真空蒸鍍，簡稱蒸鍍，是指在真空條件下，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早、用途較廣的氣相沉積技術(shù)，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)。蒸鍍的物理過程包括：沉積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)粒子→氣態(tài)粒子快速從蒸發(fā)源向基片表面輸送→氣態(tài)粒子附著在基片表面形核、長大成固體薄膜→薄膜原子重構(gòu)或產(chǎn)生化學(xué)鍵合。將基片放入真空室內(nèi)，以電阻、電子束、激光等方法加熱膜料，使膜料蒸發(fā)或升華，氣化為具有一定能量（0.1～0.3eV）的粒子（原子、分子或原子團(tuán)）。氣態(tài)粒子以基本無碰撞的直線運(yùn)動(dòng)飛速傳送至基片，到達(dá)基片表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在基片上并發(fā)生表面擴(kuò)散，沉積原子之間產(chǎn)生二維碰撞，形成簇團(tuán)，有的可能在表面短時(shí)停留后又蒸發(fā)。粒子簇團(tuán)不斷地與擴(kuò)散粒子相碰撞，或吸附單粒子，或放出單粒子。此過程反復(fù)進(jìn)行，當(dāng)聚集的粒子數(shù)超過某一臨界值時(shí)就變?yōu)榉€(wěn)定的核，再繼續(xù)吸附擴(kuò)散粒子而逐步長大，然后通過相鄰穩(wěn)定核的接觸、合并，形成連續(xù)薄膜。真空鍍膜機(jī)在鍍膜的時(shí)，需要鍍層表面的化學(xué)成分保持均勻性。蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備
真空鍍膜機(jī)在塑料表面鍍鋁有哪些優(yōu)點(diǎn)?真空鍍膜機(jī)是塑料表面蒸發(fā)鍍鋁的專門的設(shè)備。成膜速度快，成膜性強(qiáng)，色澤鮮艷，不易污染。電鍍設(shè)備可獲得純度高、膜厚均勻、致密、無廢液和廢水，可防止環(huán)境污染。是進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)的理想設(shè)備。真空鍍膜機(jī)市場應(yīng)用廣，主要應(yīng)用于汽車反光網(wǎng)、工藝品、首飾、鞋帽、掛鐘、燈具、裝飾等行業(yè)。主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備組成。真空制備的鍍層能防止鍍層材料和鍍層零件的表面污染，消除空間碰撞，提高鍍層的細(xì)度，制備出具有單一化合物特殊功能的鍍層。為了提高涂層厚度的均勻性，采用行星機(jī)構(gòu)或行星運(yùn)動(dòng)形式等旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)設(shè)備的真空室具有良好的涂膜均勻性、良好的涂層臺階覆蓋性能、較大的承載能力，并能充分利用有用空間。這是一種常見的運(yùn)動(dòng)形式，排氣系統(tǒng)通常由機(jī)械泵、分散泵、管路和閥門組成。沈陽熱蒸鍍機(jī)真空鍍膜機(jī)在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。
真空鍍膜機(jī)鍍塑料時(shí)抽真空時(shí)間過長主要原因就是：1、真空室有漏氣現(xiàn)象：大家都知道，多弧離子鍍膜機(jī)是的基本條件是工件在真空狀態(tài)下才能進(jìn)行鍍膜加工的，若真空室有漏氣現(xiàn)象而沒有經(jīng)過檢漏找出漏氣位置，則真空鍍很長時(shí)間都不能抽得上來的；2、即使真空室沒有漏氣，因?yàn)樗芰袭a(chǎn)品的放氣量大，所以抽真空，濺控濺射鍍膜機(jī)特別是高真空很難達(dá)到。而且由于塑料產(chǎn)品的放氣，造成真空室內(nèi)鍍膜氣體的不純，有雜氣的存在，造成鍍膜產(chǎn)品的顏色發(fā)暗，發(fā)黃，發(fā)黑等。
真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝，不但能節(jié)省大量的膜材和降低能耗，而且還會消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。因此國外在鋼鐵零件涂鍍防腐層和保護(hù)膜方面，已采用真空鍍膜工藝來代替電鍍工藝。在冶金工業(yè)中，為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護(hù)層已很普遍；在機(jī)械制造業(yè)中，真空鍍膜機(jī)用于改變改變某些加工工藝和節(jié)約貴重的原材料，如飛機(jī)渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片已經(jīng)不用價(jià)格昂貴的耐高溫金屬制造，而是采用價(jià)格低廉易加工材料，成形后再用真空鍍膜的方法在葉片表面上加鍍耐高溫，耐腐蝕的防護(hù)層。再如汽車制造業(yè)中采用塑料制品金屬化零件代替各種金屬零件，既減輕了汽車的重量又節(jié)約了燃油的消耗。在金屬切削刀具上加鍍TiN硬膜可使用刀具壽命提高3～6倍，從而節(jié)省了大量的高速鋼材。塑料薄膜采用真空鍍膜的方法加鍍鋁等金屬膜，再進(jìn)行染色，可得到用于工業(yè)中的裝飾品薄膜。注意真空鍍膜機(jī)本身及設(shè)備運(yùn)行中的安全，特別要重視安全裝置的檢查與使用。
真空鍍膜機(jī)工作環(huán)境要求：真空鍍膜設(shè)備應(yīng)在真空條件下工作，因此設(shè)備應(yīng)滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求一般包括真空設(shè)備對實(shí)驗(yàn)室（或車間）溫度、空氣和其他周圍環(huán)境中顆粒物的要求，以及對真空或真空中零件或表面的要求。這兩個(gè)方面密切相關(guān)。周圍環(huán)境直接影響真空設(shè)備的正常使用；真空室或安裝在真空設(shè)備中的零件是否清潔直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量水蒸氣和灰塵，則在不清潔真空室的情況下，使用油封機(jī)械泵泵送很難達(dá)到預(yù)期的真空度。眾所周知，油封機(jī)械泵不應(yīng)泵出含有對金屬有腐蝕性且對真空油有反應(yīng)的顆粒粉塵的氣體。水蒸氣是一種可冷凝的氣體。當(dāng)泵出大量可凝氣體時(shí)，對泵油的污染將更加嚴(yán)重。因此，泵的極限真空將降低，泵的泵送性能將受損。真空鍍膜機(jī)若有灰塵，將會影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。蒸鍍機(jī)系列制造商
真空鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)焊縫結(jié)構(gòu)的時(shí)候，接頭一定要焊透，應(yīng)該避免產(chǎn)生聚集污物的有害空間。蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備
真空鍍膜機(jī)各部件的組成及其工作原理：一、真空主體——真空室根據(jù)加工產(chǎn)品的要求差異，大小也不一。目前應(yīng)用較廣的真空室有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃燒室由不銹鋼制成，不需要生銹、堅(jiān)固等。真空室的所有部分都設(shè)有連接閥，用于連接各種泵。二、輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)是真空鍍膜機(jī)的重要組成部分，主要由機(jī)械泵、增壓泵(主要引入羅茨泵)和油擴(kuò)散泵組成。排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。機(jī)械泵首先將真空室抽入小于2.0*10-2pa的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵的后續(xù)真空抽吸提供了前提，然后在擴(kuò)散泵的真空室抽吸時(shí)，機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵串聯(lián)，完成抽吸作用。蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備
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