蒸鍍機(jī)的操作步驟:1.將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。2.將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團(tuán)成球形放入鎢籃中。3.將蒸發(fā)頭裝在儀器蓋上,插好電線,打開儀器電源開關(guān)。將氮?dú)怃撈康拈_關(guān)旋開,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按鈕設(shè)置儀器參數(shù)。如果選擇“SinglePulse”模式,其余參數(shù)不需要設(shè)置,值設(shè)置除氣時間,在0~60秒內(nèi)調(diào)節(jié)。5.然后按“START”鍵儀器開始抽真空。6.等儀器進(jìn)入泵保持狀態(tài),真空度達(dá)到9×10-5mbar是,可進(jìn)行下一步操作。由于鋁比較容易氧化,蒸鋁時至少要在泵保持進(jìn)行30分鐘之后才能進(jìn)行下一步操作。7.按“START”鍵。8.按“△”鍵儀器開始除氣。主要除去要蒸發(fā)的金屬材料表面的一些污垢等。操作時要小心的向右旋下面的黑色按鈕,當(dāng)“Current”顯示為8是就要通知旋動,稍等片刻鎢籃就會發(fā)紅,開始除氣。除氣持續(xù)10秒左右然后就將旋鈕向左旋到底。9.然后按“▽”鍵儀器進(jìn)入蒸發(fā)狀態(tài)。10.蒸鍍完畢后,按“STOP”鍵,停止抽真空,然后打開蓋子取出樣品,關(guān)閉主機(jī)電源盒氣源。真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝可以消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。OLED蒸鍍機(jī)經(jīng)銷商
真空蒸鍍使用的加熱方式主要有:(1)電弧加熱:電弧蒸鍍利用高真空中兩導(dǎo)電材料制成的電極之間形成電弧放電產(chǎn)生的高溫,使電極材料蒸發(fā)而在基體上凝聚成膜。(2)激光加熱:脈沖激光加熱表面可實(shí)現(xiàn)材料的瞬時蒸發(fā),脈沖激光作為一種新的加熱源,其特點(diǎn)之一是能量在時間和空間上高度集中,與常規(guī)的熱蒸發(fā)有明顯區(qū)別。帶有離子轟擊裝置的激光蒸發(fā),已用于若干材料的低溫沉積,其中包括高質(zhì)量的高溫超導(dǎo)氧化物薄膜。激光蒸發(fā)可用于透明材料上薄膜的蒸發(fā),從透明材料的背面照射待蒸發(fā)薄膜,把基體面向待蒸發(fā)薄膜放置,通過控制蒸發(fā)區(qū)域,則在基體上可沉積出帶花紋的薄膜。蒸鍍機(jī)系列-FS-G2.5廠家直供真空鍍膜機(jī)操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋。
真空蒸鍍工藝一般包括基片表面清潔、鍍膜前的準(zhǔn)備、蒸鍍、取件、鍍后處理、檢測、成品等步驟。(1)基片表面清潔。真空室內(nèi)壁、基片架等表面的油污、銹跡、殘余鍍料等在真空中易蒸發(fā),直接影響膜層的純度和結(jié)合力。鍍前必須清沽干凈。(2)鍍前準(zhǔn)備。鍍膜室抽真空到合適的真空度,對基片和鍍膜材料進(jìn)行預(yù)處理。加熱基片,其目的是去除水分和增強(qiáng)膜基結(jié)合力。在高真空下加熱基片,能夠使基片的表面吸附的氣體脫附。然后經(jīng)真空泵抽氣排出真空室,有利于提高鍍膜室真空度、膜層純度和膜基結(jié)合力。然后達(dá)到一定真空度后.先對蒸發(fā)源通以較低功率的電,進(jìn)行膜料的預(yù)熱或者預(yù)熔,為防止蒸發(fā)到基板上,用擋板遮蓋住蒸發(fā)源及源物質(zhì),然后輸入較大功率的電,將鍍膜材料迅速加熱到蒸發(fā)溫度,蒸鍍時再移開擋板。(3)蒸鍍。在蒸鍍階段要選擇合適的基片溫度、鍍料蒸發(fā)溫度外,沉積氣壓是一個很重要的參數(shù)。沉積氣壓即鍍膜室的真空度高低,決定了蒸鍍空間氣體分子運(yùn)動的平均自由程和一定蒸發(fā)距離下的蒸氣與殘余氣體原子及蒸氣原子之間的碰撞次數(shù)。(4)取件。膜層厚度達(dá)到要求以后,用擋板蓋住蒸發(fā)源并停止加熱,但不要馬上導(dǎo)入空氣。
真空鍍膜機(jī)如何選擇?1、設(shè)備的穩(wěn)定性必須好,所選配件必須可靠。鍍膜機(jī)本身是一個復(fù)雜的系統(tǒng),包括真空、自動化、機(jī)械等多個系統(tǒng)。任何部件的不可靠,都會導(dǎo)致系統(tǒng)不穩(wěn)定,給生產(chǎn)帶來不便。因此,一個穩(wěn)定的設(shè)備應(yīng)該確保所選的每個部件都是可靠的。2、抽真空系統(tǒng),目前基本上有兩種,一種是擴(kuò)散泵系統(tǒng),另一種是分子泵系統(tǒng),分子泵系統(tǒng)屬于清潔抽真空系統(tǒng),沒有擴(kuò)散泵的返油現(xiàn)象,抽油速度也比較穩(wěn)定,而且比較省電,電費(fèi)支出是鍍膜企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營成本的一個重要環(huán)節(jié)。對泵系統(tǒng)的定期維護(hù)非常重要,尤其是潤滑油的定期更換,要注意油品牌號的選擇,選錯了很容易損壞真空泵。真空鍍膜機(jī)主要是指一種需要在高真空下進(jìn)行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)、PLD激光濺射沉積等多種。
