在鍍膜過程中,真空度會突然下降。蒸發(fā)源水道中的膠罔環(huán)(替換膠罔);打穿坩堝(替換坩堝);高壓電極密封處(更換膠圈)被擊穿;機械轉(zhuǎn)動的密封處膠圈損壞(更換);前閥突然關(guān)閉可損壞二位五通閥(替換二位五通閥);高流量閥門突然關(guān)閉可能是位五通閥門損壞(更換二位五通閥門);機械泵的關(guān)閉可能是繼電器的斷開(檢查繼電器是否正常工作);燒結(jié)引入線電極密封處(替換膠蓋)被擊穿;擋板動封處的膠固損壞(更換膠園);玻璃觀察鏡有裂痕和裂痕(玻璃更換)。常見的真空室多是單門開啟,蒸發(fā)器仍在鍍膜室內(nèi)。新型光學鍍膜機報價
鍍膜技術(shù)在光學儀器中的應(yīng)用:人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。鍍膜技術(shù)在信息存儲領(lǐng)域中的應(yīng)用:薄膜材料作為信息記錄于存儲介質(zhì),有其得天獨厚的優(yōu)勢:由于薄膜很薄可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。為了更精密地記錄與存儲信息,必然要采用鍍膜技術(shù)。鍍膜技術(shù)在傳感器方面的應(yīng)用:在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學量及其變化來說,極為敏感的半導體材料。此外,其中大多數(shù)利用的是半導體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價格制作、因此采用薄膜的情況很多。鍍膜技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用:晶體管路中的保護層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的主要技術(shù)之一。江西光學真空鍍膜機價格鍍膜機可鍍單面、雙面和單層、多層及混合層。
真空鍍膜設(shè)備使用步驟:電控柜的操作:開水泵、氣源;開總電源;開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子發(fā)生器的電源。關(guān)機順序:關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。到50以下時,再關(guān)維持泵。
擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵,關(guān)好大門,數(shù)分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環(huán),無法進入工作狀態(tài)。鍍膜工藝在汽車玻璃上有很好的應(yīng)用。
鍍膜機的維護和保養(yǎng)方法:真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內(nèi)壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。真空鍍膜機也長被別人稱為不銹鋼卷繞鍍膜機、金屬帶卷繞真空鍍膜機。吉林磁控濺射鍍膜機廠家
鍍了單層增透膜的鏡片通常是藍紫色或是紅色,鍍多層增透膜的鏡片則呈淡綠色或暗紫色。新型光學鍍膜機報價
真空鍍膜設(shè)備基本技術(shù)要求:設(shè)備中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管,分別測量各部位的真空度。當發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時,應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。如果設(shè)備使用的主泵為擴散泵時,應(yīng)在泵的進氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗,應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的工作情況以及其他關(guān)鍵部位。離子鍍沉積源的設(shè)計應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。新型光學鍍膜機報價
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