浙江鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)CVD

異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池的工藝要求與同質(zhì)結(jié)晶體硅太陽(yáng)能電池相比，有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：與同質(zhì)結(jié)形成相比，異質(zhì)結(jié)形成期間的熱預(yù)算減少。a-Si:H層和TCO前接觸的沉積溫度通常低于250℃。與傳統(tǒng)的晶體硅太陽(yáng)能電池相比，異質(zhì)結(jié)的形成和沉積接觸層所需的時(shí)間也更短。由于異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池的低加工溫度及其對(duì)稱結(jié)構(gòu)，晶圓彎曲被抑制。外延生長(zhǎng)：在晶體硅和a-Si:H鈍化層之間沒(méi)有尖銳的界面，而外延生長(zhǎng)的結(jié)果是混合相的界面區(qū)域，界面缺陷態(tài)的密度增加。在a-Si:H的沉積過(guò)程中，外延生長(zhǎng)導(dǎo)致異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的性能惡化，特別是影響了Voc。事實(shí)證明，在a-Si:H的沉積過(guò)程中，高沉積溫度（>140℃）會(huì)導(dǎo)致外延生長(zhǎng)。其他沉積條件，如功率和襯底表面的性質(zhì)，也對(duì)外延生長(zhǎng)有影響，通過(guò)使用a-SiO:H合金而不是a-Si:H，可以有效抑制外延生長(zhǎng)。HJT的清洗特點(diǎn):在制絨和清洗之后的圓滑處理導(dǎo)致了表面均勻性的改善，減少了微觀粗糙度，并提高了整個(gè)裝置的性能。此外，氫氣后處理被發(fā)現(xiàn)有利于提高a-Si:H薄膜的質(zhì)量和表面鈍化。CVD對(duì)比：HWCVD比PECVD有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)。例如，硅烷的熱解避免了表面的離子轟擊，而且產(chǎn)生的原子氫可以使表面鈍化。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備，可實(shí)現(xiàn)更低的度電成本及更好的長(zhǎng)期可靠性。浙江鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)CVD

異質(zhì)結(jié)電池技術(shù)路線，發(fā)電量高：低溫度意味著在組件高溫運(yùn)行環(huán)境中，HJT電池具有相對(duì)較高的發(fā)電性能，從而實(shí)現(xiàn)發(fā)電量增益、降低系統(tǒng)的度電成本；若考慮電池工作溫度超出環(huán)境溫度10-40℃,而全年平均環(huán)境溫度相比實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)工況低5-10℃，HJT電池每W發(fā)電量高出雙面PERC電池約0.6%-3.9%。優(yōu)勢(shì)五：雙面率高HJT正反面結(jié)構(gòu)對(duì)稱，而且TCO薄膜是透光的，天然就是雙面電池；HJT的雙面率能達(dá)到90%以上(能達(dá)到98%)，雙面PERC的雙面率約為75%+；據(jù)solarzoom測(cè)算，考慮10%-20%的背面輻照及電池片雙面率的差異，HJT電池單瓦發(fā)電量高出雙面PERC電池約2%-4%。優(yōu)勢(shì)六：弱光效應(yīng)HJT電池采用N型單晶硅片，而PERC電池采用P型單晶硅片在600W/m以下的輻照強(qiáng)度；N型相比P型的發(fā)電表現(xiàn)高出1%-2%左右，HJT電池因弱光效應(yīng)而在每W發(fā)電量上高出雙面PERC電池約0.5-1.0%左右。單晶硅異質(zhì)結(jié)材料光伏異質(zhì)結(jié)的制造過(guò)程中，非晶硅層可以作為掩膜，提高電池的抗反射性能，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。

光伏太陽(yáng)能異質(zhì)結(jié)電池整線裝備，產(chǎn)業(yè)機(jī)遇：方向清晰：HJT技術(shù)工藝流程短、功率衰減低、輸出功率穩(wěn)定、雙面發(fā)電增益高、未來(lái)主流技術(shù)方向；時(shí)間明確：HJT平均量產(chǎn)效率已超過(guò)PERC瓶頸（25%），行業(yè)對(duì)HJT電池投入持續(xù)加大，電池商業(yè)化已逐漸成熟；機(jī)遇可期：設(shè)備與耗材是HJT規(guī)?；年P(guān)鍵，降本增效是不變的主題，具備HJT整線整合能力的供應(yīng)商優(yōu)勢(shì)明顯。當(dāng)前HJT生產(chǎn)成本約：硅片占比約50%，銀漿占比約25%，靶材約6%左右；當(dāng)前HJT設(shè)備成本約：清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、絲網(wǎng)印刷，設(shè)備投資額占比分別約10%、50%、25%和15%。

高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備，物理的氣相沉積，PVD優(yōu)點(diǎn)沉積速度快、基材溫升低；所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；濺射工藝可重復(fù)性好，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強(qiáng)，繞鍍性好；不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合，同時(shí)濺射于基材上；缺點(diǎn)：常規(guī)平面磁控濺射技術(shù)靶材利用率不高，一般低于40％；在輝光放電中進(jìn)行，金屬離化率較低。反應(yīng)等離子體沉，RPD優(yōu)點(diǎn)：對(duì)襯底的轟擊損傷??；鍍層附著性能好，膜層不易脫落；源材料利用率高，沉積速率高；易于化合物膜層的形成，增加活性；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點(diǎn)：薄膜中的缺陷密度較高，薄膜與基片的過(guò)渡區(qū)較寬，應(yīng)用中受到限制（特別是電子器件和IC）；薄膜中含有氣體量較高。異質(zhì)結(jié)電池是光伏行業(yè)的新興技術(shù)，其轉(zhuǎn)換效率高，能夠顯著提升太陽(yáng)能電池的整體性能。

釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實(shí)現(xiàn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，該解決方案疊加了雙面微晶、無(wú)銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能，并極大降低了生產(chǎn)成本。釜川以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)，憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面的有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。光伏異質(zhì)結(jié)的制造過(guò)程中，可以通過(guò)調(diào)整薄膜厚度和材料組成來(lái)優(yōu)化性能和成本。江西國(guó)產(chǎn)異質(zhì)結(jié)技術(shù)

釜川高效異質(zhì)結(jié)電池濕法金屬化設(shè)備采用無(wú)銀或低銀工藝。浙江鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)CVD

異高效質(zhì)結(jié)電池HJT是HeterojunctionTechnology的縮寫，是一種N型單晶雙面電池，具有工藝簡(jiǎn)單、發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢(shì)。異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物（TCO）層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意，因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率，可達(dá)26.3%，由隆基團(tuán)隊(duì)對(duì)HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%，同時(shí)使用低溫度加工，通常整個(gè)過(guò)程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓，同時(shí)保持高產(chǎn)量。浙江鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)CVD