真空狀態(tài)是支持真空鍍膜機(jī)運(yùn)作的環(huán)境,特別是需要高真空度的設(shè)備,通常我們需要達(dá)到高真空度,抽氣系統(tǒng)的作用是功不可沒的,但除了抽氣系統(tǒng)外,在真空鍍膜設(shè)備運(yùn)行的過程中,還有一點(diǎn)就是,工件的除氣。有些工件它本身內(nèi)部存在著很多的氣體、水分等,這些物質(zhì)都會隨著設(shè)備加熱時被排放到真空室中,降低了真空度,更甚者,有些氣體帶有毒性成分,直接損害到真空室內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu),造成設(shè)備不能正常運(yùn)作。另外,正在鍍膜過程中,由于工件內(nèi)氣體加熱膨脹,容易使已經(jīng)鍍上的膜層裂開,當(dāng)然這個情況出現(xiàn)的機(jī)率視工件本身物理性質(zhì)有關(guān),像塑料等容易膨脹的,機(jī)率就比較高,像金屬等硬質(zhì)的,機(jī)率就比較低,但也不能忽視,因此工件的除氣是非常必要的。真空鍍膜機(jī)工作時,需適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,利于減少周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。蒸鍍機(jī)系列-FS-G1-6廠家供貨
真空鍍膜機(jī)在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。OLED蒸鍍機(jī)經(jīng)銷商
真空鍍膜機(jī)設(shè)備表面處理的基本方法:1、溶劑脫脂,附著在真空設(shè)備零件上的油可分為動植物油和礦物油。動植物油可用堿溶液化學(xué)法除去,礦物油可用有機(jī)溶劑除去。然而,在實(shí)際的清洗設(shè)備中,通常使用兩種溶劑。2、酸堿侵蝕處理,設(shè)備除油后,金屬表面的氧化物可用酸蝕或堿蝕去除。熱處理后,設(shè)備零件無油污。真空退火后可直接進(jìn)行酸/堿腐蝕去除氧化層污染。3、電化學(xué)清洗和電解拋光,介紹了電化學(xué)清洗的原理和配方,指出電解拋光的電解液不同于電解蝕刻液。電化學(xué)拋光的電解液配方和拋光規(guī)范如下:1.正磷酸(HPo):65%(質(zhì)量百分比);2.硫酸:15%;3.鉻酸(CRO):6%;4.去離子水:14%;5.電流密度:0.2~0.5a/cm2;6.電壓:6~12V;7.工作溫度:約75°C;8.時間:5~10min。電拋光后,將零件放入2%-5%氨水中15s-20s,用水沖洗,用無水乙醇脫水,干燥。OLED蒸鍍機(jī)經(jīng)銷商
蘇州方昇光電股份有限公司位于蘇州金雞湖大道99號蘇州納米城中23幢214室,是一家專業(yè)的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、銷售:光電工藝設(shè)備、光電實(shí)驗(yàn)設(shè)備及其零配件和治具、有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體照明器具、新型平板顯示器件、太陽能電池及相關(guān)產(chǎn)品、照明燈具、微納米材料、涂層材料、光電原材料、軟件、計(jì)算機(jī)、系統(tǒng)集成產(chǎn)品,并提供相關(guān)技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢及技術(shù)服務(wù);從事上述商品和技術(shù)的進(jìn)出口;企業(yè)管理及咨詢、會務(wù)服務(wù);機(jī)械、辦公設(shè)備租賃;房屋維修、機(jī)械設(shè)備上門維修、儀器儀表上門維修。公司。方昇光電是蘇州方昇光電股份有限公司的主營品牌,是專業(yè)的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、銷售:光電工藝設(shè)備、光電實(shí)驗(yàn)設(shè)備及其零配件和治具、有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體照明器具、新型平板顯示器件、太陽能電池及相關(guān)產(chǎn)品、照明燈具、微納米材料、涂層材料、光電原材料、軟件、計(jì)算機(jī)、系統(tǒng)集成產(chǎn)品,并提供相關(guān)技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢及技術(shù)服務(wù);從事上述商品和技術(shù)的進(jìn)出口;企業(yè)管理及咨詢、會務(wù)服務(wù);機(jī)械、辦公設(shè)備租賃;房屋維修、機(jī)械設(shè)備上門維修、儀器儀表上門維修。公司,擁有自己**的技術(shù)體系。公司堅(jiān)持以客戶為中心、設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、銷售:光電工藝設(shè)備、光電實(shí)驗(yàn)設(shè)備及其零配件和治具、有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體照明器具、新型平板顯示器件、太陽能電池及相關(guān)產(chǎn)品、照明燈具、微納米材料、涂層材料、光電原材料、軟件、計(jì)算機(jī)、系統(tǒng)集成產(chǎn)品,并提供相關(guān)技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢及技術(shù)服務(wù);從事上述商品和技術(shù)的進(jìn)出口;企業(yè)管理及咨詢、會務(wù)服務(wù);機(jī)械、辦公設(shè)備租賃;房屋維修、機(jī)械設(shè)備上門維修、儀器儀表上門維修。市場為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。自公司成立以來,一直秉承“以質(zhì)量求生存,以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念,始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),為客戶提供良好的有機(jī)-金屬真空熱蒸鍍儀,真空鍍膜設(shè)備,蒸鍍機(jī),鍍膜機(jī),從而使公司不斷發(fā)展壯大。