真空鍍膜機一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，從而形成薄膜。真空鍍膜機在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上的技術(shù)為真空蒸鍍。具體而言，真空鍍膜機是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表面析出的過程。真空蒸鍍中的鍍層通常為鋁膜，但其它鍍層也可通過蒸發(fā)沉積形成。擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為機器能運作在良好狀態(tài)。西寧全自動蒸鍍機廠家
真空鍍膜機鍍膜前的清洗：紫外線輻照清洗，利用紫外輻照來分解表面上的碳氫化合物。例如，在空氣中照射15h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當(dāng)預(yù)清洗的表面放在一個產(chǎn)生臭氧的紫外線源中。要不了幾分鐘就可以形成清潔表面（工藝清潔）。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機理是：在紫外線照射下，污物分子受激并離解，而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用。形成較簡單易揮發(fā)分子。如H203、CO2和N2，其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加。湖北實驗室真空蒸鍍設(shè)備真空鍍膜機的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗，應(yīng)設(shè)有擋板裝置。
真空鍍膜機的維修方法介紹：長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清冼）；2、擴散泵很久未換油（應(yīng)清冼換油）；3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低（應(yīng)清冼換油）；4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）；5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）；6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）；7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）；8、高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）。
真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)又有什么技巧呢？1、當(dāng)粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半)，需更換新油。方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。2、擴散泵連續(xù)使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng)，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，要滿足真空對環(huán)境的要求。
真空鍍膜機的操作注意事項：1、真空鍍膜機操作員要穿著整潔，袖口扣緊（佩戴袖套），上衣下擺不能敞開，不得穿拖鞋、高跟鞋；2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合，電壓指示380±20V；3、檢查各螺釘處連接是否牢固，電控柜、主機的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好；所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上；4、檢查鍍膜機室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固，角部有無彎曲翹曲等變形情況；5、檢查水壓、氣壓是否正常；水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象；6、設(shè)備中途停水時，應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運行；7、設(shè)備中途停氣時，應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運行。真空鍍膜機的油要定期更換。蒸鍍機設(shè)備采購
真空鍍膜設(shè)備使用的源材料要符合純度要求。西寧全自動蒸鍍機廠家
真空鍍膜機擴散泵維修與保養(yǎng)：擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為機器能運作在良好狀態(tài)，平時對真空鍍膜機擴散泵的維護和保養(yǎng)非常重要。1、擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。2、擴散泵停止工作時，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。3、被抽氣體應(yīng)是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。4、擴散泵如暫時不用，保管期間應(yīng)該保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場地的室溫應(yīng)在10-40攝氏度之間。西寧全自動蒸鍍機廠家
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