浙江雙面微晶異質(zhì)結(jié)PVD

異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)設(shè)備，本征非晶硅薄膜沉積（i-a-Si:H）i-a-Si:H/c-Si界面處存在復(fù)合活性高的異質(zhì)界面，是由于界面處非晶硅薄膜中的缺陷和界面上的懸掛鍵會(huì)成為復(fù)合中心，因此需要進(jìn)行化學(xué)鈍化；化學(xué)鈍化主要由氫鈍化非晶硅薄膜鈍化層來(lái)完成，將非晶硅薄膜中的缺陷和界面懸掛鍵飽和來(lái)減少?gòu)?fù)合性缺陷態(tài)密度。摻雜非晶硅薄膜沉積場(chǎng)鈍化主要在電池背面沉積同型摻雜非晶硅薄層形成背電場(chǎng)，可以削弱界面的復(fù)合，達(dá)到減少載流子復(fù)合和獲取更多光生載流子的目的；摻雜非晶硅薄膜一般采用與沉積本征非晶硅膜層相似的等離子體系統(tǒng)來(lái)完成；p型摻雜常用的摻雜源為硼烷(B2H6)混氫,或者三甲基硼(TMB)；n型摻雜則用磷烷混氫（PH3)。優(yōu)越的表面鈍化能力是獲得較高電池效率的重要條件，利用非晶硅優(yōu)異的鈍化效果，可將硅片的少子壽命大幅度提升。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線設(shè)備導(dǎo)入銅制程電池等多項(xiàng)技術(shù)，降低非硅成本。浙江雙面微晶異質(zhì)結(jié)PVD

異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)設(shè)備，異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案，制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層；2利用KOH腐蝕液對(duì)n型硅片進(jìn)行各項(xiàng)異性腐蝕，將Si（100）晶面腐蝕為Si（111）晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)（“金字塔結(jié)構(gòu)”），即在硅片表面形成絨面，可將硅片表面反射率降低至12.5%以下，從而產(chǎn)生更多的光生載流子；3形成潔凈硅片表面，由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分，避免不潔凈引進(jìn)的缺陷和雜質(zhì)而帶來(lái)的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。河南鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)報(bào)價(jià)光伏異質(zhì)結(jié)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由非晶硅層和晶體硅層組成，具有制造工藝簡(jiǎn)單、快速和低成本的優(yōu)勢(shì)。

光伏異質(zhì)結(jié)是一種利用半導(dǎo)體材料的光電效應(yīng)將光能轉(zhuǎn)化為電能的技術(shù)。其原理是基于半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)和PN結(jié)的特性。半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)是指在晶體中，電子的能量分布情況。在半導(dǎo)體中，有一個(gè)價(jià)帶和一個(gè)導(dǎo)帶，兩者之間存在一個(gè)能隙。當(dāng)光子能量大于等于這個(gè)能隙時(shí)，光子就可以激發(fā)價(jià)帶中的電子躍遷到導(dǎo)帶中，形成自由電子和空穴。這個(gè)過(guò)程就是光電效應(yīng)。PN結(jié)是由P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體組成的結(jié)構(gòu)。在PN結(jié)中，P型半導(dǎo)體中的空穴和N型半導(dǎo)體中的自由電子會(huì)在結(jié)界面處發(fā)生復(fù)合，形成電子-空穴對(duì)。這個(gè)過(guò)程會(huì)產(chǎn)生電勢(shì)差，形成電場(chǎng)，使得電子和空穴在結(jié)界面處被分離，形成電勢(shì)差。光伏異質(zhì)結(jié)就是將半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)和PN結(jié)的特性結(jié)合起來(lái)，形成一個(gè)異質(zhì)結(jié)。在光伏異質(zhì)結(jié)中，P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體的結(jié)界面處形成了一個(gè)電勢(shì)差，使得光子激發(fā)的電子和空穴被分離，形成電勢(shì)差。這個(gè)電勢(shì)差可以被收集，形成電流，從而將光能轉(zhuǎn)化為電能?？傊夥愘|(zhì)結(jié)的原理是基于半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)和PN結(jié)的特性，利用光子激發(fā)電子和空穴的光電效應(yīng)，形成電勢(shì)差，將光能轉(zhuǎn)化為電能。

異高效質(zhì)結(jié)電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫，是一種N型單晶雙面電池，具有工藝簡(jiǎn)單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢(shì)。異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達(dá)26.3%，由隆基團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%，同時(shí)使用低溫度加工，通常整個(gè)過(guò)程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時(shí)保持高產(chǎn)量。光伏異質(zhì)結(jié)的廣泛應(yīng)用將有助于減少溫室氣體排放，降低對(duì)化石能源的依賴，實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。

高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案，TCO的作用：在形成a-Si:H/c-Si異質(zhì)結(jié)后，電池被用一個(gè)~80納米的透明導(dǎo)電氧化物接觸。~80納米薄的透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和前面的金屬網(wǎng)格。透明導(dǎo)電氧化物通常是摻有Sn的InO（ITO）或摻有Al的ZnO。通常，TCO也被用來(lái)在電池的背面形成一個(gè)介電鏡。因此，為了理解和優(yōu)化整個(gè)a-Si:H/c-Si太陽(yáng)能電池，還必須考慮TCO對(duì)電池光電性能的影響。由于其高摻雜度，TCO的電子行為就像一個(gè)電荷載流子遷移率相當(dāng)?shù)偷慕饘?，而TCO/a-Si:H結(jié)的電子行為通常被假定為類似于金屬-半導(dǎo)體結(jié)。  TCO的功函數(shù)對(duì)TCO/a-Si:H/c-Si結(jié)構(gòu)中的帶狀排列以及電荷載流子在異質(zhì)結(jié)上的傳輸起著重要作用。此外，TCO在大約10納米薄的a-Si:H上的沉積通常采用濺射工藝；在此，應(yīng)該考慮到在該濺射工藝中損壞脆弱的a-Si:H/c-Si界面的可能性，并且在工藝優(yōu)化中必須考慮到。光伏異質(zhì)結(jié)電池PECVD是制備PIN層的主流設(shè)備，其結(jié)構(gòu)和工藝機(jī)理復(fù)雜，需要專業(yè)公司制備。蘇州零界高效異質(zhì)結(jié)CVD

光伏異質(zhì)結(jié)電池的使用壽命長(zhǎng)，具有長(zhǎng)期穩(wěn)定的能源供應(yīng)能力。浙江雙面微晶異質(zhì)結(jié)PVD

異質(zhì)結(jié)電池工藝 1.清洗制絨。通過(guò)腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進(jìn)行制絨，以形成絨面結(jié)構(gòu)達(dá)到陷光效果，減少反射損失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過(guò)CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H，作為鈍化層，然后再沉積摻雜層；3.正面/背面TCO沉積。通過(guò)PVD在鈍化層上面進(jìn)行TCO薄膜沉積；4.柵線電極。通過(guò)絲網(wǎng)印刷進(jìn)行柵線電極制作；5.烘烤(退火)。通過(guò)絲網(wǎng)印刷進(jìn)行正面柵線電極制作，然后通過(guò)低溫?zé)Y(jié)形成良好的接觸；6.光注入。7.電池測(cè)試及分選。浙江雙面微晶異質(zhì)結(jié)PVD