:RPD(特指空心陰極離子鍍)和PVD(特指磁控濺射鍍膜);l該工藝主要是在電池正背面上沉積一層透明導(dǎo)電膜層,通過(guò)該層薄膜實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電、減反射、保護(hù)非晶硅薄膜的作用,同時(shí)可以有效地增加載流子的收集;l目前常用于HJT電池TCO薄膜為In2O3系列,如ITO(錫摻雜In2O3,@PVD濺射法)、IWO(鎢摻雜In2O3,@RPD方法沉積)等。HJT電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案,實(shí)現(xiàn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化,高效高產(chǎn)PVD DD CVD。廣州HJT異質(zhì)結(jié)PECVD