高真空濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)

來源: 發(fā)布時間:2022-10-26

擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當(dāng),充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵,關(guān)好大門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會燒環(huán),無法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)在硬質(zhì)涂層中的應(yīng)用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。高真空濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)

什么是真空鍍膜設(shè)備?真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且較終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過蒸發(fā)鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖蒸發(fā)鍍膜設(shè)備+所鍍產(chǎn)品圖程,較終形成薄膜。光學(xué)濺射鍍膜機(jī)供應(yīng)商鍍膜機(jī)清潔時請注意清潔,非鐵,沙子和灰塵進(jìn)入真空泵,定位要接觸良好。

真空鍍膜設(shè)備污染物的來源:真空鍍膜設(shè)備由許多不同的零件組成,它們都是經(jīng)過各種機(jī)械加工完成的,例如車銑、刨、磨、鏜、焊接等。這樣,零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā),影響真空鍍膜設(shè)備的極限壓力和性能穩(wěn)定性。此外,污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體,在真空環(huán)境中,這些氣體也要被釋放出來,構(gòu)成了限制真空鍍膜設(shè)備極限壓力的因素。為此,零件組裝前必須消除掉污染物。此外,真空鍍膜設(shè)備在使用過程中,零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關(guān)。例如:真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會被蒸鍍材料污染;真空鍍膜設(shè)備真空抽氣機(jī)組的機(jī)械泵油更是污染源,設(shè)備長期工作后會使設(shè)備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設(shè)備的性能,應(yīng)注意隨時消除。好的清潔處理工藝,可以提高設(shè)備的極限壓力超高真空系統(tǒng)真空室材料多為不銹鋼,對不銹鋼的清洗極為重要。

鍍膜機(jī)的化學(xué)組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問題,具體見下。主要分類有兩個大種類: 蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等 一、對于蒸發(fā)鍍膜:一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。常見的真空室多是單門開啟,蒸發(fā)器仍在鍍膜室內(nèi)。

光學(xué)鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜加工上有什么要注意的嗎?當(dāng)光線進(jìn)入不同傳遞物質(zhì)時(如由空氣進(jìn)入玻璃),大約有5%會被反射掉,在光學(xué)瞄準(zhǔn)鏡中有許多透鏡和折射鏡,整個加起來可以讓入射光線損失到達(dá)30%至40%?,F(xiàn)代光學(xué)透鏡通常都鍍有單層或多層氟化鎂的增透膜,單層增透膜可使反射減少至1.5%,多層增透膜則可讓反射降低至0.25%,所以整個瞄準(zhǔn)鏡如果加以適當(dāng)鍍膜,光線透穿率可達(dá)95%,鍍了單層增透膜的鏡片通常是藍(lán)紫色或是紅色,鍍多層增透膜的鏡片則呈淡綠色或暗紫色。鍍膜機(jī)在各個行業(yè)中在適用過程中對環(huán)境也是有要求的。拉薩真空鍍膜機(jī)廠

真空鍍膜屬干式鍍膜,沒有有害液體、氣體的產(chǎn)生。高真空濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)

在鍍膜過程中,真空度會突然下降。蒸發(fā)源水道中的膠罔環(huán)(替換膠罔);打穿坩堝(替換坩堝);高壓電極密封處(更換膠圈)被擊穿;機(jī)械轉(zhuǎn)動的密封處膠圈損壞(更換);前閥突然關(guān)閉可損壞二位五通閥(替換二位五通閥);高流量閥門突然關(guān)閉可能是位五通閥門損壞(更換二位五通閥門);機(jī)械泵的關(guān)閉可能是繼電器的斷開(檢查繼電器是否正常工作);燒結(jié)引入線電極密封處(替換膠蓋)被擊穿;擋板動封處的膠固損壞(更換膠園);玻璃觀察鏡有裂痕和裂痕(玻璃更換)。高真空濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)

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