蒸鍍機(jī)的操作步驟:1.將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。2.將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團(tuán)成球形放入鎢籃中。3.將蒸發(fā)頭裝在儀器蓋上,插好電線,打開儀器電源開關(guān)。將氮?dú)怃撈康拈_關(guān)旋開,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按鈕設(shè)置儀器參數(shù)。如果選擇“SinglePulse”模式,其余參數(shù)不需要設(shè)置,值設(shè)置除氣時間,在0~60秒內(nèi)調(diào)節(jié)。5.然后按“START”鍵儀器開始抽真空。6.等儀器進(jìn)入泵保持狀態(tài),真空度達(dá)到9×10-5mbar是,可進(jìn)行下一步操作。由于鋁比較容易氧化,蒸鋁時至少要在泵保持進(jìn)行30分鐘之后才能進(jìn)行下一步操作。7.按“START”鍵。8.按“△”鍵儀器開始除氣。主要除去要蒸發(fā)的金屬材料表面的一些污垢等。操作時要小心的向右旋下面的黑色按鈕,當(dāng)“Current”顯示為8是就要通知旋動,稍等片刻鎢籃就會發(fā)紅,開始除氣。除氣持續(xù)10秒左右然后就將旋鈕向左旋到底。9.然后按“▽”鍵儀器進(jìn)入蒸發(fā)狀態(tài)。10.蒸鍍完畢后,按“STOP”鍵,停止抽真空,然后打開蓋子取出樣品,關(guān)閉主機(jī)電源盒氣源。擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)的主要部件,為機(jī)器能運(yùn)作在良好狀態(tài)。云南蒸鍍機(jī)設(shè)備
真空鍍膜是必須保持在真空環(huán)境下進(jìn)行的才行。因此真空鍍膜機(jī)若有灰塵,將會影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。但是,需要鍍膜材料表面是沒辦法保證是完全無灰塵的,因此,為了盡量減小材料表面灰塵的前提下,真空鍍膜機(jī)鍍膜的時候必須要注意以下幾點(diǎn)才行。(1)真空鍍膜設(shè)備使用一段時間后,必須要對設(shè)備進(jìn)行清潔維護(hù);(2)規(guī)范操作人員及操作要求,包括穿戴專業(yè)的服裝、手套、腳套等;(3)嚴(yán)格處理襯底材料,做到清潔干凈,合乎工藝要求;(4)源材料符合必要的純度要求;(5)保證設(shè)施設(shè)備及操作環(huán)境清潔。如材料、樣品放置地環(huán)境要求,環(huán)境溫度濕度要求等;(6)降低真空鍍膜設(shè)備室內(nèi)空氣流動性低、盡量減小室外灰塵侵入。湖南實(shí)驗(yàn)室真空蒸鍍設(shè)備真空鍍膜機(jī)每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。
真空蒸鍍使用的加熱方式主要有:(1)電阻加熱:電阻加熱源是普遍使用的蒸發(fā)源,它結(jié)構(gòu)簡單、操作方便。典型的導(dǎo)電加熱體材料有鎢、鉭、鉬和碳等。導(dǎo)電加熱體的電阻加熱通常采用低電壓(<10V)、大電流(幾百安培)加熱方式??筛鶕?jù)蒸發(fā)材料的性質(zhì)以及蒸發(fā)源材料的浸潤性加以選用。(2)電子束加熱:電子束加熱法的基本原理是基于由熱陰極發(fā)射的電子在電場作用下,獲得動能轟擊到作為陽極的蒸發(fā)材料上,將其動能轉(zhuǎn)化為加熱材料的內(nèi)能而使材料蒸發(fā)。由于聚集電子束的能量密度大,可使材料表面局部區(qū)域達(dá)到3000℃~4000℃的高溫,適于蒸發(fā)高熔點(diǎn)金屬、化合物材料和要求高蒸發(fā)速率的場合。(3)射頻感應(yīng)加熱:感應(yīng)加熱是將射頻電源的能量直接耦合到金屬、石墨一類的導(dǎo)體上,其原理是利用高頻電磁場在導(dǎo)體材料中感生的熱量來直接加熱導(dǎo)體本身。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,然后形成薄膜。真空鍍膜機(jī)每完結(jié)200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔作業(yè)室一次。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,真空鍍膜有很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。應(yīng)用較多的是蒸發(fā)和濺射兩種。蒸發(fā)鍍膜和磁探濺射鍍膜的特點(diǎn)如下:一、對于蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。1、厚度均勻性主要取決于:A.基片材料與靶材的晶格匹配程度;B.基片表面溫度;C.蒸發(fā)功率、速率;D.真空度;E.鍍膜時間、厚度大小。2、組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。真空鍍膜機(jī)操作人員必須嚴(yán)格按設(shè)備操作指導(dǎo)書和安全操作規(guī)程進(jìn)行作業(yè)。陜西蒸鍍機(jī)價格
真空鍍膜設(shè)備使用的源材料要符合純度要求。云南蒸鍍機(jī)設(shè)備
為什么真空鍍膜設(shè)備要配套冷水機(jī)?冷卻配套冷水機(jī)的作用是維持真空鍍膜設(shè)備的溫度,使其工作到高精度、高效率控制溫度的目的。以前在沒冷水機(jī)的情況下,自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是不穩(wěn)定的。因此,可以說冷水機(jī)是設(shè)備中很重要的配套冷卻設(shè)備,因?yàn)槔渌畽C(jī)直接關(guān)系到其工作效果的好壞。這個要從真空鍍膜設(shè)備的工作原理查看:膜料在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對蒸發(fā)的膜料分子會產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無光,所以在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,如果真空度不高結(jié)晶體就會失去光澤,結(jié)合力也很差。冷水機(jī)設(shè)有制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng),水溫在5℃~30℃范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制,可以到高精度、高效率控制溫度的目的。其冷卻原理是:制冷系統(tǒng)將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行降溫,冷水機(jī)冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,起到冷卻的作用。云南蒸鍍機(jī)設(shè)備
蘇州方昇光電股份有限公司是國內(nèi)一家多年來專注從事有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀,真空鍍膜設(shè)備,蒸鍍機(jī),鍍膜機(jī)的老牌企業(yè)。公司位于蘇州金雞湖大道99號蘇州納米城中23幢214室,成立于2008-10-24。公司的產(chǎn)品營銷網(wǎng)絡(luò)遍布國內(nèi)各大市場。公司主要經(jīng)營有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀,真空鍍膜設(shè)備,蒸鍍機(jī),鍍膜機(jī),公司與有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀,真空鍍膜設(shè)備,蒸鍍機(jī),鍍膜機(jī)行業(yè)內(nèi)多家研究中心、機(jī)構(gòu)保持合作關(guān)系,共同交流、探討技術(shù)更新。通過科學(xué)管理、產(chǎn)品研發(fā)來提高公司競爭力。公司秉承以人為本,科技創(chuàng)新,市場先導(dǎo),和諧共贏的理念,建立一支由有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀,真空鍍膜設(shè)備,蒸鍍機(jī),鍍膜機(jī)專家組成的顧問團(tuán)隊(duì),由經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)人員組成的研發(fā)和應(yīng)用團(tuán)隊(duì)。在市場競爭日趨激烈的現(xiàn)在,我們承諾保證有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀,真空鍍膜設(shè)備,蒸鍍機(jī),鍍膜機(jī)質(zhì)量和服務(wù),再創(chuàng)佳績是我們一直的追求,我們真誠的為客戶提供真誠的服務(wù),歡迎各位新老客戶來我公司參觀指導(dǎo)。