靶坯是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料,屬于濺射靶材的**部分,涉及高純金屬、晶粒取向調(diào)控。在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。背板主要起到固定濺射靶材的作用,涉及焊接工藝。 按材質(zhì)分類,靶材可分為常規(guī)金屬靶材,貴金屬靶材,稀土金屬靶材,非金屬靶材,合金濺射靶材,陶瓷濺射靶材等。按外形尺寸分,靶材可分為圓柱形、長方形、正方形板靶和管靶。靶材的制備工藝按金屬、非金屬類區(qū)別,制備過程中除嚴(yán)格控制成分、尺寸之外,對材料的純度、熱度處理條件及成型加工方法等亦需嚴(yán)格控制。靶材的制備方法主要有熔煉法與粉末冶金法。陶瓷靶材具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和高熔點特性。中國澳門功能性靶材咨詢報價
4.性能參數(shù)a.純度鎢靶材的純度通常達到99.95%或更高。純度是影響靶材性能的關(guān)鍵因素,它決定了材料的均勻性和應(yīng)用性能,尤其在半導(dǎo)體制造和高精度科學(xué)實驗中極為重要。b.晶體結(jié)構(gòu)鎢靶材的晶體結(jié)構(gòu)通常為體心立方(BCC)結(jié)構(gòu)。晶體尺寸可以通過制備過程中的溫度和壓力條件進行調(diào)控,以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。c.熱導(dǎo)率鎢的熱導(dǎo)率大約為173W/(m·K)。高熱導(dǎo)率使鎢靶材在高溫應(yīng)用中保持穩(wěn)定,有助于快速散熱,防止因過熱而導(dǎo)致的性能退化。d.電導(dǎo)率鎢的電導(dǎo)率約為18.3×10^6S/m。這一特性使得鎢靶材在電子束和X射線應(yīng)用中顯示出良好的性能,因為良好的電導(dǎo)率有助于減少熱損耗和提高能量轉(zhuǎn)換效率。e.磁性鎢本身是非鐵磁性的,但它在特定的條件下可以表現(xiàn)出微弱的磁性。這種特性在研究磁性材料和磁性器件的新應(yīng)用中具有潛在價值。f.熱膨脹系數(shù)鎢的熱膨脹系數(shù)在室溫下約為4.5×10^-6K^-1。這表明鎢在溫度變化時的尺寸變化相對較小,有利于在溫度變化大的環(huán)境中保持結(jié)構(gòu)和性能的穩(wěn)定。g.抗拉強度和硬度鎢的抗拉強度在1000到3000MPa之間,硬度可達到2000到4000HV。這種**度和硬度使得鎢靶材在物理沖擊和磨損的環(huán)境中表現(xiàn)出***的耐久性。貴州功能性靶材推薦廠家釹靶材能產(chǎn)生特定的光學(xué)和磁性特性。
但是靶材制作困難,這是因為氧化銦和氧化錫不容易燒結(jié)在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結(jié)添加劑,能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材,這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關(guān)系極大。日本的科學(xué)家采用Bizo作為添加劑,Bi2O3在820Cr熔化,在1500℃的燒結(jié)溫度超出部分已經(jīng)揮發(fā),這樣能夠在液相燒結(jié)條件下得到比較純的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是納米顆粒,這樣可以簡化前期的工序。采川這樣的靶材得到的ITO薄膜的屯阻率達到8.1×10n-cm,接近純的ITO薄膜的電阻率。
5.真空封裝:-未使用的ITO靶材應(yīng)真空封裝儲存,避免空氣中的濕氣和氧化作用影響靶材品質(zhì)。6.清潔工具:-應(yīng)準(zhǔn)備**的無塵布、高純度溶劑和其他清潔工具,用于靶材的清潔和維護。7.磨損監(jiān)測工具:-定期使用厚度計等測量工具來監(jiān)測靶材磨損情況,以評估靶材的剩余壽命。通過使用以上配套的設(shè)備和耗材,可以確保ITO靶材的性能被充分利用,并且在濺射過程中產(chǎn)生的薄膜具有高度的均勻性和一致性。這些配套工具也有助于提高生產(chǎn)效率,減少材料浪費。背板通過焊接工藝和靶坯連接,起到固定靶坯的作用。
靶材是用于物理或化學(xué)蒸發(fā)過程的源材料,在工業(yè)和科研領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用。不同種類的靶材具有不同的特性和適用范圍,如金屬靶材適用于電子和光學(xué)薄膜的制備,氧化物靶材在制造透明導(dǎo)電薄膜和光電器件中扮演重要角色,陶瓷靶材適用于制造耐磨薄膜和保護涂層,半導(dǎo)體靶材用于制造微電子器件。在選擇和使用靶材時,需要考慮物理和化學(xué)屬性、成本效益、與應(yīng)用領(lǐng)域的兼容性等多方面因素,以確保最終產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。深入理解不同靶材的特性,對于滿足特定應(yīng)用需求至關(guān)重要材料的純度、結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成直接影響最終產(chǎn)品的性能。北京功能性靶材多少錢
銅靶材在半導(dǎo)體制造中用于沉積導(dǎo)電層。中國澳門功能性靶材咨詢報價
用更通俗的比喻,想象你在用彩彈槍射擊一個涂有多種顏色油漆的墻壁,墻壁上的油漆顆粒被擊中后,會飛濺到對面的一張白紙上,**終在白紙上形成了一個彩色的圖案。在這個比喻中,涂有油漆的墻壁就像是靶材,白紙就是需要被鍍上薄膜的材料,而彩彈***射出的彩彈則類似于高能粒子。靶材的選擇對于**終的薄膜質(zhì)量有著決定性的影響,因為它直接決定了薄膜的成分、純度和性能。在制造過程中,科學(xué)家和工程師會根據(jù)所需的薄膜特性精心選擇靶材的材質(zhì),這可以是金屬、氧化物、硫化物或其他多種復(fù)合材料。中國澳門功能性靶材咨詢報價