真空蒸鍍設(shè)備價格

來源: 發(fā)布時間:2023-02-01

真空狀態(tài)是支持真空鍍膜機運作的環(huán)境,特別是需要高真空度的設(shè)備,通常我們需要達到高真空度,抽氣系統(tǒng)的作用是功不可沒的,但除了抽氣系統(tǒng)外,在真空鍍膜設(shè)備運行的過程中,還有一點就是,工件的除氣。有些工件它本身內(nèi)部存在著很多的氣體、水分等,這些物質(zhì)都會隨著設(shè)備加熱時被排放到真空室中,降低了真空度,更甚者,有些氣體帶有毒性成分,直接損害到真空室內(nèi)部機械結(jié)構(gòu),造成設(shè)備不能正常運作。另外,正在鍍膜過程中,由于工件內(nèi)氣體加熱膨脹,容易使已經(jīng)鍍上的膜層裂開,當然這個情況出現(xiàn)的機率視工件本身物理性質(zhì)有關(guān),像塑料等容易膨脹的,機率就比較高,像金屬等硬質(zhì)的,機率就比較低,但也不能忽視,因此工件的除氣是非常必要的。真空鍍膜機可以節(jié)省更多的生產(chǎn)成本。真空蒸鍍設(shè)備價格

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,然后形成薄膜。真空蒸鍍設(shè)備價格真空蒸鍍工藝一般包括基片表面清潔、鍍膜前的準備、蒸鍍、取件、鍍后處理、檢測、成品等步驟。

真空鍍膜機基本技術(shù)要求如下:1、真空鍍膜機中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管,分別測量各部位的真空度。當發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時,應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。3、如果設(shè)備使用的主泵為擴散泵時,應(yīng)在泵的進氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗,應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的情況以及其他關(guān)鍵部位。5、離子鍍沉積源的設(shè)計應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。6、合理布置加熱裝置,一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣,工件架的設(shè)計應(yīng)使工件膜層均勻。8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負偏壓和離子轟擊電源,離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置,維持穩(wěn)定。

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,真空鍍膜有很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。應(yīng)用較多的是蒸發(fā)和濺射兩種。蒸發(fā)鍍膜和磁探濺射鍍膜的特點如下:一、對于蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。1、厚度均勻性主要取決于:A.基片材料與靶材的晶格匹配程度;B.基片表面溫度;C.蒸發(fā)功率、速率;D.真空度;E.鍍膜時間、厚度大小。2、組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。真空鍍膜機的擴散泵連續(xù)使用6個月以上,需要進行保養(yǎng)。

真空鍍膜機的操作注意事項:1、真空鍍膜機操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋;2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合,電壓指示380±20V;3、檢查各螺釘處連接是否牢固,電控柜、主機的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好;所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上;4、檢查鍍膜機室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固,角部有無彎曲翹曲等變形情況;5、檢查水壓、氣壓是否正常;水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象;6、設(shè)備中途停水時,應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵,讓維持泵繼續(xù)運行;7、設(shè)備中途停氣時,應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵,讓維持泵繼續(xù)運行。真空鍍膜機中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。真空蒸鍍設(shè)備價格

真空鍍膜機中途停電時,應(yīng)立即關(guān)總電源,后關(guān)擴散泵、粗抽泵、維持泵。真空蒸鍍設(shè)備價格

一臺好的真空鍍膜機需要克服生產(chǎn)能力低、速度慢、功耗低的問題,以創(chuàng)造更高的生產(chǎn)效率,節(jié)省更多的生產(chǎn)成本,并逐步改進機械設(shè)備的配置。這也是機械設(shè)備本身的檢測系統(tǒng)、過載系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和安全系統(tǒng)中不可忽視的一個重要問題。真空鍍膜機屬于硬件設(shè)備,為了充分發(fā)揮其功能特點,還需要與之相結(jié)合的相應(yīng)軟件。這包括一套維修、管理措施,也包括專業(yè)素質(zhì)的人員配合使用。根據(jù)真空鍍膜機的實際情況,有必要根據(jù)實際情況制定相應(yīng)的設(shè)備管理體系,建立完善的設(shè)備管理體系。真空蒸鍍設(shè)備價格

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