真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求，一般包括真空設(shè)備對所處實驗室（或車間）的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求，和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個方面。這兩個方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣，要達到預(yù)期的真空度很難的。檢查真空鍍膜機電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合，電壓指示380±20V。合肥真空蒸鍍裝置
真空蒸鍍工藝一般包括基片表面清潔、鍍膜前的準備、蒸鍍、取件、鍍后處理、檢測、成品等步驟。(1)基片表面清潔。真空室內(nèi)壁、基片架等表面的油污、銹跡、殘余鍍料等在真空中易蒸發(fā)，直接影響膜層的純度和結(jié)合力。鍍前必須清沽干凈。(2)鍍前準備。鍍膜室抽真空到合適的真空度，對基片和鍍膜材料進行預(yù)處理。加熱基片，其目的是去除水分和增強膜基結(jié)合力。在高真空下加熱基片，能夠使基片的表面吸附的氣體脫附。然后經(jīng)真空泵抽氣排出真空室，有利于提高鍍膜室真空度、膜層純度和膜基結(jié)合力。然后達到一定真空度后．先對蒸發(fā)源通以較低功率的電，進行膜料的預(yù)熱或者預(yù)熔，為防止蒸發(fā)到基板上，用擋板遮蓋住蒸發(fā)源及源物質(zhì)，然后輸入較大功率的電，將鍍膜材料迅速加熱到蒸發(fā)溫度，蒸鍍時再移開擋板。(3)蒸鍍。在蒸鍍階段要選擇合適的基片溫度、鍍料蒸發(fā)溫度外，沉積氣壓是一個很重要的參數(shù)。沉積氣壓即鍍膜室的真空度高低，決定了蒸鍍空間氣體分子運動的平均自由程和一定蒸發(fā)距離下的蒸氣與殘余氣體原子及蒸氣原子之間的碰撞次數(shù)。(4)取件。膜層厚度達到要求以后，用擋板蓋住蒸發(fā)源并停止加熱，但不要馬上導入空氣。廣州真空蒸鍍機設(shè)備真空鍍膜機是在真空室中利用電阻加熱法。
真空鍍膜機鍍膜前的清洗：紫外線輻照清洗，利用紫外輻照來分解表面上的碳氫化合物。例如，在空氣中照射15h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當預(yù)清洗的表面放在一個產(chǎn)生臭氧的紫外線源中。要不了幾分鐘就可以形成清潔表面（工藝清潔）。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機理是：在紫外線照射下，污物分子受激并離解，而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用。形成較簡單易揮發(fā)分子。如H203、CO2和N2，其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加。
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，真空鍍膜有很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。應(yīng)用較多的是蒸發(fā)和濺射兩種。蒸發(fā)鍍膜和磁探濺射鍍膜的特點如下：一、對于蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。1、厚度均勻性主要取決于：A.基片材料與靶材的晶格匹配程度；B.基片表面溫度；C.蒸發(fā)功率、速率；D.真空度；E.鍍膜時間、厚度大小。2、組分均勻性：蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為機器能運作在良好狀態(tài)。
真空鍍膜機的操作注意事項：1、真空鍍膜機操作員要穿著整潔，袖口扣緊（佩戴袖套），上衣下擺不能敞開，不得穿拖鞋、高跟鞋；2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合，電壓指示380±20V；3、檢查各螺釘處連接是否牢固，電控柜、主機的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好；所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上；4、檢查鍍膜機室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固，角部有無彎曲翹曲等變形情況；5、檢查水壓、氣壓是否正常；水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象；6、設(shè)備中途停水時，應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運行；7、設(shè)備中途停氣時，應(yīng)立即關(guān)閉擴散泵、粗抽泵、羅茨泵，讓維持泵繼續(xù)運行。真空鍍膜機屬于硬件設(shè)備，為了充分發(fā)揮其功能特點，還需要與之相結(jié)合的相應(yīng)軟件。山東蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備
真空蒸鍍中的鍍層通常為鋁膜，但其它鍍層也可通過蒸發(fā)沉積形成。合肥真空蒸鍍裝置
真空鍍膜機的維修方法介紹：長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清冼）；2、擴散泵很久未換油（應(yīng)清冼換油）；3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低（應(yīng)清冼換油）；4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）；5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）；6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）；7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）；8、高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）。合肥真空蒸鍍裝置
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